真空泵及在其中使用的分割静翼部制造技术

本发明专利技术提供一种能够有效地防止分割静翼部的抵接不良、适于得到良好的排气性能的真空泵。真空泵具备涡轮分子泵部，所述涡轮分子泵部具有静翼部和旋转的动翼部，由前述动翼部和前述静翼部将气体排出，所述静翼部通过将在圆周方向上形成的至少一个轮缘和具有与该轮缘一体地形成的多个叶片的多个分割静翼部（11A、11B）相互在圆周方向端部（12a、12a）上抵接而构成为环状；在至少一个前述分割静翼部的圆周方向端部，具有防止与其他的前述分割静翼部的圆周方向端部的抵接不良的抵接不良防止构造。

The vacuum pump and used in the segmentation of static wing

The present invention relates to a vacuum pump, suitable for bad to get the good performance of the exhaust gas to effectively prevent the flanks of the static segmentation. Vacuum pump with turbo molecular pump, the turbo molecular pump with static and dynamic rotating wing wing, the wing and the wing dynamic static gas discharge, the static wing will be formed by at least in the circumferential direction of a wheel rim and a static wing with multiple segmentation and a plurality of blades of the rim integrally formed the (11A, 11B) with each other in the circumferential direction of the end (12a, 12a) on contact with the ring; at the end of at least one of the flanks of the static segmentation circumferential direction, can prevent the abutment abutment structure to prevent adverse bad end of the circumferential direction with the other static segmentation the wings of the.

【技术实现步骤摘要】
真空泵及在其中使用的分割静翼部
本专利技术涉及被作为半导体制造装置、平板显示器制造装置、太阳能面板制造装置中的处理腔室、其他腔室的气体排气机构等利用的真空泵及在其中使用的分割静翼部，特别地，涉及通过有效地防止分割静翼部的抵接不良而能够得到良好的排气性能的结构。
技术介绍
这种以往的真空泵例如在专利文献1中公开。该文献1的真空泵具备由旋转的动翼部（6）和固定的静翼部（70）将气体移送的涡轮分子部。并且，该文献1的真空泵的前述静翼部（70）如在该文献1的图3或图4等中公开的那样，通过使两个分割静翼部（70A、70B）抵接而被设定为环状。此外，各个分割静翼部（70A、70B）具备内外的轮缘（72a、72b、73a、73b）、和被该内外的轮缘支承的多个定子翼（71），并且使该内侧的轮缘（72a、72b）的圆周方向端部抵接。参照专利文献1的图12，在该文献1的真空泵中，作为前述分割静翼部（70A、70B）的具体的分割静翼部抵接构造，如本申请的图19（a）、图19（b）所示，采用在使两个分割静翼部（70A、70B）抵接的状态下、各个分割静翼部（70A、70B）的圆周方向端部彼此对置的构造。此外，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空泵，所述真空泵具备涡轮分子泵部，所述涡轮分子泵部具有静翼部和旋转的动翼部，由前述动翼部和前述静翼部将气体排出，所述静翼部通过将在圆周方向上形成的至少一个轮缘和具有与该轮缘一体地形成的多个叶片的多个分割静翼部相互在圆周方向端部上抵接而构成为环状，其特征在于，在至少一个前述分割静翼部的圆周方向端部，具有防止与其他的前述分割静翼部的圆周方向端部的抵接不良的抵接不良防止构造。

【技术特征摘要】
2015.12.25 JP 2015-2528981.一种真空泵，所述真空泵具备涡轮分子泵部，所述涡轮分子泵部具有静翼部和旋转的动翼部，由前述动翼部和前述静翼部将气体排出，所述静翼部通过将在圆周方向上形成的至少一个轮缘和具有与该轮缘一体地形成的多个叶片的多个分割静翼部相互在圆周方向端部上抵接而构成为环状，其特征在于，在至少一个前述分割静翼部的圆周方向端部，具有防止与其他的前述分割静翼部的圆周方向端部的抵接不良的抵接不良防止构造。2.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，前述抵接不良防止构造在第1前述分割静翼部的圆周方向端部具备第1弯折部，该第1弯折部的至少一部分与第2前述分割静翼部的圆周方向端部抵接。3.如权利要求2所述的真空泵，其特征在于，前述抵接不良防止构造还在第2前述分割静翼部的圆周方向端部具备第2弯折部，该第2弯折部的至少一部分与前述第1弯折部抵接。4.如权利要求2或3所述的真空泵，其特征在于，前述第1弯折部被向其表面或背面和前述轮缘的表面或背面的交线与前述静翼部的半径方向正交的方向弯折，至少该第1弯折部的宽度方向侧部与第2前述分割静翼部的圆周方向端部抵接。5.如权利要求3所述的真空泵，其特征在于，前述第2弯折部被向其表面或背面和前述轮缘的表面或背面的交线与前述静翼部的半径方向正交的方向弯折，至少该第2弯折部的宽度方向侧部与前述第1弯折部抵接。6.如权利要求3或5所述的真空泵，其特征在于，前述第1弯折部和前述第2弯折部设在能够进行其宽度方向侧部彼此的抵接的位置。7.如权利要求1～6中任一项所述的真空泵，其特征在于，前述抵接不良防止构造具备将使两个以上的前述分割静翼部抵接的状态下的前述分割静翼部的厚度方向的位置偏差矫正的偏差矫正机构。8.如权利要求2所述的真空泵，其特征在于，前述第1弯折部被向其表面或背面和前述轮...

【专利技术属性】
技术研发人员：大立好伸，前岛靖，高阿田勉，
申请(专利权)人：埃地沃兹日本有限公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP