真空泵制造技术

本发明专利技术提供一种真空泵，能确保从滚动轴承散热的性能、且能降低支撑刚性。涡轮分子泵(100)包括支撑转子的滚动轴承(8)、弹性保持滚动轴承(8)的外轮(81)的底座(2)、及填充于外轮(81)与底座(2)之间且稠度的NLGI编号为1.5以下的油脂。通过将冷却用油脂填充于外轮(81)与底座(2)之间，使得外轮(81)的散热性能提升。而且，通过使用稠度的NLGI编号为1.5以下的柔性油脂作为冷却用油脂，可将相对于外轮(81)的径向刚性抑制得小，因此，可将外轮(81)至底座(2)的振动传递抑制得充分低。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种利用滚动轴承来支撑转子的真空栗。
技术介绍
之前，已知有利用经油脂润滑的滚动轴承来支撑转子的旋转轴的真空栗。此种真空栗存在如下问题:因由转子的不平衡所致的振动旋转而产生振动，且该振动会被传递至栗外部。作为该问题的对策，有弹性支撑滚动轴承而使振动衰减的方法。例如，在专利文献1中记载的涡轮分子栗中，在利用外侧套管对保持滚动轴承的外轮的内侧套管进行保持、且将该外侧套管固定于底座的构成中，在外轮的外周与内侧套管之间、及内侧套管与外侧套管之间设有弹性体(0环)。并且，为了提升内侧套管与外侧套管之间的散热性能，设有由导热凝胶形成的凝胶层。凝胶层被弹性体密封。国际公开第2006/131694号说明书
技术实现思路
然而，当弹性支撑滚动轴承时，为了充分减弱传递至栗外的振动，须充分减小弹性系数。因此，在如专利文献1中记载的构成般、在内侧套管与外侧套管的径向间隙内设置凝胶层的构成中，存在因凝胶层的影响而导致无法充分降低径向的支撑刚性的问题。本专利技术的优选的实施方式中的真空栗包括:支撑转子的滚动轴承、弹性保持所述滚动轴承的外轮的保持部、及填充于所述外轮与所述保持部之间、且稠度的美国润滑脂学会(Nat1nal Lubricating Grease Institute，NLGI)编号为 1.5 以下的油脂。在更优选的实施方式中，所述保持部包括弹性支撑所述外轮的至少两个弹性构件，所述油脂填充于由所述两个弹性构件、所述外轮及所述保持部包围的区域、且维持在栗使用温度下不会流出至所述区域的外部的油脂状态。在更优选的实施方式中，更包括导热率高于所述外轮的散热构件，该散热构件包括与所述外轮接触的接触部、及从该接触部延设而设于填充有所述油脂的区域的散热部。在更优选的实施方式中，所述油脂在栗使用温度下的油离度为10%以下。在更优选的实施方式中，所述油脂是温度20°C下的饱和蒸气压为10 8Pa以下的氟油脂。根据本专利技术，可确保从滚动轴承散热的性能、且可降低支撑刚性。【附图说明】图1是表示本专利技术的真空栗的一实施方式的图，且为涡轮分子栗100的截面图。图2是详细表示滚动轴承8的局部构成的放大图。图3是表示本实施方式的第1变形例的图。图4是表示本实施方式的第2变形例的图。1:轴2:底座3:转子4:马达5:隔离环6、7:永磁体8、9:滚动轴承10:栗壳11:磁石托架13:轴承座20:固定翼2 la、2 lb:间隙30:旋转翼31:圆筒部40:螺母41、42a、42b:弹性构件80:内轮81:外轮82:散热构件100:涡轮分子栗210、211:底座内周面821:圆筒部821a:外周面822:凸缘部G:尺寸【具体实施方式】以下，参照图式对用于本专利技术的实施方式进行说明。图1是表示本专利技术的真空栗的一实施方式的图，且为涡轮分子栗100的截面图。对于转子3，形成有作为排气功能部的旋转翼30及圆筒部31。与旋转翼30对应地设有作为固定侧排气功能部的固定翼20。另夕卜，与圆筒部31对应地设有作为固定侧排气功能部的固定筒，但图1中省略图示。转子3紧固于轴1，该轴1是由马达4旋转驱动。与轴1紧固的转子3是利用使用永磁体6、永磁体7的磁轴承及滚动轴承8而自由旋转地支撑。圆筒状的永磁体6固定于转子3。另一方面，固定侧的永磁体7保持于磁石托架11，且与永磁体6的内周侧对向地配置。磁石托架11固定于栗壳10的凸缘部分。图1所示的示例中，将磁石托架11的梁部分与对固定翼20进行定位的隔离环(spacer ring) 5以被夹在栗壳10的凸缘部与底座2之间的方式得以保持。在磁石托架11的中央，固定有保持滚动轴承9的轴承座13。设置滚动轴承9的目的在于限制轴上部的半径(radial)方向上的振动，且在滚动轴承9的内轮与轴1之间形成有间隙。该间隙的尺寸设定为小于永磁体6、永磁体7间的间隙尺寸。由此，防止当转子3的振动旋转变大时永磁体6、永磁体7彼此接触。另外，本实施方式的真空栗中，利用使用永磁体6、永磁体7的磁轴承及滚动轴承8来支撑转子3，但本专利技术也可适用于使用滚动轴承来代替磁轴承的真空栗。图2是详细表示滚动轴承8的局部构成的放大图。设于轴1下部的滚动轴承8的内轮80是利用螺母40而固定于轴1。另一方面，滚动轴承8的外轮81弹性支撑于底座2上。在外轮81的上侧端面设有环状的弹性构件42a，在下侧端面设有环状的弹性构件42b。即，外轮81经由弹性构件42a、弹性构件42b而支撑于底座2。而且，在外轮81的外周侧设有环状的弹性构件41。在图2所示的示例中，弹性构件41、弹性构件42a、弹性构件42b的截面形状为矩形，但并不限于矩形。外轮81与底座2之间的径向间隙尺寸G设定为如下:即使当轴1振动旋转时，外轮81与底座2也不会接触的尺寸，即，外轮81得到弹性支撑的尺寸。例如，设定为0.1mm?0.3mm左右。弹性构件42a、弹性构件42b主要对外轮81进行轴向支撑，且对于外轮81的径向移位的刚性非常小。而且，弹性构件41是为了对外轮81进行径向支撑而设的弹性构件。弹性构件41因轴1的径向移位而压缩变形。因此，例如，当轴1位于中心位置(径向的移位为零的理想位置)时，通过将弹性构件41与底座2的间隙设定为大致为零或微小的间隙(< G)，能使弹性构件41所产生的径向支撑刚性变得非常小。通过这样设定弹性构件41、弹性构件42a、弹性构件42b，能使由弹性构件41、弹性构件42a、弹性构件42b产生的径向支撑刚性变得非常小，且能将由半径方向上的径向转子振动旋转产生的栗振动抑制得小。而且，在外轮81与底座2的间隙21a、间隙21b内，填充有冷却用油脂，以提升从外轮81向底座2的热传递。作为该冷却用油脂，为了减小轴1对径向支撑刚性的影响，使用比较柔软的稠度的油脂。具体而言，优选的是美国润滑脂学会(Nat1nal LubricatingGrease Institute，NLGI)编号为00、0、1、1.5的油脂。另外，1.5是指具有NLGI编号在1与2中间的稠度的油脂。通过这样使用稠度小的柔性油脂，从而，当滚动轴承8在径向移动时，能使间隙21a、间隙21b内的冷却用油脂顺利地移动，能将对径向支撑刚性的影响(即，支撑刚性增大)抑制得小。当使用稠度大于NLGI编号1.5的油脂时，间隙21a、间隙21b内的冷却用油脂的流动性下降，导致支撑刚性增大，从而传递至底座2的振动变大。而且，在如涡轮分子栗般高速旋转的轴承中，为了实现高润滑性及低滚动摩擦而使用油离度高的油脂。因此，若散热性能差，则封入至轴承内部的油脂会进一步蒸发或恶化，从而使寿命变短。然而，本实施方式中，滚动轴承8产生的热不仅传递至弹性构件41、弹性构件42a、弹性构件42b，而且还经由填充于间当前第1页1 2 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空泵，其特征在于包括：滚动轴承，支撑转子；保持部，弹性保持所述滚动轴承的外轮；及油脂，填充于所述外轮与所述保持部之间、且稠度的美国润滑脂学会编号为1.5以下。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：清水幸一，芦田修，
申请(专利权)人：株式会社岛津制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP