真空泵制造技术

提供抑制螺纹槽的排气侧出口处的气体生成物的产生而在长期内维持泵性能的真空泵。真空泵(1)将在内周侧定子(80)的外周面(80a)沿着气体排气方向(D2)延伸设置的突条部(81)的排气侧端部(81b)比吸气侧端部(81a)朝向转子旋转方向(R)的前方加宽地形成，具备流入抑制壁(83)，流入抑制壁(83)抑制雕刻设置在突条部(81)之间的螺纹槽(82)的排气侧出口(82a)处的气体的滞留。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及真空栗，尤其涉及能够在中真空至超高真空的压力范围内利用的真空栗Ο
技术介绍
在制造存储器或集成电路等半导体装置时，为了避免空气中的尘土等所造成的影响，有必要在尚真空状态的室内对尚纯度的半导体基板(晶圆)进彳丁惨杂或蚀刻，在室内的排气中，例如，使用涡轮分子栗等真空栗。作为这样的真空栗，已知如下的真空栗:具备螺纹槽栗机构，该机构由具有外筒转子和内筒转子的转子、具有交替地定位在外筒转子与内筒转子之间的外筒定子和内筒定子的定子、以及在定子的与转子对置的壁面雕刻设置的螺纹槽构成，气体在螺纹槽栗机构内沿上下方向以S字状升降而排气(例如，参照专利文献1)。另外，作为另一真空栗，已知如下的真空栗:具备螺纹槽栗机构，该机构由大致圆筒状的壳体、配置在壳体的轴线部的大致圆筒状的定子、以转子轴能够旋转驱动的方式由定子的轴线部支撑且在壳体与定子之间具有大致圆筒状的筒部的转子、分别设置在壳体的与筒部对置的内周面和定子的与筒部对置的外周面的突条部、以及螺纹槽构成，气体在螺纹槽栗机构内从上下方向的上方排气至下方(例如，参照专利文献2)。在先技术文献专利文献 专利文献1:日本专利第3961273号公报。专利文献2:日本实开平5-38389号公报。
技术实现思路
专利技术要解决的课题 然而，在如上所述的前一真空栗中，如图7所示，内筒定子90的螺纹槽91的排气侧出口 91a附近的气体越过突条部92的排气侧端部92a而流入内筒转子93的旋转方向R的前方的螺纹槽91 (由图7中的箭头A表示流入的气流)，在气体流入的螺纹槽91的排气侧出口 91a附近，气流紊乱而容易产生气体的滞留。另外，在螺纹槽栗机构的排气部，例如内筒定子90的上端面90a附近，如图8中的箭头B所示，气体有时候不是输送至内筒定子90的内周侧，而是沿着内筒转子93的旋转方向R以环状回旋并滞留。如图8中的箭头C所示，这样的滞留于排气部的气体逆流至内筒定子90的外周侧，在气体逆流的螺纹槽91的排气侧出口 91a附近，气流紊乱而容易产生气体的滞留。另外，在如上所述的前一和后一真空栗中，在转子的筒部的下端面，压缩后的气体有时候沿着转子旋转方向以环状回旋并滞留。回旋并滞留的气体在螺纹槽栗机构内逆流至上方而使螺纹槽的排气侧出口处的气流紊乱，气体有时候滞留在螺纹槽的排气侧出口。由于如果如上所述地气体滞留于螺纹槽的排气侧出口，则所滞留的气体在高压下固化而气体生成物堆积，螺纹槽的排气侧出口的流路变窄，因而有可能压缩比下降，栗性能下降。于是，产生为了抑制螺纹槽的排气侧出口处的气体生成物的产生并在长期内维持栗性能而应该解决的技术课题，本专利技术的目的在于解决该课题。用于解决课题的方案 本专利技术是为了达成上述目的而提出的，权利要求1记载的专利技术提供一种真空栗，该真空栗具备螺纹槽栗机构，该螺纹槽栗机构具有:转子圆筒部，设置在能够沿既定的旋转方向旋转的转子；大致圆筒状的定子，在该转子圆筒部经由间隙而配置在与前述转子圆筒部相同的轴上；多个突条部，在该定子的与前述转子圆筒部对置的对置面或前述转子圆筒部的与前述定子对置的对置面沿着气体排气方向延伸设置；以及螺纹槽，雕刻设置在该多个突条部之间，该真空栗将前述螺纹槽内的气体从前述气体排气方向的吸气侧向排气侧传送，具备抑制前述螺纹槽的排气侧出口处的气体的滞留的气体滞留抑制装置。依据该构成，由于气体滞留抑制装置抑制螺纹槽的排气侧出口处的气体的滞留，因而能够抑制起因于气体滞留于螺纹槽的排气侧出口而导致的气体生成物的堆积。权利要求2记载的专利技术提供如下的真空栗:除了权利要求1记载的专利技术的构成之夕卜，前述气体滞留抑制装置是将前述突条部的前述气体排气方向的排气侧的排气侧端部比前述气体排气方向的吸气侧的吸气侧端部加宽而形成的流入抑制壁。依据该构成，由于通过以在突条部的排气侧端部设置流入抑制壁的程度使突条部的密封长度变长，从而抑制螺纹槽的排气侧出口的气体越过排气侧端部而流入转子的旋转方向前方的螺纹槽，因而抑制螺纹槽的排气侧出口处的气体的滞留，能够抑制起因于气体滞留于螺纹槽的排气侧出口而导致的气体生成物的堆积。权利要求3记载的专利技术提供如下的真空栗:除了权利要求2记载的专利技术的构成之外，前述流入抑制壁以沿着前述气体排气方向从吸气侧朝向排气侧逐渐加宽的锥状形成。依据该构成，流入抑制壁以锥状形成，突条部的密封长度变长，由此，抑制螺纹槽的排气侧出口的气体越过突条部的排气侧端部而流入转子的旋转方向前方的螺纹槽，另夕卜，流入抑制壁沿着气体排气方向以平滑的锥状形成，由此，螺纹槽内的气体顺利地排气，因而抑制螺纹槽的出口压力的增加，同时，能够进一步抑制起因于气体滞留于螺纹槽的排气侧出口而导致的气体生成物的堆积。权利要求4记载的专利技术提供如下的真空栗:除了权利要求2记载的专利技术的构成之夕卜，前述突条部具备与前述吸气侧端部同宽地形成的等宽区域、和与该等宽区域连续而加宽至前述排气侧端部并形成前述流入抑制壁的加宽区域。依据该构成，通过以遍及突条部的加宽区域内而形成流入抑制壁的程度使突条部的密封长度变长，从而抑制螺纹槽的排气侧出口的气体越过突条部的排气侧端部而流入转子的旋转方向前方的螺纹槽，因而能够进一步抑制起因于气体滞留于螺纹槽的排气侧出口而导致的气体生成物的堆积。权利要求5记载的专利技术提供如下的真空栗:除了权利要求1记载的专利技术的构成之夕卜，前述气体滞留抑制装置是从前述突条部的前述气体排气方向的排气侧的前述排气侧端部朝向前述转子的前述旋转方向的前方延伸设置而形成的流入抑制叶片。依据该构成，流入抑制叶片从排气侧端部延伸设置至转子的旋转方向前方，突条部的密封长度变长，由此，抑制螺纹槽的排气侧出口的气体越过突条部的排气侧端部而流入转子的旋转方向前方的螺纹槽，另外，流入抑制叶片仅局部地设置在螺纹槽的出口，由此，避免伴随着流入抑制叶片的设置而发生的流动于螺纹槽内的气体流量的过度下降，因而保持气体的流量，同时，能够进一步抑制起因于气体滞留于螺纹槽的排气侧出口而导致的气体生成物的堆积。权利要求6记载的专利技术提供如下的真空栗:除了权利要求1记载的专利技术的构成之夕卜，前述气体滞留抑制装置是竖立设置在前述转子圆筒部或前述定子的排气侧端面的回旋滞留抑制壁。依据该构成，由于在转子圆筒部或定子的排气侧端面附近沿着转子的旋转方向回旋并滞留的气体与回旋滞留抑制壁碰撞，气体的滞留衰减，因而抑制气体从转子圆筒部或定子的排气侧端面附近逆流至螺纹槽内，因此，抑制螺纹槽的排气侧出口处的气体的滞留，能够抑制起因于气体滞留于螺纹槽的排气侧出口而导致的气体生成物的堆积。权利要求7记载的专利技术提供如下的真空栗:除了权利要求6记载的专利技术的构成之夕卜，前述回旋滞留抑制壁具备相对于朝向前述转子圆筒部或前述定子的轴心的法线方向而沿着前述转子的前述旋转方向倾斜的气体诱导面。依据该构成，回旋滞留抑制壁的气体诱导面将容易滞留在转子圆筒部或定子的排气侧端面的气体朝向转子圆筒部或定子的轴心诱导，由此，进一步抑制滞留在转子圆筒部或定子的排气侧端面当前第1页1 2 3 4 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空泵，具备螺纹槽泵机构，该螺纹槽泵机构具有：转子圆筒部，设置在能够沿既定的旋转方向旋转的转子；大致圆筒状的定子，在该转子圆筒部经由间隙而配置在与所述转子圆筒部相同的轴上；多个突条部，在该定子的与所述转子圆筒部对置的对置面或所述转子圆筒部的与所述定子对置的对置面沿着气体排气方向延伸设置；以及螺纹槽，雕刻设置在该多个突条部之间，该真空泵将所述螺纹槽内的气体从所述气体排气方向的吸气侧向排气侧传送，其特征在于，具备抑制所述螺纹槽的排气侧出口处的气体的滞留的气体滞留抑制装置。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：坂口祐幸，三轮田透，三桥启太，
申请(专利权)人：埃地沃兹日本有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP