涡旋真空泵制造技术

涡旋泵具有在泵的定盘和动盘涡旋其中一个的涡旋叶片的轴向端部与定盘和动盘涡旋的另外一个的盘之间的尖端密封。涡旋泵可具有压载气体供给系统和使用压载气体供给系统的运行以评估尖端密封的状况。可替代地，涡旋密封在沿着泵的压缩机构间隔开的两个位置可具有检测压力的两个压力传感器，用以评估尖端密封的状况。

【技术实现步骤摘要】
调旋真Si.栗
本技术涉及涡旋泵，该涡旋泵包括具有嵌套的涡旋叶片的盘涡旋、以及分别提供盘涡旋的其中一个的涡旋叶片的尖端和另外一个盘涡旋的盘之间的密封的尖端密封。本技术还涉及维持涡旋真空泵的方法，包括评估泵从而确定泵的尖端密封是否应该替换。
技术介绍
涡旋泵是一种泵，其包括具有螺旋定涡旋叶片的定盘涡旋和具有螺旋动涡旋叶片的动盘涡旋。定与动涡旋叶片以间隙和预定相对角位置嵌套。 动盘涡旋以及由此动涡旋叶片联接至偏心驱动机构并由其驱动，从而绕通过定涡旋叶片轴向中心的泵的纵向轴线运转。由于这种环绕运动，一系列腔被限定在涡旋叶片之间。动涡旋叶片的环绕运动还使得腔在泵头部组件内有效地移动，从而使得腔选择性地并且顺次地与涡旋泵的入口和出口开放连通，而且腔的体积随着动涡旋叶片移动而变化。 更特别地，在这种涡旋泵的实例中，相对于定涡旋叶片的动涡旋叶片的运动使得腔的体积与泵的出口封锁并且与泵的入口开放连通从而扩张。因此，流体通过入口被吸入腔中。然后腔移动到它与泵的入口封锁并且与泵的出口开放连通的位置，在此期间腔的体积减小。这样，腔中的流体受压然后通过泵的出口排出。在涡旋真空泵的情况下，泵的入口连接至一系统，例如腔室，流体在涡旋泵的帮助下从该系统被抽空。 此外，涡旋泵的每个螺旋的涡旋叶片具有很多圈或“卷”。螺旋的确切形状和卷的数量指示在上述压缩过程期间在任何给定事件顺序地形成的腔的数量。 在这方面，动定涡旋叶片的侧壁表面不互相接触来保持腔。相反地，在腔已经与泵的入口脱离开放连通以后，在各个腔的端部的侧部表面之间维持微小的间隙。另外，螺旋的涡旋叶片的尖端和相对的盘由各个腔顶部和底部的微小轴向间隙间隔开。 油可用来产生定盘涡旋叶片和动盘涡旋叶片之间的密封，S卩，形成界定腔和涡旋叶片的密封。另一方面，特定类型的涡旋泵，被称作“干”涡旋泵，避免使用油，这是因为油会污染泵所作用的流体。干涡旋泵依靠嵌套的涡旋叶片的侧壁表面之间保持的小径向间隙和用于密封各个腔的顶部和底部的尖端密封代替油。 关于尖端密封，每个尖端密封装在沿着涡旋叶片的分别一个的尖端(轴向端部)的长度上延伸的沟槽中(因此沟槽也具有螺旋的形式)从而插在盘涡旋的分别一个的涡旋叶片的尖端和盘涡旋的另外一个的盘之间。这种尖端密封随时间推移磨损，因此需要周期性替换。 目前判断尖端密封是否需要替换通常要求用户停止涡旋真空泵所连接的系统中正在进行的过程、断开泵与系统的连接、将真空压力计安装到泵、并且运行泵直到其最终压力确定，这可能耗费至少一小时。在很多情况下，泵的部件有来自系统的吸收的过程气体，不然就是泵加载有过程气体。这样，泵就必须“放气”，这个放气过程显著增加了确定最终压力花的时间。在任何情况下，一旦最终压力确定，流体的压力值被读取，并且这个值与代表泵的理想最终压力的参考值比较，从而确定越过尖端密封的内部泄漏量，从而确定尖端密封是否需要替换。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种涡旋泵，通过该涡旋泵所具有的装置可以准确评估泵的尖端密封的状况。 另外，本技术的目的是提供一种能够准确评估涡旋泵的尖端密封的方法。 本技术的另一目的是提供一种涡旋泵，通过这种涡旋泵技师或用户能评估泵的尖端密封的状况而不需要将泵与连接的系统断开连接和/或不需要进行冗长的抽气过程。 本技术的又一目的是提供一种操作涡旋泵的方法，包括一过程，通过该过程泵的尖端密封被评估而不用将泵与连接使用的系统断开连接和/或不用进行冗长的抽气过程。 根据本技术的第一方面，提供一种涡旋泵，包括具有泵入口的入口部和包括泵出口的排出部，流体由泵吸入所述泵入口中，流体通过所述泵出口从泵排出；构架；固定于构架的定盘涡旋；动盘涡旋；插在定盘和动盘涡旋其中一个的涡旋叶片的轴向端部与定盘和动盘涡旋的另外一个的盘之间的尖端密封；由构架支承的偏心驱动机构，并且动盘涡旋联接于偏心驱动机构从而在围绕泵的纵向轴线的轨道上由偏心驱动机构驱动；压载气体供给系统；以及控制装置，使用压载气体供给系统的运行来确定尖端密封是否需要替换。 定涡旋叶片具有螺旋的形式，包括多个从定盘的中心部发出的连续的卷(wraps)，动涡旋叶片具有螺旋的形式，包括多个从动盘的中心发出的连续的卷。动定涡旋叶片嵌套，尖端密封插在定盘和动盘涡旋其中一个的涡旋叶片的轴向端部与定盘和动盘涡旋的另外一个的盘之间。 在动盘涡旋相对于定盘涡旋的轨道运动期间，一系列腔被同时地限定在嵌套的定涡旋叶片和动涡旋叶片之间，一系列腔构成泵的压缩机构。而且，各个腔选择性地并且顺次地与泵入口和泵出口开放连通，被限制在腔中的流体受到压缩的压缩过程发生在腔与泵入口开放连通的时间点和腔与泵出口开放连通的之后时间点之间。 控制装置配置成基于当压载气体供给系统不能使用并且不供给压载气体到泵的压缩机构中时沿着流动方向的位置泵中检测的流体的第一压强和当压载气体供给系统能够使用并且供给压载气体到压缩机构中时在所述位置检测的流体的压强来计算监控压强值，从而对比监控压强值和参考压强值，并且当监控压强值和参考压强至少相差预定量时，输出指示需要替换尖端密封的信号。由控制装置所输出的信号指示尖端密封需要替换。 根据本技术的另一方面，提供一种涡旋泵，涡旋泵包括:具有泵入口的入口部和包括泵出口的排出部，流体由泵吸入所述泵入口中，流体通过所述泵出口从泵排出；构架；固定于构架的定盘涡旋；动盘涡旋；插在定盘和动盘涡旋其中一个的涡旋叶片的轴向端部与定盘和动盘涡旋的另外一个的盘之间的尖端密封；由构架支承的偏心驱动机构，并且动盘涡旋联接于偏心驱动机构从而在围绕泵的纵向轴线的轨道上由偏心驱动机构驱动；以及控制装置，使用压力传感器所检测的压力确定尖端密封何时需要替换。 同样，在此涡旋泵中，定涡旋叶片具有螺旋的形式，包括多个从定盘的中心部发出的连续的卷(wraps)，动涡旋叶片具有螺旋的形式，包括多个从动盘的中心发出的连续的卷。动定涡旋叶片嵌套，见端密封插在定盘和动盘涡旋其中一个的涡旋叶片的轴向端部与定盘和动盘涡旋的另外一个的盘之间。 另外，在动盘涡旋相对于定盘涡旋的轨道运动期间，一系列腔被同时地限定在嵌套的定涡旋叶片和动涡旋叶片之间，一系列腔构成泵的压缩机构。而且，各个腔选择性地并且顺次地与泵入口和泵出口开放连通，被限制在腔中的流体受到压缩的压缩过程发生在腔与泵入口开放连通的时间点和腔与泵出口开放连通的之后时间点之间。 压强传感器分别与在沿着流体通过泵的方向隔开的第一和第二点处的压缩机构相关联。因此，压强传感器分别检测从压缩机构的一个部分最接近上游的第一位置处的在压缩机构中流体的第一压强并且检测从压缩机构的所述一个部分最接近下游的第二位置处的在压缩机构中流体的第二压强。 控制装置配置成基于第一和第二检测的压强来计算监控压强值，从而对比监控压强值和参考压强值，并且当监控压强值和参考压强至至少相差预定量时，输出指示需要替换尖端密封的信号。由控制装置所输出的信号指示替换尖端密封的需求。 根据本技术的又一方面，提供一种操作和维持涡旋真空泵的方法，该方法包括:当泵在涡旋泵的入口连接于系统从而将流体从系统排出时，运行涡旋泵；当涡旋泵将流体从系统排出时，检测与本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种涡旋泵包括： 具有泵入口的入口部和包括泵出口的排出部，流体由泵吸入所述泵入口中，流体通过所述泵出口从泵排出； 构架； 固定于构架并且包括定盘的定盘涡旋，和从定盘突出的定涡旋叶片； 包括动盘的动盘涡旋，和从动盘轴向地突出的动涡旋叶片， 定涡旋叶片具有螺旋的形式，包括多个从定盘的中心部发出的连续的卷，动涡旋叶片具有螺旋的形式，包括多个从动盘的中心发出的连续的卷，并且动定涡旋叶片嵌套； 插在定盘和动盘涡旋其中一个的涡旋叶片的轴向端部与定盘和动盘涡旋的另外一个的盘之间的尖端密封； 由构架支承的偏心驱动机构，并且动盘涡旋联接于偏心驱动机构从而在围绕泵的纵向轴线的轨道上由偏心驱动机构驱动， 其中在动盘涡旋相对于定盘涡旋的轨道运动期间，一系列腔被同时地限定在嵌套的定涡旋叶片和动涡旋叶片之间，一系列腔构成泵的压缩机构，各个腔选择性地并且顺次地与泵入口和泵出口开放连通，被限制在腔中的流体受到压缩的压缩过程发生在腔与泵入口开放连通的时间点和腔与泵出口开放连通的之后时间点之间； 压载气体供给系统，用来相对于流体流过泵的方向在靠近压缩机构下游端的位置供给压载气体流到泵的压缩阶段中；以及 控制装置，配置成基于当压载气体供给系统不能使用并且不供给压载气体到泵的压缩机构中时沿着流动方向的位置泵中检测的流体的第一压强和当压载气体供给系统能够使用并且供给压载气体到压缩机构中时在所述位置检测的流体的压强来计算监控压强值， 从而对比监控压强值和参考压强值；并且 当监控压强值和参考压强至少相差预定量时，输出指示需要替换尖端密封的信号。...

【技术特征摘要】
2013.04.30 US 13/873,7931.一种涡旋泵包括: 具有泵入口的入口部和包括泵出口的排出部，流体由泵吸入所述泵入口中，流体通过所述泵出口从泵排出； 构架； 固定于构架并且包括定盘的定盘涡旋，和从定盘突出的定涡旋叶片； 包括动盘的动盘涡旋，和从动盘轴向地突出的动涡旋叶片， 定涡旋叶片具有螺旋的形式，包括多个从定盘的中心部发出的连续的卷，动涡旋叶片具有螺旋的形式，包括多个从动盘的中心发出的连续的卷，并且动定涡旋叶片嵌套； 插在定盘和动盘涡旋其中一个的涡旋叶片的轴向端部与定盘和动盘涡旋的另外一个的盘之间的尖端密封； 由构架支承的偏心驱动机构，并且动盘涡旋联接于偏心驱动机构从而在围绕泵的纵向轴线的轨道上由偏心驱动机构驱动， 其中在动盘涡旋相对于定盘涡旋的轨道运动期间，一系列腔被同时地限定在嵌套的定涡旋叶片和动涡旋叶片之间，一系列腔构成泵的压缩机构，各个腔选择性地并且顺次地与泵入口和泵出口开放连通，被限制在腔中的流体受到压缩的压缩过程发生在腔与泵入口开放连通的时间点和腔与泵出口开放连通的之后时间点之间； 压载气体供给系统，用来相对于流体流过泵的方向在靠近压缩机构下游端的位置供给压载气体流到泵的压缩阶段中；以及 控制装置，配置成基于当压载气体供给系统不能使用并且不供给压载气体到泵的压缩机构中时沿着流动方向的位置泵中检测的流体的第一压强和当压载气体供给系统能够使用并且供给压载气体到压缩机构中时在所述位置检测的流体的压强来计算监控压强值，从而对比监控压强值和参考压强值；并且 当监控压强值和参考压强至少相差预定量时，输出指示需要替换尖端密封的信号。2.根据权利要求1所述的涡旋泵，其特征在于，控制装置包括安装于泵入口的真空压力计和运转地连接于真空压力计的控制器，并且控制装置配置成基于当压载气体供给系统不能使用时由真空压力计在泵入口检测的流体压强和当压载气体供给系统能够使用并且供给压载气体到压缩机构中时由真空压力计在泵入口检测的流体的压强来计算监控压强值。3.根据权利要求2所述的涡旋泵，其特征在于，控制器也运转地连接于压载气体供给系统，从而选择性地使压载气体供给系统能够使用和不能使用。4.根据权利要求1所述的涡旋泵，其特征在于，压载气体供给系统包括连接于泵的压缩阶段的压载供给气...

【专利技术属性】
技术研发人员：J卡尔霍恩，
申请(专利权)人：安捷伦科技有限公司，
类型：新型
国别省市：美国;US