The invention belongs to the field of dry vacuum pump, in particular to the exhaust structure of a dry vacuum pump, the dry vacuum pump comprises a pump cavity, a pump cavity pump in the cavity is provided with an air inlet, a pump cavity is provided with an exhaust port, at the end of a pump cavity before the pump cavity is provided with a safety vent and the safety vent is provided with a safety valve; the safety valve comprises a valve body, a core shaft, a sliding sleeve and a valve, safety valve installed in the exhaust port, in the valve body is provided with a core shaft sleeve of the sliding sleeve, and the valve core shaft is hinged and can rotate around the core shaft valve, valve and valve in the closed state of sealing contact. The present invention in the exhaust port where the level of pump cavity before a pump cavity is provided with a safety vent, and the safety vent installed a safety valve, when the exhaust pump cavity where the exhaust pressure is too large, the safety valve will automatically open the exhaust from the safety vent, to avoid excessive load Guide caused by motor damage or exhaust rotor and the pump cavity thermal expansion card dead phenomenon.
【技术实现步骤摘要】
一种干式真空泵的排气结构
本专利技术属于干式真空泵领域,具体地说是一种干式真空泵的排气结构。
技术介绍
干式真空泵是一种泵内不用油类(或液体)密封的变容真空泵。由于干式真空泵泵腔内不需要工作液体,因此,适用于半导体行业、化学工业、制药工业及食品行业等需要无油清洁真空环境的工艺场合。随着半导体工业、电子工业的蓬勃兴起,对于真空环境的要求越来越多、越来越严格。由于由普通的油封机械泵、扩散泵所组成的真空系统易于向真空室中返油,真空室中的油分子会在硅片晶体上沉积,使硅晶体成为废品。所以,这样的真空系统在半导体工业、电子工业中的应用受到了限制。相反,由于干式真空泵不需要润滑油来润滑密封,做到了无油蒸汽污染,而且对被抽气体中含有的灰尘和水蒸气不敏感。所以,由干式真空泵组成的真空系统得到了广泛的应用,并在半导体工业、电子工业的发展过程中起到了推动的作用。由于在实际中,真空泵常常处于大负载的工况下;气体流经多级泵腔经过逐级压缩,最后经泵的排气口排出。传统干式真空泵只设置一个排气口,转子与腔体间隙逐级减小,因此,当气载过大时会造成真空泵功率增加,导致电机损坏或排气级转子与腔体卡死。
技术实现思路
为了解决多级干式真空泵在大负载下工作时电机损坏或排气级转子与泵腔卡死的问题,本专利技术的目的在于提供一种干式真空泵的排气结构。本专利技术的目的是通过以下技术方案来实现的:本专利技术的干式真空泵包括多级泵腔;所述多级泵腔中的一级泵腔上开有进气口,最后一级泵腔上开有排气口,在所述最后一级泵腔的前一级泵腔上开有安全排气口,该安全排气口处设有安全阀。其中:所述安全阀包括阀体、芯轴、滑套及阀瓣, ...
【技术保护点】
一种干式真空泵的排气结构,该干式真空泵包括多级泵腔;其特征在于:所述多级泵腔中的一级泵腔上开有进气口(2),最后一级泵腔上开有排气口(3),在所述最后一级泵腔的前一级泵腔上开有安全排气口(10),该安全排气口(10)处设有安全阀(11)。
【技术特征摘要】
1.一种干式真空泵的排气结构,该干式真空泵包括多级泵腔;其特征在于:所述多级泵腔中的一级泵腔上开有进气口(2),最后一级泵腔上开有排气口(3),在所述最后一级泵腔的前一级泵腔上开有安全排气口(10),该安全排气口(10)处设有安全阀(11)。2.按权利要求1所述干式真空泵的排气结构,其特征在于:所述安全阀(11)包括阀体(12)、芯轴(13)、滑套(14)及阀瓣(15),其中阀体(12)安...
【专利技术属性】
技术研发人员:王光玉,于明鹤,张振厚,
申请(专利权)人:中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司,
类型:发明
国别省市:辽宁,21
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