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控制器及真空泵装置制造方法及图纸
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下载控制器及真空泵装置的技术资料
文档序号:22138796
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本发明提供振动少且能够实现小型化、并且能够廉价地将内置于控制器的控制回路的热高效率地除去的控制器及真空泵装置。在具备控制真空泵装置(10)的泵主体(11)的动作的控制回路的控制器(12)中,具备控制器壳体(15)和散热器(16),前述控制器...
该专利属于埃地沃兹日本有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过埃地沃兹日本有限公司授权不得商用。
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