真空泵制造技术

提供一种在使泵正常运转的同时抑制气体的固化的真空泵。真空泵（1）具备能够旋转地支承在基座（11）上的转子（20）、具有螺纹槽部（71）的定子（70）和将定子（70）加热的加热构造（H）。加热构造（H）具备从除了定子（70）以外的固定零件将定子隔热的间隔件（80）、和将定子（70）加热的盒式加热器（90）。转子圆筒部（28）与定子（70）的吸气口侧的离开距离（L3）被设定为和转子圆筒部（28）与定子（70）的排气口侧的离开距离（L4）相同或比其更大。

Vacuum pump

The invention provides a vacuum pump to restrain the solidification of gas while the pump is running normally. The vacuum pump (1) has a rotor (20) that is rotationally supported on the base (11), a stator (70) having a threaded groove part (71) and a heating structure (H) that is heated by the stator (70). The heating structure (H) has a spacer (80) to heat the stator from a fixed part other than the stator (70), and a box heater (90) that is heated by the stator (70). The departure distance (L3) of the rotor cylinder part (28) and the suction port side of the stator (70) is set to be the same or larger than the departure distance (L4) of the rotor cylinder part (28) and the exhaust port side of the stator (70).

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】真空泵
本专利技术涉及真空泵，特别涉及能够在从低真空到超高真空的压力范围中利用的真空泵。
技术介绍
在制造存储器或集成电路等半导体装置时，为了避免由空气中的灰尘等带来的影响，需要在高真空状态的腔室内对高纯度的半导体基板（晶片）进行掺杂或蚀刻，对于腔室内的排气，例如使用将涡轮分子泵与螺纹槽泵组合的复合泵等真空泵。作为这样的真空泵，例如已知有以下这样的结构：其具备圆筒状的壳体、被套筒固定在壳体内并且配设有螺纹槽部的圆筒状的定子、和在定子内能够高速旋转地被支承的转子，气体在由转子和定子构成的螺纹槽泵内一边被压缩一边被移送。但是，如果定子的温度低于气体的升华点，则有在螺纹槽泵内被移送的被高压压缩的气体固化，堆积的生成物使气体的流路变窄，真空泵的压缩性能、排气性能下降的可能。所以，作为抑制生成物的发生的真空泵，已知有以下这样的结构：其具备设置在定子的周围的隔热空间、支承定子的隔热间隔件和埋设在定子内的加热器（例如，参照专利文献1）。这样的真空泵通过加热器将定子加热，气体流路内的气体在不会固化的情况下被移送。专利文献1：国际公开第2015/015902号。
技术实现思路
但是，在上述那样的真空泵中，定子的温度越高，越容易将气体流路内的气体以气体的原状压缩，另一方面，从隔热间隔件向定子的周围热散逸的可能性增加。对于设置在真空泵内的电子部件或使转子旋转的马达，如果温度变高，则有可能不发挥希望的功能，对于旋转翼或固定翼，如果温度变高，则强度下降而有可能在运转中断裂。因此，如果想要将定子加热到高温，则反而从定子的热散逸增加，有可能给真空泵的运转带来不良影响。所以，为了在使泵正常运转的同时抑制气体的固化，产生了要解决的技术问题，本专利技术以解决该问题为目的。本专利技术是为了达到上述目的而提出的，技术方案1记载的专利技术提供一种真空泵，其具备：基座；转子，其具有收容在该基座内的转子圆筒部，能够旋转地支承在前述基座上；大致圆筒状的定子，其配置在前述基座与前述转子圆筒部之间；和螺纹槽部，其被刻设在前述转子圆筒部的外周面或前述定子的内周面的某一方上，该真空泵具备：隔热机构，其从除了前述定子以外的固定零件将前述定子隔热；加热机构，其将前述定子加热；前述转子圆筒部与前述定子的吸气口侧的离开距离被设定为和前述转子圆筒部与前述定子的排气口侧的离开距离相同或比其更大。根据该方案，将定子在从其他固定零件隔热的状态下加热，由此，起因于热从定子散逸的电子部件、马达的动作不良及旋转翼、固定翼的强度下降被抑制，所以能够在抑制气体的固化的同时实现泵的正常运转。此外，转子与定子的吸气口侧的离开距离被设定为和转子与定子的排气口侧的离开距离相同或比其更大，由此，即使是在真空泵的运转时转子受到离心力而变形、或转子受到来自定子的辐射热而热膨胀的情况，由于转子与定子的离开距离从吸气侧到排气侧被保持为大致相等，所以也能够抑制气体的流路过度地变窄。技术方案2记载的专利技术提供一种真空泵，除了技术方案1记载的真空泵的方案以外，前述隔热机构具有在转子轴向上与前述定子接触并配设在前述基座上的凸缘部、和在转子轴向上与前述基座接触并设置在前述凸缘部的内周缘上的间隔件圆筒部，是将前述加热机构收容于前述凸缘部的间隔件。根据该方案，间隔件被夹装在定子与基座之间，将定子在转子轴向上支承，由此，间隔件将定子从其他的固定零件隔热，所以能够在抑制气体的固化的同时实现泵的正常运转。技术方案3记载的专利技术提供一种真空泵，除了技术方案2记载的真空泵的方案以外，前述定子在热膨胀时至少一部分的向转子径向的变形被前述间隔件约束。根据该方案，在真空泵中发生异常而转子圆筒部接触在定子上的情况下，由于间隔件抑制定子受到转子的动能而变形的情况，所以也能够减少动能向泵外部的传递。技术方案4记载的专利技术提供一种真空泵，除了技术方案2或3记载的真空泵的方案以外，前述间隔件是线膨胀系数比前述定子低的部件。根据该方案，间隔件的由热膨胀带来的变形量比定子的由热膨胀带来的变形量小，由此，配置在定子的转子径向的外周侧的间隔件能够限制定子的变形。技术方案5记载的专利技术提供一种真空泵，除了技术方案2至4中任一项记载的真空泵的方案以外，从前述加热机构到前述定子与前述凸缘部的接触部分的离开距离比从前述加热机构到前述基座与前述间隔件圆筒部的接触部分的离开距离短。根据该方案，从加热机构到基座的传热路径比从加热机构到定子的传热路径长，由此，从间隔件向基座的热散逸被抑制，所以能够在抑制气体的固化的同时实现泵的正常运转。技术方案6记载的专利技术提供一种真空泵，除了技术方案2至5中任一项记载的真空泵的方案以外，前述间隔件圆筒部能够进行转子轴向的定位，并且形成得较薄以便能够在转子径向上弹性变形。根据该方案，即使在定子热膨胀的情况下，通过对应于定子的变形而间隔件圆筒部弹性变形，防止因定子与间隔件过度接触而定子与间隔件之间的接触热阻显著地下降，抑制从间隔件向基座的热散逸，所以能够在抑制气体的固化的同时实现泵的正常运转。技术方案7记载的专利技术提供一种真空泵，除了技术方案2至6中任一项记载的真空泵的方案以外，前述间隔件在转子径向上以承插接合构造与前述定子安装。根据该方案，在转子径向上在定子与间隔件之间确保了间隙，由此，即使在定子热膨胀的情况下，也防止起因于定子将间隔件在转子径向上推压而基座与间隔件过度地接触的接触面积的过度的增大、和因这样的接触面积的增大而基座与间隔件之间的接触热阻显著地下降，从间隔件向基座的热散逸被抑制，所以能够在抑制气体的固化的同时实现泵的正常运转。技术方案8记载的专利技术提供一种真空泵，除了技术方案2至7中任一项记载的真空泵的方案以外，前述间隔件在转子径向上以承插接合构造与前述基座安装。根据该方案，在转子径向上在基座与间隔件之间确保间隙，即使在间隔件热膨胀的情况下，也防止因基座与间隔件过度接触而基座与间隔件之间的接触热阻显著地下降，从间隔件向基座的热散逸被抑制，所以也能够在抑制气体的固化的同时实现泵的正常运转。有关本专利技术的真空泵抑制了热从定子散逸，所以能够在抑制气体的固化的同时实现泵的正常运转。此外，通过将转子与定子的吸气口侧的离开距离设定为和转子与定子的排气口侧的离开距离相同或比其更大，即使在真空泵的运转时转子受到离心力而变形、或转子受到来自定子的辐射热而热膨胀的情况下，转子与定子的离开距离也从吸气侧到排气侧被保持为既定的离开距离或大致相等的变化程度，所以能够抑制气体的流路过度地变窄等不良状况。附图说明图1是表示有关本专利技术的一实施例的真空泵的剖视图。图2是图1的主要部分放大图。图3是表示转子圆筒部和定子的剖视图。图4是说明间隔件的作用的示意图，图4（a）是表示定子热膨胀前的状态的图，图4（b）是表示定子热膨胀后的状态的图。具体实施方式本专利技术为了达到在使泵正常运转的同时抑制气体的固化的目的，通过以下的技术方案实现：一种真空泵，具备基座、具有收容在基座内的转子圆筒部且能够旋转地支承在基座上的转子、配置在基座与转子圆筒部之间的大致圆筒状的定子、和被刻设在转子圆筒部的外周面或定子的内周面的某一方上的螺纹槽部，该真空泵具备：隔热机构，其从除了定子以外的固定零件将定子隔热；加热机构，其将定子加热；转子圆筒部与定子的吸气口侧的离开距离被设定为和转子圆筒部与定子的排气口侧的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空泵，具备：基座；转子，其具有收容在该基座内的转子圆筒部，能够旋转地支承在前述基座上；大致圆筒状的定子，其配置在前述基座与前述转子圆筒部之间；和螺纹槽部，其被刻设在前述转子圆筒部的外周面或前述定子的内周面的某一方上，其特征在于，具备：隔热机构，其从除了前述定子以外的固定零件将前述定子隔热；加热机构，其将前述定子加热；前述转子圆筒部与前述定子的吸气口侧的离开距离被设定为和前述转子圆筒部与前述定子的排气口侧的离开距离相同或比其更大。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.11.16 JP 2015-2241991.一种真空泵，具备：基座；转子，其具有收容在该基座内的转子圆筒部，能够旋转地支承在前述基座上；大致圆筒状的定子，其配置在前述基座与前述转子圆筒部之间；和螺纹槽部，其被刻设在前述转子圆筒部的外周面或前述定子的内周面的某一方上，其特征在于，具备：隔热机构，其从除了前述定子以外的固定零件将前述定子隔热；加热机构，其将前述定子加热；前述转子圆筒部与前述定子的吸气口侧的离开距离被设定为和前述转子圆筒部与前述定子的排气口侧的离开距离相同或比其更大。2.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，前述隔热机构具有在转子轴向上与前述定子接触并配设在前述基座上的凸缘部、和在转子轴向上与前述基座接触并设置在前述凸缘部的内周缘上的间隔件圆筒部，是将前述加热机构收...

【专利技术属性】
技术研发人员：坂口祐幸，
申请(专利权)人：埃地沃兹日本有限公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP