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提供高精度地检测旋转体的径向的位移的电磁铁单元、磁轴承装置及真空泵。上方电磁铁单元(61)具备将转子(20)在径向(R)上非接触支承的径向电磁铁(63)、检测转子(20)的径向(R)的位移的径向传感器(64)、卷绕线圈(63a)及线圈(64...
该专利属于埃地沃兹日本有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过埃地沃兹日本有限公司授权不得商用。

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