真空泵装置、及用于该真空泵装置的泵主体单元、控制单元、以及间隔件制造方法及图纸

提供能够使真空泵控制装置的变薄・变轻且紧凑化、以及减少成本的真空泵装置。在将泵主体单元（11）和控制泵主体单元（11）的驱动的控制单元（12）一体化的真空泵装置（10）中，构成为在泵主体单元（11）的基部（15）和控制单元（12）的壳体（22）之间具备承接对控制单元单元（12）的壳体（22）施加的载荷的间隔件（13）。

Vacuum pump device, pump main unit, control unit and spacer for the vacuum pump device

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】真空泵装置、及用于该真空泵装置的泵主体单元、控制单元、以及间隔件
本专利技术涉及真空泵装置、及用于该真空泵装置的泵主体单元、控制单元、以及间隔件，特别地，涉及设为能够使与泵主体单元一体化的控制单元变薄及紧凑化的构造的真空泵装置、及用于该真空泵装置的泵主体单元、控制单元、以及间隔件。
技术介绍
以往，已知在具有吸气口及排气口的罩的内部使转子高速旋转来进行排气处理的涡轮分子泵等真空泵。此外，也已知把控制将用于使该真空泵主体的转子旋转的马达的驱动的真空泵控制装置(控制器)与该真空泵主体电气连接而成的真空泵装置(例如，参照专利文献1)。这样，通过使用真空泵装置进行排气处理来将内部保持成真空的真空装置例如用于半导体制造装置、电子显微镜装置、表面分析装置、细微加工装置等。此外，一般地，这样的真空装置将真空泵主体和真空泵控制装置分别分开地构成，呈将该真空泵主体和真空泵控制装置之间用缆线连接的结构。在将真空泵主体和真空泵控制装置分别构成的真空泵装置中，在将真空泵主体和真空泵控制装置分别分开地设置于地面上的情况下需要较大的设置空间。因此，也有将真空泵主体和真空泵控制装置在纵向上重叠地设置的方法、即采用在真空泵控制装置之上设置真空泵主体的构造等的情况(同样参照专利文献1)。专利文献1：日本专利第3165857号公报。然而，将真空泵主体在真空泵控制装置之上设置而成的构造中，搬运时、向前述的半导体制造装置等装置的设置前的暂时设置等，有真空泵主体的全部重量加载于真空泵控制装置的上表面的情况。因此，需要使真空泵控制装置的壳体(罩)的上表面及整体的强度变大。因此，为使真空泵控制装置的强度变大，不仅需要使顶面的厚度变大，也需要使真空泵控制装置整体的厚度变大。此外，也需要使用特殊的材料等来使强度变大。由此，有如下问题：真空泵控制装置自身的尺寸变大，重量变大，处理不便，并且成本也变高。
技术实现思路
因此，为了提供能够使真空泵控制装置的变薄・变轻和紧凑化、以及减少成本的真空泵装置而产生应解决的技术问题，本专利技术的目的在于解决该问题。本专利技术是为了实现上述目的而提出的，技术方案1所述的专利技术提供真空泵装置，前述真空泵装置为，在将泵主体单元和控制前述泵主体单元的驱动的控制单元一体化的真空泵装置中，具备前述泵主体单元的壳体、前述控制单元的壳体、间隔件，前述间隔件配设于前述控制单元的前述壳体，承接对前述控制单元的前述壳体施加的载荷。根据该方案，前述泵主体单元侧的重量经由配设于前述泵主体单元的前述壳体和前述控制单元的前述壳体之间的间隔件传向前述控制单元侧，进而通过前述控制单元的前述壳体传向地面等接地面。即，将前述泵主体单元侧的重量以暂时由间隔件承接的方式控制。因此，前述控制单元的前述壳体等即使不使其整体的强度变大，使通过间隔件承接的部位的强度、即与间隔件对应的部位的强度变大即可，与间隔件对应的部位以外的部位的强度不被太要求。由此，能够使控制单元整体的大小及重量变小，有助于减少成本。技术方案2所述的专利技术提供真空泵装置，前述真空泵装置为，在技术方案1所述的方案中，前述间隔件在前述泵主体单元和前述控制单元之间形成既定的间隙。根据该方案，前述间隔件在前述泵主体单元和前述控制单元之间形成既定的间隙，将前述泵主体单元侧的重量经由前述间隔件传向前述控制单元侧，之后，该重量通过前述控制单元的前述壳体的既定的部位传向接地面。因此，前述泵主体单元侧的重量除了间隔件以外，即不被从前述泵主体单元侧直接传向前述控制单元的前述壳体侧，所以进而能够减小前述控制单元的前述壳体的强度。技术方案3所述的专利技术提供真空泵装置，前述真空泵装置为，在技术方案1或2所述的方案中，前述间隔件被设置多根，并且被隔开既定间隔地立设于前述控制单元的前述壳体。根据该方案，能够将前述泵主体单元侧的重量分散至多根间隔件来传向前述控制单元侧。由此，能够使用小的间隔件，进而使前述控制单元的强度变小。技术方案4所述的专利技术提供真空泵装置，前述真空泵装置为，在技术方案1至3中任一项所述的方案中，前述间隔件被配置于前述控制单元的前述壳体侧方。根据该方案，能够将前述泵主体单元侧的重量向配置于前述控制单元的前述壳体侧方的间隔件分散来传向前述控制单元侧。技术方案5所述的专利技术提供真空泵装置，前述真空泵装置为，在技术方案1至4中任一项所述的方案中，前述间隔件配置于前述控制单元的前述壳体内部。根据该方案，能够使前述泵主体单元侧的重量向配置于前述控制单元的前述壳体内部的间隔件分散来传向前述控制单元侧。技术方案6所述的专利技术提供真空泵装置，前述真空泵装置为，在技术方案1至5中任一项所述的方案中，在前述控制单元的前述壳体的底面与前述间隔件对应地设置能够接地于地面上的脚部，在前述壳体的底面与前述间隔件对应地设置脚部。根据该方案，能够将经由前述间隔件传向前述控制单元侧的前述泵主体单元侧的重量进一步通过既定的脚部传向接地面。技术方案7所述的专利技术提供真空泵装置，前述真空泵装置为，在技术方案1至5中任一项所述的方案中，能够将前述间隔件的下端部贯通前述控制单元的前述壳体地安装来接地于地面上。根据该方案，能够将经由前述间隔件传向前述控制单元侧的前述泵主体单元侧的重量从间隔件直接传向接地面。由此，能够使前述控制单元的强度更小，并且能够使控制单元自身的大小及重量更小。技术方案8所述的专利技术提供真空泵装置，前述真空泵装置为，在技术方案1至7中任一项所述的方案中，前述控制单元的前述壳体具有从前述控制单元的前述壳体的底面向顶面突出的凸台部，前述凸台部能够与至少一个前述间隔件对置地抵接地设置。根据该方案，前述泵主体单元侧的重量通过从前述壳体的底面向顶面突出的凸台部、与该凸台部对置地抵接的间隔件传向接地面。由此，能够使前述控制单元的强度更小。技术方案9所述的专利技术提供用于技术方案1至8中任一项所述的真空泵装置的真空泵单元。根据该方案，得到能够使真空泵控制装置变薄・变轻和紧凑化、以及减少成本的真空泵单元。技术方案10所述的专利技术提供用于技术方案1至8中任一项所述的真空泵装置的控制单元。根据该方案，得到能够使真空泵控制装置变薄・变轻和紧凑化、以及减少成本的控制单元。技术方案11所述的专利技术提供用于技术方案1至8中任一项所述的真空泵装置的间隔件。根据该方案，得到能够使真空泵控制装置变薄・变轻和紧凑化、以及减少成本的间隔件。专利技术效果根据本专利技术，泵主体单元侧的重量被控制成，经由配设于泵主体单元的壳体和控制单元的壳体之间的间隔件传向控制单元侧后，通过控制单元的壳体传向接地面。因此，在控制单元的壳体等中，即使不使整体的强度变大，仅使与间隔件对应的部位的强度变大即可。即，与间隔件对应的部位以外的部位的强度不被太要求，所以能够使泵主体单元自身的大小及重量变小，有助于减少成本。附图说明图1是基于本专利技术的第1实施方式的真空泵装置的侧视图。图2是将一部分剖切来表示的图1的A―A线向视放大概略图。图3是图1所示的同上的真空泵装置的控制单元的侧视图。图4是图3所示的控制单元的纵剖侧视图。图5是图3所示的控制单元的要部立体图。图6是图5所示的控制单元的要部的俯视图。图7是基于本专利技术的第2实施方式的真空泵装置的侧视图。图8是图7所示的同上的真空泵装置的控制单元的侧视图。图9是图8所示的控制单元的纵剖侧视本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空泵装置，前述真空泵装置将泵主体单元和控制前述泵主体单元的驱动的控制单元一体化，其特征在于，具备前述泵主体单元的壳体、前述控制单元的壳体、间隔件，前述间隔件配设于前述控制单元的前述壳体，承接对前述控制单元的前述壳体施加的载荷。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2017.01.20 JP 2017-0082751.一种真空泵装置，前述真空泵装置将泵主体单元和控制前述泵主体单元的驱动的控制单元一体化，其特征在于，具备前述泵主体单元的壳体、前述控制单元的壳体、间隔件，前述间隔件配设于前述控制单元的前述壳体，承接对前述控制单元的前述壳体施加的载荷。2.如权利要求1所述的真空泵装置，其特征在于，前述间隔件在前述泵主体单元和前述控制单元之间形成既定的间隙。3.如权利要求1或2所述的真空泵装置，其特征在于，前述间隔件被设置有多根，并且被隔开既定间隔地立设于前述控制单元的前述壳体来构成。4.如权利要求1至3中任一项所述的真空泵装置，其特征在于，前述间隔件配置于前述控制单元的前述壳体侧方。5.如权利要求1至4中任一项所述的真空泵装置，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：坂口祐幸，孙彦斌，三枝健吾，大森秀树，
申请(专利权)人：埃地沃兹日本有限公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP