干式真空泵装置和在该干式真空泵所使用的控制装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供干式真空泵装置和在该干式真空泵所使用的控制装置，在负载增大时能够不使马达及逆变器发生故障地稳定运转。一种具有至少1个泵单元和控制泵单元的控制装置（5）的干式真空泵装置（1），泵单元具有干式真空泵（2）、驱动干式真空泵（2）的马达（3）、和控制马达（3）的转速的逆变器（4），控制装置（5）具有将逆变器（4）的输出电流限制值从第1电流限制值切换为第2电流限制值的功能，第1电流限制值是逆变器（4）能够连续流向马达（3）的电流的最大值即连续额定电流值，第2电流限制值是超过连续额定电流值的值。

【技术实现步骤摘要】
干式真空泵装置和在该干式真空泵所使用的控制装置
本专利技术涉及干式真空泵装置和在该干式真空泵所使用的控制装置。
技术介绍
通常而言，干式真空泵装置具有干式真空泵、驱动干式真空泵的马达、控制马达转速（旋转频率）的逆变器、和控制逆变器动作的控制装置。干式真空泵有时为了将半导体制造装置的真空室内的气体排出而使用，但根据气体种类不同有时因化学反应而生成生成物（反应生成物）。当排出这样的气体时，有时在泵内生成生成物，生成物进入泵转子。另外，附着于真空室的内壁的生成物有时会剥落而进入泵转子。其结果，泵的转速降低。存在在真空室与泵之间设置有加载互锁真空室（loadlockchamber）的所谓的加载互锁方式的真空排气系统。加载互锁真空室是用于在对保持真空的真空室进出晶片时进行从大气压向真空的降压和从真空向大气压的升压的小空间。真空室原则上始终处于真空状态。能够在该真空室内的真空空间与大气压空间之间进行晶片输送的是加载互锁真空室。晶片在真空室内被处理，缩短对真空室进出晶片的时间关系到整体的生产量提高。因此，需要将加载互锁真空室内的气体快速排出，在该加载互锁真空室内形成真空。然而，在将加载互锁真空室内从大气压排气成真空时，有时会对马达施加过负载而使马达转速降低，泵的排气速度降低。为了在如此对马达施加了过负载时维持泵的转速，需要使用大容量的马达。因此，在半导体制造装置等中，选择并使用了与通常运转时需要的马达相比大容量的马达。
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述的以往的问题点而完成的专利技术，其目的在于提供一种即使在负载增大时也能够使用较小容量的马达来进行稳定运转的干式真空泵装置。另外，本专利技术的目的在于提供一种在这样的干式真空泵装置所使用的控制装置。为了达到上述的目的，本专利技术的一个方式是具有至少一个泵单元和控制所述泵单元的控制装置的干式真空泵装置，其特征在于，所述泵单元具有：干式真空泵；驱动所述干式真空泵的马达；和控制所述马达转速的逆变器，所述控制装置具有将所述逆变器的输出电流限制值从第1电流限制值切换为第2电流限制值的功能，所述第1电流限制值是所述逆变器能够连续流向所述马达的电流的最大值即连续额定电流值，所述第2电流限制值是超过所述连续额定电流值的值。本专利技术的优选方式的特征在于，按照来自设置于所述干式真空泵装置外部的外部指令装置的指令，将所述逆变器的输出电流限制值从所述第1电流限制值切换为所述第2电流限制值。本专利技术的优选方式的特征在于，所述控制装置在所述逆变器输出与所述第1电流限制值相当的电流时，在所述干式真空泵的转速低于预定的目标转速的情况下，将所述逆变器的输出电流限制值从所述第1电流限制值切换为所述第2电流限制值。本专利技术的优选方式的特征在于，所述控制装置在检测到所述泵的转速恢复为所述目标转速时，将所述逆变器的输出电流限制值从所述第2电流限制值切换为所述第1电流限制值。本专利技术的优选方式的特征在于，所述控制装置在与所述第2电流限制值相当的电流的输出时间超过了预定的阈值的情况下，将所述逆变器的输出电流限制值从所述第2电流限制值切换为所述第1电流限制值。本专利技术的优选方式的特征在于，还具有测定所述泵单元的温度的至少一个温度传感器，所述控制装置在由所述温度传感器测定的所述温度超过预定的阈值时，将所述逆变器的输出电流限制值从所述第2电流限制值切换为所述第1电流限制值。本专利技术的优选方式的特征在于，所述至少一个温度传感器选自测定所述干式真空泵的泵壳体的温度的温度传感器、测定所述干式真空泵的轴承的温度的温度传感器、测定所述马达的温度的温度传感器、测定所述干式真空泵的泵转子的温度的温度传感器、测定所述干式真空泵的吸入气体的温度的温度传感器、以及测定所述干式真空泵的排气的温度的温度传感器。本专利技术的优选方式的特征在于，所述至少一个泵单元是排出大气压的气体的主泵单元和排出真空压的气体的增压泵单元，以使供给到所述干式真空泵装置的电力不超过预先设定的值的方式运转所述主泵和所述增压泵。本专利技术的另一方式是在具有干式真空泵、驱动所述干式真空泵的马达、和控制所述马达转速的逆变器的干式真空泵装置中所使用的控制装置，其特征在于，所述控制装置具有将所述逆变器的输出电流限制值从第1电流限制值切换为第2电流限制值的功能，所述第1电流限制值是所述逆变器能够连续流向所述马达的电流的最大值即连续额定电流值，所述第2电流限制值是超过所述连续额定电流值的值。本专利技术的优选方式的特征在于，所述控制装置按照来自设置于所述干式真空泵装置外部的外部指令装置的指令，将所述逆变器的输出电流限制值从所述第1电流限制值切换为所述第2电流限制值。本专利技术的优选方式的特征在于，所述控制装置在所述逆变器输出与所述第1电流限制值相当的电流时，在所述干式真空泵的转速低于预定的目标转速的情况下，将所述逆变器的输出电流限制值从所述第1电流限制值切换为所述第2电流限制值。本专利技术的优选方式的特征在于，所述控制装置在检测到所述泵的转速恢复为所述目标转速时，将所述逆变器的输出电流限制值从所述第2电流限制值切换为所述第1电流限制值。本专利技术的优选方式的特征在于，所述控制装置在与所述第2电流限制值相当的电流的输出时间超过了预定的阈值的情况下，将所述逆变器的输出电流限制值从所述第2电流限制值切换为所述第1电流限制值。根据本专利技术，在负载大时，将逆变器的输出电流限制值暂时切换为第2电流限制值，由此能够在维持转速的状态下稳定地运转干式真空泵。附图说明图1是表示具有本专利技术的第1实施方式的干式真空泵装置的真空排气系统的图。图2是干式真空泵及马达的剖视图。图3是图2的III-III线剖视图。图4是图2的IV-IV线剖视图。图5是表示干式真空泵装置的控制顺序的图。图6是表示泵单元内的温度传感器的配置部位的图。图7是表示第1电流限制值和第2电流限制值的切换的图。图8是表示干式真空泵的运转控制的一例的图。图9是用于说明输出电流限制值的切换的判断的图。图10的（a）是表示在将逆变器的输出电流限制值设定为第1电流限制值的情况下的逆变器的输出电力与马达转速的关系的曲线图，图10的（b）是表示逆变器的输出电流与马达转速的关系的曲线图，图10的（c）是表示逆变器的输出电压与马达转速的关系的曲线图。图11的（a）是表示在将逆变器的输出电流限制值设定为第2电流限制值的情况下的逆变器的输出电力与马达转速的关系的曲线图，图11的（b）是表示逆变器的输出电流与马达转速的关系的曲线图，图11的（c）是表示逆变器的输出电压与马达转速的关系的曲线图。图12是表示具有干式真空泵装置的真空排气系统的另一例的图。图13是本专利技术的第2实施方式的泵装置的示意图。图14是表示作为外部指令装置取代操作面板而将上位控制器与控制装置连接的状态的示意图。图15是示意表示图13及图14所示的泵装置的系统的图。图16是表示增压泵及主泵的运转控制的一例的图。图17的（a）是表示增压泵优先运转时的主泵单元的逆变器的输出电力与马达转速的关系的曲线图，图17的（b）是表示主泵单元的逆变器的输出电流与马达转速的关系的曲线图，图17的（c）是表示主泵单元的逆变器的输出电压与马达转速的关系的曲线图。图18的（a）是表示增压泵优先运转时的增压泵单元的逆变器的输出电力与马达转速的关系的曲线图，图18的（b）本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种干式真空泵装置，具有至少一个泵单元和控制所述泵单元的控制装置，其特征在于，所述泵单元具有：干式真空泵；驱动所述干式真空泵的马达；和控制所述马达的转速的逆变器，所述控制装置具有将所述逆变器的输出电流限制值从第1电流限制值切换为第2电流限制值的功能，所述第1电流限制值是所述逆变器能够连续流向所述马达的电流的最大值即连续额定电流值，所述第2电流限制值是超过所述连续额定电流值的值。

【技术特征摘要】
2012.10.05 JP 2012-2228781.一种干式真空泵装置，具有至少一个泵单元和控制所述泵单元的控制装置、以及测定所述泵单元的温度的至少一个温度传感器，其特征在于，所述泵单元具有：干式真空泵；驱动所述干式真空泵的马达；和控制所述马达的转速的逆变器，所述控制装置具有将所述逆变器的输出电流限制值从第1电流限制值切换为第2电流限制值的功能，所述第1电流限制值是所述逆变器能够连续流向所述马达的电流的最大值即连续额定电流值，所述第2电流限制值是超过所述连续额定电流值的值，所述控制装置在由所述温度传感器测定的所述温度超过预定的阈值时，将所述逆变器的输出电流限制值从所述第2电流限制值切换为所述第1电流限制值。2.根据权利要求1所述的干式真空泵装置，其特征在于，所述控制装置在所述逆变器输出与所述第1电流限制值相当的电流时，在所述干式真空泵的转速低于预定的目标转速的情况下，将所述逆变器的输出电流限制值从所述第1电流限制值切换为所述第2电流限制值。3.根据权利要求2所述的干式真空泵装置，其特征在于，所述控制装置在检测到所述泵的转速恢复为所述目标转速时，将所述逆变器的输出电...

【专利技术属性】
技术研发人员：岩崎弘一，中泽敏治，吉田真也，大山敦，
申请(专利权)人：株式会社荏原制作所，
类型：发明
国别省市：