控制器及真空泵装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供振动少且能够实现小型化、并且能够廉价地将内置于控制器的控制回路的热高效率地除去的控制器及真空泵装置。在具备控制真空泵装置（10）的泵主体（11）的动作的控制回路的控制器（12）中，具备控制器壳体（15）和散热器（16），前述控制器壳体（15）收纳有前述控制回路，前述散热器（16）与控制器壳体（15）一体地形成，并且具有从控制器壳体（15）的外周面向外侧放射状地形成的多张散热片（17）。

Controller and Vacuum Pump Device

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】控制器及真空泵装置
本专利技术涉及例如在半导体制造装置、电子显微镜、质量分析装置等设备中被使用的控制器及真空泵装置。
技术介绍
以往，在上述那样的各种设备中，为了使真空腔内为高真空而利用真空泵装置。这种真空泵装置构成为具备安装于真空腔的泵主体和控制其动作的控制器。作为泵主体，一般已知涡轮分子泵。该涡轮分子泵在泵罩内能够旋转地支承有转子，在转子的外壁面设置放射状且多层的转子翼，在面对其的泵罩的内壁面在转子翼间配置有定位的多层定子翼。并且，若将真空腔内以某种程度减压后使控制器控制的转子高速旋转，则与旋转的转子翼和固定的定子翼碰撞的气体分子被施加动量而被排出。通过该排气动作，将从真空腔向泵主体内抽吸的气体分子压缩的同时排出，在真空腔内形成既定的高真空度。但是，在这样的真空泵装置中，在控制器的内部内置有主要用于控制转子的旋转动作的控制回路基板。在控制回路基板上安装有构成电子回路的元件。此外，在该元件中，有像晶体管、电阻那样在动作时产生热的元件，在泵主体的运转中，由于它们的热，控制回路基板变得温度非常高。这样，若将由于发热的元件而呈高温化的控制回路基板保持原样地继续泵主体的运转，则以该热为原因使元件的寿命显著下降，且导致控制器的故障而不能使泵主体正常动作。因此，在真空泵装置中，将内置于控制器的控制回路基板的热去除是必不可少的。作为该方法，已知在控制器的内部设置冷却风扇来使来自冷却风扇的风直接碰撞控制回路基板的强制空冷的方法、将壳体内的高温化的热气向外部排出来冷却的方法等。然而，根据这些使用冷却风扇的空冷方式有如下问题。例如，在将上述真空泵装置安装于电子显微镜那样的需要防振环境的测定设备的真空腔的情况下，振动是大忌，所以必须极力抑制泵主体的振动。因此，作为支承振动的发生源即旋转的转子的构造采用磁轴承，消除机械接触来实现泵主体的低振动化。但是，若如上所述地在控制器的内部设置冷却风扇，则驱动该冷却风扇的马达的振动经由控制器传向泵主体，泵主体的振动向测定设备传播。因此，特别地在需要低振动性的真空泵装置中，不太希望采用成为振动的主要原因的冷却风扇的强制空冷方式。另一方面，在下述专利文献1中，公开了不使用冷却风扇地冷却控制器的方法。该方法为，将泵主体和控制器借助连接接头连结，并且设置紧贴于两者的冷却夹套。并且，使冷却水流向冷却夹套内的配管，经由冷却夹套将控制器水冷。但是，根据使用该冷却夹套的水冷方式，另外需要用于供冷却水流动的配管设备，真空泵装置大型化，并且其处理变差。并且，必须在泵主体的运转中使冷却水持续流动，也有运转成本变高的缺点。此外，在下述专利文献2中，公开了不使用冷却风扇及冷却夹套而将控制器罩的周围用散热器覆盖来借助自然空冷提高其放热性的方法。该方法为，在控制器的外表面将散热器用螺纹件固定来使其热传导，该散热器为了使热向外气放出，呈在外壁面使多张散热片排列的板型。这样的多张散热片从放热性的观点考虑希望安装于控制器罩的多个面、角部，但在欲将控制器罩由铸造物制作的情况下，需要与各面、各角部的各散热片的形状配合的铸模，作业工序变得复杂，有作业工时增加而控制器罩的成本提高的问题。因此，根据将该散热器在控制器的外表面用螺纹件固定的冷却方式，需要用于固定散热器的作业。因此，有作业工时增加而成本提高的问题。此外，控制器和散热器是分体的，所以也有热传导性变差且散热器大型化的缺点。专利文献1：日本特开平11-173293号公报。专利文献2：日本专利第4796795号公报。
技术实现思路
因此，本专利技术是鉴于这样的情况而被作出的，其目的在于提供控制器及真空泵装置，前述控制器及真空泵装置解决以往的强制空冷、水冷方式及自然空冷方式的问题，振动较少且能够实现小型化，并且能够廉价地将内置于控制器的控制回路的热高效地除去。本专利技术为了实现上述目的而被提出，技术方案1记载的专利技术提供一种控制器，前述控制器具备控制真空泵装置的泵主体的动作的控制回路，前述控制器具备控制器壳体和散热器，前述控制器壳体收纳有前述控制回路，前述散热器与前述控制器壳体一体地形成，并且具有从前述控制器壳体的外周面向外侧向形成的多张散热片。根据该方案，收纳于前述控制器壳体的前述控制回路由于晶体管、电阻等发热的元件而变为高温，但该热传向与前述控制器壳体一体地形成的前述散热器的前述散热片，在大气中被自然放热而被从前述控制回路去除。因此，即使不像以往的强制空冷、水冷方式那样在控制器的内部设置冷却风扇等也能够得到充分的空冷效果。此外，前述散热器与前述控制壳体一体地形成，所以热传导效果较好，与外气的热交换效率也提高。技术方案2记载的专利技术提供一种控制器，在技术方案1记载的结构中，前述控制器壳体是铸造物制的，并且前述散热片的两侧面设置成向拔模方向倾斜的锥面。根据该方案，能够将一体地具备前述散热器的前述控制器壳体借助铸造物更简单地制作。此外，通过使前述散热片的锥面在铸模的拔模方向上一致，能够使铸造物的制作更容易。技术方案3记载的专利技术提供一种控制器，在技术方案1或2记载的结构中，前述散热片在主视时形成为大致梯形。根据该方案，前述散热片的形状在主视时形成为大致梯形。因此，若预先设置成散热片相对于散热片间形成的空气通路呈倒梯形，则与散热片之间形成的空气通路的出口部分的开口面积比入口部分的开口面积小。因此，进入前述散热片间的空气通路而朝向出口部分的开口的被加热的空气随着进入出口部分的开口而被逐渐压缩，从出口部分的开口通过后被从压缩解放而急速地流动。由此，空气通路内的空气被通过出口部分的开口后的空气的急速的气流牵引而流向出口部分的开口侧，使空气通路内的空气的流动顺畅，进一步提高放热效果。技术方案4记载的专利技术提供一种控制器，在技术方案1或2记载的结构中，前述散热片在主视形成为大致菱形。根据该方案，前述散热片的形状在主视时形成为大致菱形，所以在与散热片之间形成的空气通路中，空气通路的中间部分的开口面积比入口部分的开口面积小。因此，进入散热片间的空气通路而朝向出口部分的开口侧的加热的空气随着进入中间部分的开口而被逐渐压缩，通过中间部分的开口后从压缩解放而急速地流动。由此，空气通路内的空气被通过中间部分的开口后的空气的急速的流动牵引而朝向中间部分的开口侧，进而穿过该中间部分的开口流向出口部分的开口侧，使前述空气通路内的空气的流动顺畅，进一步提高放热效果。技术方案5记载的专利技术提供一种控制器，在技术方案1或2记载的结构中，前述散热片在主视形成为包括三角形的大致多边形。根据该方案，前述散热片的形状在主视时形成为包括三角形的大致多边形，所以在与散热片之间形成的空气通路中，空气通路的中间部分的开口面积比入口部分的开口面积小。因此，进入散热片间的空气通路而朝向出口部分的开口侧的加热的空气随着进入中间部分的开口而被逐渐压缩，通过中间部分的开口后从压缩解放而急速地流动。由此，空气通路内的空气被通过中间部分的开口后的空气的急速的流动牵引而流向中间部分的开口侧，使前述空气通路内的空气的流动顺畅，进一步提高放热效果。技术方案6记载的专利技术提供一种控制器，在技术方案2记载的结构中，前述散热片以与相邻的前述散热片形成的空气通路的开口面积在前述泵主体侧变小的方式形成前述锥面。根据该方案，前述散热片以与相邻的前述散热片形成的空气通路的开口面本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种控制器，前述控制器具备控制真空泵装置的泵主体的动作的控制回路，其特征在于，具备控制器壳体和散热器，前述控制器壳体收纳有前述控制回路，前述散热器与前述控制器壳体一体地形成，并且具有从前述控制器壳体的外周面向外侧向形成的多张散热片。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2017.02.17 JP 2017-0278221.一种控制器，前述控制器具备控制真空泵装置的泵主体的动作的控制回路，其特征在于，具备控制器壳体和散热器，前述控制器壳体收纳有前述控制回路，前述散热器与前述控制器壳体一体地形成，并且具有从前述控制器壳体的外周面向外侧向形成的多张散热片。2.如权利要求1所述的控制器，其特征在于，前述控制器壳体是铸造物制的，并且前述散热片的两侧面设置成向拔模方向倾斜的锥面。3.如权利要求1或2所述的控制器，其特征在于，前述散热片在主视时形成为大致梯形。4.如权利要求1或2所述的控制器，其特征在于，前述散热片在主视时形成为大致菱形。5.如权利要求1或2所述的控制器，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：馆野泰，
申请(专利权)人：埃地沃兹日本有限公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP