电磁铁单元、磁轴承装置及真空泵制造方法及图纸

提供高精度地检测旋转体的径向的位移的电磁铁单元、磁轴承装置及真空泵。上方电磁铁单元(61)具备将转子(20)在径向(R)上非接触支承的径向电磁铁(63)、检测转子(20)的径向(R)的位移的径向传感器(64)、卷绕线圈(63a)及线圈(64a)的磁芯(65)。在磁芯(65)的周向(C)上相邻的两个径向电磁铁(63、63)配置成在两个径向电磁铁(63、63)，相邻的磁极(66、66)彼此为同极，在两个径向电磁铁(63、63)间形成低磁通量干涉区域(m)。径向传感器(64)配置于低磁通量干涉区域(m)内。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】电磁铁单元、磁轴承装置及真空泵
本专利技术涉及电磁铁单元、磁轴承装置及真空泵，特别地，涉及用于高精度地检测旋转体的径向位移的电磁铁单元、磁轴承装置及真空泵。
技术介绍
作为使用真空泵进行排气处理而将内部保持成真空的装置，已知有半导体制造装置、液晶制造装置、电子显微镜、表面分析装置及细微加工装置等。被用于这样的装置的真空泵通过旋转翼相对于固定翼相对旋转，排出装置内的气体，装置内被保持成真空。在专利文献1中，公开了一种磁轴承装置，前述磁轴承装置具备将旋转体在径向上非接触支承的径向电磁铁和检测旋转体的径向的位移的径向传感器，具备基于径向传感器的输出调整径向电磁铁的磁力的控制机构，配置成相邻的径向电磁铁的磁极和径向传感器的磁极为同极。专利文献1:日本特开2001-56026号公报。在如上所述的磁轴承装置中，径向电磁铁的磁通量比径向传感器的磁通量强，所以有如下问题：在相邻的径向电磁铁和径向传感器之间发生磁干涉，径向传感器的磁特性变化，有旋转体的径向的位移不被准确地检测。
技术实现思路
因此，本专利技术是鉴于这样的以往的问题而作出的，其目的在于高精度地检测旋转体的径向的位移。本专利技术是为了实现上述目的而被提出的，技术方案1所述的专利技术是一种电磁铁单元，前述电磁铁单元具备径向磁力产生机构、径向位移检测机构、磁芯，前述径向磁力产生机构借助磁力将旋转体在径向上非接触支承，前述径向位移检测机构检测前述旋转体的径向的位移，前述磁芯卷绕有前述径向磁力产生机构的线圈及前述径向位移检测机构的线圈，其特征在于，在前述磁芯的周向上相邻的两个前述径向磁力产生机构被配置成在该两个前述径向磁力产生机构间相邻的磁极彼此为同极，在前述两个前述径向磁力产生机构间形成低磁通量干涉区域，前述径向位移检测机构被配置于前述低磁通量干涉区域内。根据该方案，以相邻的径向磁力产生机构的磁极彼此同极的方式配置径向磁力产生机构，径向位移检测机构被配置于在相邻的径向磁力产生机构间形成的低磁通量干涉区域内，由此抑制由于径向磁力产生机构的强磁通量而径向位移检测机构受到磁干涉的情况，所以径向位移检测机构能够高精度地检测旋转体的径向的位移。技术方案2所述的专利技术提供一种电磁铁单元，前述电磁铁单元在技术方案1所述的电磁铁单元的结构上，具备减少前述径向磁力产生机构和前述径向位移检测机构的磁耦合的磁屏蔽机构。根据该方案，磁屏蔽机构减少径向磁力产生机构和径向位移检测机构的磁耦合，由此抑制径向位移检测机构受到由于径向磁力产生机构的强磁通量引起的磁干涉的情况，所以径向位移检测机构能够更高精度地检测旋转体的径向的位移。技术方案3所述的专利技术提供一种电磁铁单元，前述电磁铁单元在技术方案2所述的电磁铁单元的结构上，前述磁屏蔽机构是被安装于前述径向磁力产生机构的导电性的屏蔽环。根据该方案，导电性的屏蔽环使径向磁力产生机构的磁通量宽度变窄，由此减少径向磁力产生机构和径向位移检测机构之间的磁干涉，所以径向位移检测机构能够高精度地检测旋转体的径向的位移。技术方案4所述的专利技术提供一种电磁铁单元，前述电磁铁单元在技术方案2所述的电磁铁单元的结构上，前述磁屏蔽机构是被覆盖设置于前述径向位移检测机构的线圈的导电性的屏蔽管。根据该方案，导电性的屏蔽管使径向位移检测机构的磁通量宽度变窄，由此减少径向磁力产生机构和径向位移检测机构之间的磁干涉，所以径向位移检测机构能够高精度地检测旋转体的径向的位移。技术方案5所述的专利技术提供一种电磁铁单元，前述电磁铁单元在技术方案1至4中任一项所述的电磁铁单元的结构上，前述径向磁力产生机构具备被在前述磁芯的周向并列地设置且形成朝向互相相反的方向的两个磁通量的三个磁极。根据该方案，径向磁力产生机构的三个磁极形成朝向互相相反的方向的两个磁通量，从径向磁力产生机构漏至磁芯内的磁通量相抵，由此减少径向磁力产生机构和径向位移检测机构之间的磁干涉，所以径向位移检测机构能够高精度地检测旋转体的径向的位移。技术方案6所述的专利技术提供一种电磁铁单元，前述电磁铁单元在技术方案1至4中任一项所述的电磁铁单元的结构上，前述径向磁力产生机构具备被在前述磁芯的周向并列地设置且形成朝向互相相反的方向的两个磁通量的四个磁极。根据该方案，径向磁力产生机构的四个磁极形成朝向互相相反的方向的两个磁通量，从径向磁力产生机构漏至磁芯内的磁通量相抵，由此减少径向磁力产生机构和径向位移检测机构之间的磁干涉，所以径向位移检测机构能够高精度地检测旋转体的径向的位移。技术方案7所述的专利技术提供一种电磁铁单元，前述电磁铁单元在技术方案1至4中任一项所述的电磁铁单元的结构上，前述径向磁力产生机构具备将互不相同的极性在前述磁芯的周向上交替地并列地设置的五个以上的磁极。根据该方案，径向磁力产生机构的磁极形成朝向互相相反的方向的多个磁通量，由此从径向磁力产生机构漏至磁芯内的磁通量相抵，由此减少径向磁力产生机构和径向位移检测机构之间的磁干涉，所以径向位移检测机构能够高精度地检测旋转体的径向的位移。技术方案8所述的专利技术提供一种电磁铁单元，前述电磁铁单元在技术方案1至7中任一项所述的电磁铁单元的结构上，前述径向位移检测机构具备在前述旋转体的轴向上并列地设置的互不相同的两个磁极。根据该方案，径向位移检测机构的互不相同的磁极被在旋转体的轴向上并列地设置，由此由于径向磁力产生机构的强磁通量引起的磁干涉相抵，由此径向位移检测机构能够高精度地检测旋转体的径向的位移。技术方案9所述的专利技术提供一种电磁铁单元，前述电磁铁单元在技术方案8所述的电磁铁单元的结构上，前述径向位移检测机构具备在前述磁芯的周向上并列地设置的互不相同的两个磁极。根据该方案，径向位移检测机构具备被在旋转体的轴向上并列地设置的互不相同的两个磁极和在磁芯的周向上并列地设置的互不相同的两个磁极，两个N极和两个S极被配置成互不相同，由此由于径向磁力产生机构的强磁通量引起的磁干涉相抵，所以径向位移检测机构能够高精度地检测旋转体的径向的位移。技术方案10所述的专利技术提供一种电磁铁单元，前述电磁铁单元在技术方案8或9所述的电磁铁单元的结构上，前述磁芯具备使前述径向位移检测机构的前述轴向的磁通量通过前述磁芯而产生的电涡流减少的电涡流减少机构。根据该方案，电涡流减少机构减少径向位移检测机构的磁通量将磁芯在轴向上横穿而产生的电涡流，由此能够抑制由于电涡流引起的发热。技术方案11所述的专利技术提供一种电磁铁单元，前述电磁铁单元在技术方案10所述的电磁铁单元的结构上，前述电涡流减少机构是减少前述径向位移检测机构的前述轴向的磁通量通过前述磁芯的通过截面积的构造。根据该方案，将径向位移检测机构的轴向的磁通量通过的磁芯的既定区域形成为网状，或设置孔、狭缝等，减少轴向的磁通量的磁芯的通过截面积，由此能够抑制轴向的磁通量通过磁芯时产生的发热。技术方案12所述的专利技术提供一种电磁铁单元，前述电磁铁单元在技术方案1至11中任一项所述的电磁铁单元的结构上，前述径向位移检测机构的前述线圈被卷绕于从前述磁芯向前述径向的内侧突出地设置的两个爪部，从前述线圈的径向外侧端至前述爪部的基端的距离被较长地设定为前述两个爪部间的距离以上。根据该方案，电磁铁位移检测机构的磁通量容易形成于电磁铁位移检测机构和旋转体之间，减少从电磁铁位移检测机构流向磁芯的漏磁通，能够使本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电磁铁单元，前述电磁铁单元具备径向磁力产生机构、径向位移检测机构、磁芯，前述径向磁力产生机构借助磁力将旋转体在径向上非接触支承，前述径向位移检测机构检测前述旋转体的径向的位移，前述磁芯卷绕有前述径向磁力产生机构的线圈及前述径向位移检测机构的线圈，其特征在于，在前述磁芯的周向上相邻的两个前述径向磁力产生机构被配置成在该两个前述径向磁力产生机构间相邻的磁极彼此为同极，在前述两个前述径向磁力产生机构间形成低磁通量干涉区域，前述径向位移检测机构被配置于前述低磁通量干涉区域内。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.07.07 JP 2015-1359511.一种电磁铁单元，前述电磁铁单元具备径向磁力产生机构、径向位移检测机构、磁芯，前述径向磁力产生机构借助磁力将旋转体在径向上非接触支承，前述径向位移检测机构检测前述旋转体的径向的位移，前述磁芯卷绕有前述径向磁力产生机构的线圈及前述径向位移检测机构的线圈，其特征在于，在前述磁芯的周向上相邻的两个前述径向磁力产生机构被配置成在该两个前述径向磁力产生机构间相邻的磁极彼此为同极，在前述两个前述径向磁力产生机构间形成低磁通量干涉区域，前述径向位移检测机构被配置于前述低磁通量干涉区域内。2.如权利要求1所述的电磁铁单元，其特征在于，具备减少前述径向磁力产生机构和前述径向位移检测机构的磁耦合的磁屏蔽机构。3.如权利要求2所述的电磁铁单元，其特征在于，前述磁屏蔽机构是被安装于前述径向磁力产生机构的导电性的屏蔽环。4.如权利要求2所述的电磁铁单元，其特征在于，前述磁屏蔽机构是被覆盖设置于前述径向位移检测机构的线圈的导电性的屏蔽管。5.如权利要求1至4中任一项所述的电磁铁单元，其特征在于，前述径向磁力产生机构具备被在前述磁芯的周向上并列地设置且形成朝向互相相反的方向的两个磁通量的三个磁极。6.如权利要求1至4中任一项所述的电磁铁单元，其特征在于，前述径向磁力产生机构具备被在前述磁芯的周向上并列地设置且形成朝向互相相反的方向的两个磁通量的四个磁极。7.如权利要求1至4中任一项所述的电磁铁单元，其特征在于，前述径向磁力产生机构具备将互不...

【专利技术属性】
技术研发人员：川岛敏明，
申请(专利权)人：埃地沃兹日本有限公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP