目的是通过简单的结构使配设在真空泵控制装置（控制器）中的再生电阻的散热性提高，所述真空泵控制装置连接在真空泵上。将配设在真空泵控制装置中的再生电阻收容到压铸铝外壳内。更详细地讲，将真空泵控制装置的壳体通过铝的压铸（金属模铸造）制作，在该...

提供一种具有能够承受高负荷的强度并且能够低成本化的、使用将纤维强化塑料材成形成的圆筒转子的复合型真空泵。一种具有涡轮分子泵部（14）和螺纹槽泵部（15）、在螺纹槽泵部（15）的由纤维强化塑料材成形的圆筒转子（21）的上端部中压入嵌合涡轮...

提供一种具备适于令去毛刺作业容易且能够提高气体的排气性能的的连通开口部的排气泵。构成为，排气泵（P）的转子（6）（筒形旋转部件）具备：在背面外周部具有环状凸部（60A）的板体（60）、和嵌入安装于该环状凸部（60A）的外周的筒体（61）...

提供一种适合于实现耐久性、泵生产阶段中的连通开口部的加工性、及排气性能的提高的排气泵。排气泵具备筒形旋转部件（6）、筒形旋转部件（6）的支承机构、旋转驱动筒形旋转部件（6）的驱动机构、对包围筒形旋转部件（6）的外周成包围之状而配置的外侧...

本发明提供一种堆积物检测装置和具备该装置的排气泵，其不管处理中使用的气体的种类、流量如何，而在什么样的处理中都能够更正确地检测该处理中使用的排气泵内的堆积物（泵内堆积物），且进行警告。排气泵（P）的泵控制装置（50）包含检测泵内堆积物的...

本发明以提高涡轮分子泵的能力作为目的。涡轮分子泵是将叶片部和螺纹槽部组合的真空泵。而且，在保持转子叶片(5)的转子叶片保持部(31)和保持转子筒部(17)的台阶部(72)的接合部，形成有遍及两者的开口(51)。对叶片部进行排气后的气体中...

提供一种即使在将纤维强化塑料材料成形为圆筒形而使用圆筒转子的情况下、也可以在圆筒转子的成形后不进行精加工的真空泵。在具有涡轮分子泵部（14）和螺纹槽泵部（15）、在涡轮分子泵部（14）的转子（17）的下端部接合着螺纹槽泵部（15）的将纤...

一种螺纹槽排气泵部的筒形固定部件，在维持真空泵对于毁坏力矩的强度的同时降低其成本，并且容易在螺纹槽排气部的筒形固定部件上制作出在螺纹槽排气部的旋转部件的旋转轴心方向上宽度、深度、导程角等发生变化的形状复杂的螺纹槽，通过采用上述螺纹槽来提...

本发明提供适宜于实现含有配管的整个气体处理系统的低价格化、小型化、维护性的提高的气体处理系统。本发明的气体处理系统1具备以作为半导体材料气体的硅烷、或者作为对等离子体CVD装置等的密闭腔室C1、C2…Cn内用例如等离子体进行清扫时的清洗...

本发明的目的是提供一种真空泵，在以减小真空泵的高度尺寸等的目的，旋转部封堵排气口的内侧开口部的情况下减小排气性能的降低及旋转体破坏时的气体泄漏的可能性，进而使连接器的引线的配线容易。使连通旋转体的下游空间与排气口作用的气体排出通路的内侧...

本发明提供一种能使用在泵中配置的数量比温度传感器的数量少的加热装置或冷却装置来进行温度控制的真空泵。针对本泵内的各目标，温度传感器分别被1个1个地配置，另一方面，加热器（147）以及电磁阀（163）仅配置一组。基于这样的多个温度传感器输...

本发明提供一种通过减少对电磁铁进行励磁驱动的放大电路的元件个数以减少涡轮分子泵的制造、设置等所需的成本并且能够在检测流过电磁铁的电流时减少误差的磁轴承装置和搭载有该磁轴承装置的涡轮分子泵。构成各电磁铁（１０４、１０５、１０６Ａ、１０６Ｂ...