八管区熔炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种八管区熔炉，可供在通氢保护气氛区熔，也可以在真空状态下区熔工艺使用。它包括箱体组件、炉体组件、屏蔽罩、进舟炉门组件、出舟炉门组件、石英管，还包括区熔小车部件、供气系统、冷却系统、调整座组件；炉体组件、区熔小车部件、冷却系统安装于箱体组件上部，供气系统安装于箱体组件下部，调整座组件安装于箱体组件底部；屏蔽罩安装于炉体组件上部，石英管安装于炉体组件内，石英管为八根，相互独立控制。当在真空条件下使用，则将出舟炉门组件气动阀改用DN25规格，后接真空调节站、真空除尘器和干式涡旋真空泵。本装置安全性高，适用性强，当部分石英管故障，不影响区熔炉使用。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种八管区熔炉。
技术介绍
目前区熔炉工作时一般在氢气气氛中进行，工作时直接接通氢气气源，缺乏相关的安全性检测。这样容易发生燃烧，甚至爆炸，有较高的安全隐患。当石英管炉胆出现故障，整个装置都要停止工作，延误生产工作。现有技术中，专利《一种新型区熔炉》，授权公告号CN2816056Y，涉及一种新型区熔炉，它包括工作台、高真空机组、电气控制柜等。该区熔炉可以用氢气或其他惰性气体作保护性气体的锗的区域熔炼，也适用于真空状态下的锗的区域熔炼。该区熔炉实际生产过程中仍然存在安全隐患，影响了工作效率。
技术实现思路
针对现有技术中存在的问题，本专利技术旨在实现的技术问题为:设计八管区熔炉，实现安全地在供氢或真空条件下区熔工艺使用。为了实现上述专利技术目的，其采用的技术方案为:提供一种八管区熔炉，它包括箱体组件、炉体组件、屏蔽罩、进舟炉门组件、出舟炉门组件、石英管、区熔小车部件、供气系统、冷却系统、调整座组件等。所述炉体组件、所述区熔小车部件、所述冷却系统安装于所述箱体组件上部，所述供气系统安装于所述箱体组件下部，所述调整座组件安装于所述箱体组件底部;所述屏蔽罩安装于所述炉体组件上部，所述石英管安装于所述炉体组件内，所述进舟炉门组件、所述出舟炉门组件安装于所述石英管两端;所述区熔小车部件、所述冷却系统分别与所述炉体组件相连。所述进舟炉门组件还装有供气组件，所述出舟炉门组件还装有尾气接头体。所述供气系统氢气气源接减压阀，并经过过滤器和阻火器，供气系统通入石英管前经过流量计。所述供气系统使用气动三通球阀，自动切换氮气气源、氢气气源。通氢区熔时的每管的氢气流量控制范围100-1000L/h。上述八管区熔炉的进一步特征在于:在真空区熔工艺条件下，本装置进出舟端的气动阀均关闭，尾气出口的气动阀改为DN25规格，后接真空调节站、真空除尘器和干式涡旋真空栗，系统真空度应小于5-10Pa。石英管的水平夹角可根据通氢或真空工艺的需要，调节调整座组件的高低来实现。本专利技术的有益效果为:供氢之前由供气系统通氮气排出空气，消除了现有技术中易燃、易爆的安全隐患，设置屏蔽罩，减少高频电磁场对人体的伤害。当运行中其中一管或数管故障时，可经其三通阀切换至充氮模式，不影响其他管的工作，生产效率高。石英管的水平夹角可根据通氢或真空工艺的需要，调节调整座组件的高低来实现，适用于多种工作环境。【附图说明】图1是本专利技术实施例的八管区熔炉B向视图。图2是本专利技术实施例的八管区熔炉去屏蔽罩俯视图。图3是本专利技术实施例的八管区熔炉C向视图。其中I为进舟炉门组件;2为出舟炉门组件;3为区熔小车部件;4为供气系统;5为冷却系统;6为箱体组件;7为屏蔽罩;8为过滤器;9为接氢气减压阀。【具体实施方式】以下结合附图和具体实施例对本专利技术作进一步详细说明。实施例一:如图1至图3所示，本实施例的八管区熔炉是通氢保护气氛下的区熔工艺所需的装置。炉体组件、区熔小车部件、冷却系统安装于箱体组件上部，供气系统安装于箱体组件下部，调整座组件安装于箱体组件底部;屏蔽罩安装于炉体组件上部，石英管安装于炉体组件内，进舟炉门组件、出舟炉门组件安装于石英管两端；区熔小车部件、冷却系统分别与炉体组件相连。进舟炉门组件还装有供气组件，出舟炉门组件还装有尾气接头体。供气系统氢气气源接减压阀，并经过过滤器和阻火器。供气系统使用气动三通球阀，自动切换氮气气源、氢气气源。通氢区熔时的每管的氢气流量控制范围100-1000L/h。区域熔炼速度240-340mm/h较宜。慢速情况下:交流伺服电机转速:60rpm，伺服减速机速比=60，滚珠丝杆螺距 I rpm: s = 5V = 60/3600 X 5 = 3 O Omm/h快速情况下:交流伺服电机转速:3000rpm，伺服减速机速比=60滚珠丝杆螺距Irpm: s = 5V = 3000/60 X 5 = 250mm/min实施例二:在真空区熔工艺条件下，本装置进出舟端的气动阀均关闭，尾气出口的气动阀改为DN25规格，后接真空调节站、真空除尘器和干式涡旋真空栗，系统真空度应小于5_10Pao石英管的水平夹角可根据通氢或真空工艺的需要，调节调整座组件的高低来实现。本区熔炉由八根可以独立控制的石英管炉胆组成，由高频感应线圈加热。通氢区熔时，先通入高纯氮气数分钟，将管内的空气赶尽后再由各自的气动三通球阀切换气源，将高纯氢气经流量计通入管内，进行区域熔炼。熔炼结束、冷却后再由气动三通球阀切换至高纯氮气气源管线，通入高纯氮气，将石英管内的氢气赶尽，进出舟端的气动隔膜阀断电、关闭，可以取出石墨舟。当运行中其中一管或数管故障时，可经其三通阀切换至充氮模式，不影响其他管的工作。工作时使用高纯水做冷却水，闭式冷却塔换热。冷却水量6立方米/小时，冷却水压力0.3MPa。进水温度28°C，回水温度33°C。正常工作时保持屏蔽罩的完好，减少高频电磁场对人体的伤害。电缆输入侧的上掀屏蔽网门根据电缆移动范围调整。以上的实施例仅为说明本专利技术的技术思想，不能以此限定本专利技术的保护范围，凡是按照本专利技术提出的技术思想，在技术方案基础上所做的任何改动，均落入本专利技术保护范围之内。本专利技术未涉及的技术均可通过现有的技术加以实现。【主权项】1.八管区熔炉，它包括箱体组件、炉体组件、屏蔽罩、进舟炉门组件、出舟炉门组件、石英管，其特征在于，还包括区熔小车部件、供气系统、冷却系统、调整座组件； 所述炉体组件、所述区熔小车部件、所述冷却系统安装于所述箱体组件上部，所述供气系统安装于所述箱体组件下部，所述调整座组件安装于所述箱体组件底部;所述屏蔽罩安装于所述炉体组件上部，所述石英管安装于所述炉体组件内，所述进舟炉门组件、所述出舟炉门组件安装于所述石英管两端;所述区熔小车部件、所述冷却系统分别与所述炉体组件相连;所述石英管为八根，相互独立控制。2.根据权利要求1所述的八管区熔炉，其特征在于: 所述进舟炉门组件还装有供气组件。3.根据权利要求1所述的八管区熔炉，其特征在于: 所述出舟炉门组件还装有尾气接头体。4.根据权利要求1所述的八管区熔炉，其特征在于: 所述供气系统氢气气源接减压阀，并经过过滤器和阻火器，供气系统通入石英管前经过流量计。5.根据权利要求1所述的八管区熔炉，其特征在于: 所述供气系统使用气动三通球阀，自动切换氮气气源、氢气气源。6.根据权利要求1至5之一所述的八管区熔炉，其特征在于: 可供真空状态下区熔工艺使用，所述出舟炉门组件气动阀采用DN25规格，后接真空调节站、真空除尘器和干式涡旋真空栗，系统真空度应小于5-10Pa。【专利摘要】本技术公开了一种八管区熔炉，可供在通氢保护气氛区熔，也可以在真空状态下区熔工艺使用。它包括箱体组件、炉体组件、屏蔽罩、进舟炉门组件、出舟炉门组件、石英管，还包括区熔小车部件、供气系统、冷却系统、调整座组件；炉体组件、区熔小车部件、冷却系统安装于箱体组件上部，供气系统安装于箱体组件下部，调整座组件安装于箱体组件底部；屏蔽罩安装于炉体组件上部，石英管安装于炉体组件内，石英管为八根，相互独立控制。当在真空条件下使用，则将出舟炉门组件气动阀改用DN25规格，后接真空调节站、真空除尘器和干式涡旋真空泵。本装置安全性高，适用性强，当部分石英管故障，不影响区熔炉本文档来自技高网...

【技术保护点】
八管区熔炉，它包括箱体组件、炉体组件、屏蔽罩、进舟炉门组件、出舟炉门组件、石英管，其特征在于，还包括区熔小车部件、供气系统、冷却系统、调整座组件；所述炉体组件、所述区熔小车部件、所述冷却系统安装于所述箱体组件上部，所述供气系统安装于所述箱体组件下部，所述调整座组件安装于所述箱体组件底部；所述屏蔽罩安装于所述炉体组件上部，所述石英管安装于所述炉体组件内，所述进舟炉门组件、所述出舟炉门组件安装于所述石英管两端；所述区熔小车部件、所述冷却系统分别与所述炉体组件相连；所述石英管为八根，相互独立控制。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：诸小龙，冯先达，
申请(专利权)人：南京中锗科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32