本发明提供振动少且能够实现小型化、并且能够廉价地将内置于控制器的控制回路的热高效率地除去的控制器及真空泵装置。在具备控制真空泵装置（10）的泵主体（11）的动作的控制回路的控制器（12）中，具备控制器壳体（15）和散热器（16），前述控...

本发明在基于质量除去的平衡修正中，实现具有减少应力集中的构造的真空泵、真空泵所具备的旋转部及不平衡修正方法。在本实施方式中，通过将旋转圆筒体的下端部(排气口侧)的至少一部分沿轴向切削来形成不平衡修正部(除去部)。优选地，除去部在旋转圆筒...

提供能够使真空泵控制装置的变薄・变轻且紧凑化、以及减少成本的真空泵装置。在将泵主体单元（11）和控制泵主体单元（11）的驱动的控制单元（12）一体化的真空泵装置（10）中，构成为在泵主体单元（11）的基部（15）和控制单元（12）的壳体...

实现一种能够以简单的结构提高再生电阻的散热性的真空泵以及配备于真空泵的控制装置。将再生电阻从控制装置取下而配设于真空泵侧。更详细而言，从搭载了控制电路的控制基板（控制装置）取出再生电阻，经由配线而配设于真空泵的基体。进而，在真空泵的基体...

提供一种提高现场的保养作业的效率且能够构成为比以前小型的泵而另一方面容易制造的真空泵以及应用于该真空泵的连接器、控制装置。通过采用横长构造的密闭连接器（220）而能够在水平方向上分散线缆所以能够降低泵本体（100）的高度。此外，使用基板...

提供不会伴随排气性能的降低及部件个数、成本的增加地，适于防止旋转体的破坏能量导致的定子柱的龟裂、由于定子柱的损坏而产生的碎片从吸气口飞出等的不良的、可靠性高的真空泵和用于其的定子柱及其制造方法。在具有具备吸气口（1A）的外装体（1）、立...

提供一种结构简单、耐噪性强、且能够提高电路基板的散热性的真空泵控制装置、具有真空泵控制装置的真空泵、以及真空泵控制装置的组装方法。具有：具有构成控制真空泵本体的控制电路的第一电路基板（41）和第二电路基板（42）的多张电路基板（40）；...

课题是提供排气能力优良且能够以低成本实现的真空泵、螺旋状板、旋转圆筒体、螺旋状板的制造方法。解决手段如下。在有关实施方式的真空泵中，将比狭缝靠下游侧的螺旋状板不是配设到比狭缝靠上游侧的螺旋状板的延长线上，并且是向使由狭缝形成的间隙变小的...

本发明目的是实现将排气能力保持为较高并且耗电较小的真空泵。在有关本发明的实施方式的真空泵中，使配设的螺旋状板的外径在下游侧比上游侧小。即，设置使配设在下游侧的螺旋状板的叶片长比配设在上游侧的螺旋状板的叶片长短的阶差部。进而，在配设于阶差...

本发明提供一种提高现场的保养作业的效率且在回路分离时等拆下罩时防止水向连接器连接部侵入的真空泵及应用于该真空泵的防水构造、控制装置。进行保养作业时，将控制装置（200）的壳体降下数十毫米左右后将控制装置（200）的壳体向泵的径向抽出。因...

本发明的目的在于缓和真空泵的螺旋状板局部成为高压的现象。在本发明的实施方式的真空泵中，在固定圆板上形成孔部，进而局部地增大固定圆板的末端（外周侧/外周部）的孔部的比率。更详细而言，（1）将大致相同大小的孔部从固定圆板的内周侧向外周侧并排...

本发明提供一种能够在不降低旋转圆筒体（旋转体）的转速的情况下使应力减小的真空泵、以及在真空泵中具备的旋转圆筒体。有关本发明的真空泵为，在真空泵中具备的转子圆筒部（旋转圆筒体）的排气口侧下部，设置有具有比吸气口侧的外径小的外径的缩径部。更...

本发明提供一种真空泵、真空泵的旋转体和静翼及其制造方法，其适合避免如控制旋转体的驱动的电装部件那样的无需高温化的部分的高温化，高效地使例如螺纹槽泵定子那样在真空泵中需要高温化的部分高温化，从而减少反应生成物的堆积。旋转体（4）具备构成螺...

本发明提供一种真空泵及用于该真空泵的挠性罩及转子，其抑制由工艺气体导致的锈或颗粒等异物侵入到半导体晶片的制造工序中。真空泵（1）具备：壳体（10），具有气体吸气口（12a）及气体排气口（11a）；和转子（20），具有朝向气体吸气口（12...

提供一种维持螺纹槽泵部的排气性能并且实现小型化的连结型螺纹槽间隔件、及配设有该连结型螺纹槽间隔件的真空泵。本发明的实施方式的连结型螺纹槽间隔件具备使西格巴恩泵部和螺纹槽泵部连结的构造。更详细地说，将作为排气要素部的螺纹槽泵部的构造设为在...

提供一种在使泵正常运转的同时抑制气体的固化的真空泵。真空泵（1）具备能够旋转地支承在基座（11）上的转子（20）、具有螺纹槽部（71）的定子（70）和将定子（70）加热的加热构造（H）。加热构造（H）具备从除了定子（70）以外的固定零件...

提供一种防止粒子向气体的流入侧逆流的真空泵及搭载于该真空泵的旋转翼、反射机构。反射机构（30）被配设于旋转翼（102a）的上方。旋转翼（102a）的倒角面（21）形成为，随着与穿过水平面（1）的旋转方向侧末端点（9）被相对于旋转轴平行地...

提供一种排气系统，前述排气系统在不导致排气系统整体的成本增加的情况下，能够实现真空泵的气体凝结或凝固和早期过热的防止，适合放宽能够连续排气的气体流量等、排气系统整体的能够运转的条件。排气系统（S1）以如下结构为前提：至少将第1及第2真空...

提供高精度地检测旋转体的径向的位移的电磁铁单元、磁轴承装置及真空泵。上方电磁铁单元(61)具备将转子(20)在径向(R)上非接触支承的径向电磁铁(63)、检测转子(20)的径向(R)的位移的径向传感器(64)、卷绕线圈(63a)及线圈(...

提供一种能够以低成本对应多样的规格变更的真空泵及在该真空泵中使用的适配器。涡轮分子泵（1）具备：基座（50）；固定翼（70），其在基座（50）上在转子（20）的轴向（A）上配设；旋转翼（22），其一体地安装在转子（20）上；圆筒状的箱体...