真空装置以及真空装置的真空容器内的压力控制方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供无需使用昂贵的质量流量控制器、不会大量消耗导入气体就能够控制真空容器内的压力的真空装置以及真空装置的真空容器内的压力控制方法。真空装置(1)具备真空容器(2)、测定真空容器(2)的内部的压力的真空计(3)、对真空容器(2)进行真空排气的第一真空泵(4)、传导阀(5)、经由传导阀(5)与真空容器(2)连接的第二真空泵(6)、朝真空容器(2)供给气体的气体供给单元(7)、以及基于真空计(3)的输出将真空容器(2)的内部的压力控制成控制压力的控制装置(8)。第二真空泵(6)是以内部的压力高于真空容器(2)的内部的压力(控制压力)的方式选定的干式真空泵，且构成为由气体供给单元(7)供给的气体在泵内部从排气口(6b)朝吸气口(6a)流通。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及用于控制真空容器的内部的压力的。
技术介绍
以往，在溅射、CVD等中使用的工业用真空装置中，使用有用于控制真空容器的内部的压力的真空装置。作为这种真空装置，例如在日本特开平9-158833号公报中公开有如下的真空装置:在朝真空容器导入气体的系统中设置具有与真空容器的排气系统独立的排气系统的中间室、和设置在该中间室与真空容器之间的可变传导阀(conductance valve),利用通常使用的质量流量控制器将来自气体供给单元的导入气体以一定流量导入中间室，进而利用可变传导阀调整从中间室流入真空容器内的导入气体量，由此，无需使用用于高精度地控制极微小的气体导入量的昂贵的质量流量控制器就能够调整真空容器内的压力。但是，在上述技术中，由于一边将由气体供给单元供给的气体经由中间室朝真空容器供给，一边利用第二真空泵对中间室内的气体始终进行排气，因此由气体供给单元供给的导入气体的大部分并未到达真空容器就被朝装置系统的外部，会消耗大量的气体，存在运转成本高的问题。
技术实现思路
因此，本专利技术的目的在于提供一种不使用昂贵的质量流量控制器、不消耗大量的导入气体就能够控制真空容器内的压力的。在本专利技术中，为了实现上述目的，在本专利技术的第一方式中，采用如下的技术手段:真空装置具备:真空容器，将处理材料配置在该真空容器的内部；排气单元，该排气单元对上述真空容器内进行真空排气；流量控制单元，该流量控制单元控制气体的流量；以及减压单元，该减压单元由真空泵构成，该真空泵的吸气口经由上述流量控制单元与上述真空容器连接，上述减压单元构成为:该减压单元内部的压力比利用上述排气单元进行真空排气后的上述真空容器内的压力高，气体能够在上述减压单元的内部从排气口侧朝吸气口侧流通，通过将在上述减压单元的内部流通的气体从上述吸气口经由上述流量控制单元导入上述真空容器来控制上述真空容器内的压力。根据本专利技术的第一方式，利用排气单元对真空容器内进行排气，使内部的压力低于减压单元的内部的压力，由此，使得减压单元的吸气口侧的压力始终在减压单元的内部的压力以下，由此，能够使气体从减压单元的排气口侧朝吸气口侧流通，能够将在减压单元的内部流通的气体经由流量控制单元从吸气口导入真空容器内。由此，能够在将气体减压至减压单元的到达压力后的状态下经由流量控制单元导入真空容器，因此，即便不使用昂贵的质量流量控制器也能够精密地控制导入真空容器的气体的量，因此能够高精度地控制真空容器内的压力。并且，能够将在减压单元流通并被导入真空容器的气体的所有的量导入真空容器，因此不存在将气体朝系统外排出而白白地消耗的情况，能够将运转成本抑制得较低。在本专利技术的第二方式中采用如下的技术手段:在本专利技术的第一方式的真空装置中，上述减压单元的真空泵是干式真空泵。根据本专利技术的第二方式，减压单元由干式真空泵构成，因此，导入真空容器的气体处于洁净状态，真空容器内不会被污染。在本专利技术的第三方式中采用如下的技术手段:在本专利技术的第一或者第二方式的真空装置中，上述真空装置具备气体供给单元，该气体供给单元连接于上述减压单元的排气口，对减压单元供给气体。根据本专利技术的第三方式，由于能够将从气体供给单元供给的气体导入真空容器，因此能够朝真空容器内导入任意的气体。在本专利技术的第四方式中采用如下的技术手段:在本专利技术的第一或者第二方式的真空装置中，上述减压单元的排气口朝大气敞开。在真空容器内的气体氛围可以不是特定气体的情况下，能够像本专利技术的第四方式那样采用减压单元的排气口朝大气敞开的结构，由此，能够使装置结构简单而降低装置成本，并且不需要使用昂贵的气体，因此能够以便宜的运转成本控制真空容器内的压力。在本专利技术的第五方式中采用如下的技术手段:在本专利技术的第一或者第二方式的真空装置中，真空装置具备:真空计，该真空计测定上述真空容器内的压力；以及控制装置，该控制装置基于上述真空计的输出控制上述流量控制单元，以使得上述真空容器内的压力成为预先设定的控制压力。根据本专利技术的第五方式，即便并不手动地控制流量控制单元也无妨，因此能够降低工时，并且能够高精度地可靠地进行真空容器的压力控制。在本专利技术的第六方式中采用如下的技术手段:在本专利技术的第一方式的真空装置中，上述减压单元是隔膜泵。当像本专利技术的第六方式那样构成为减压单元是隔膜泵时，由于隔膜泵的到达真空度一般为3X 104pa至3X 103pa左右，因此能够适用于欲将真空容器的内部的压力控制为3X104pa至20Pa左右的情况。并且，隔膜泵是真空泵中最便宜的种类的真空泵，因此能够抑制装置成本。在本专利技术的第七方式中采用如下的技术手段:在本专利技术的第一方式的真空装置中，上述减压单元是涡旋泵。当像本专利技术的第七方式那样构成为减压单元是涡旋泵时，由于涡旋泵是在能够单独使用的干式真空泵中的到达压力最低的种类的真空泵，到达真空度通常为20Pa至IPa左右，因此能够适用于欲将真空容器的内部的压力控制为20Pa至4.0X 10_2Pa左右的情况。在本专利技术的第八方式中采用如下的技术手段:在本专利技术的第一方式的真空装置中，上述减压单元是包含机械增力泵的排气单元。在像本专利技术的第八方式那样构成为减压单元是包含机械增力泵的排气单元时，由于包含机械增力泵的排气单元的到达真空度通常为4.0X 10_2Pa左右，因此能够适用于欲将真空容器的内部的压力控制为4.0X 10_2pa以下的情况。作为包含机械增力泵的排气单元，例如能够使用在机械增力泵组合有涡旋泵等的单元。在本专利技术的第九方式中采用如下的技术手段:在本专利技术的第一或者第二方式的真空装置中，上述真空容器是层叠体固定夹具，该层叠体固定夹具对层叠膜材料而成的层叠体进行固定，以便利用加压单元该对层叠体进行加压接合来制造层叠接合体。在制造层叠固体高分子膜、燃料极膜、以及空气极膜并进行接合而形成的固体高分子型燃料电池用的膜-电极接合体(Membrane-Electrode Assembly)等层叠接合体时使用对配置层叠体的空间进行减压而固定层叠体的方式的层叠体固定夹具的情况下，有时需要对配置层叠体的空间内的压力进行控制。通过像本专利技术的第九方式这样将真空容器构成为层叠体固定夹具，能够适用于这种层叠接合体的制造。在本专利技术的第十方式中采用如下的技术手段:真空容器内的压力控制方法具备:排气工序，准备真空装置，并利用上述真空装置对上述真空容器内进行真空排气，使得上述真空容器内的压力低于减压单元的内部的压力，其中，上述真空装置具备:真空容器，将处理材料配置在该真空容器的内部；排气单元，该排气单元对上述真空容器内进行真空排气；流量控制单元，该流量控制单元控制气体的流量；以及上述减压单元，该减压单元由真空泵构成，该真空泵的吸气口经由上述流量控制单元与上述真空容器连接；气体导入工序，使气体通过上述减压单元的内部从排气口侧朝吸气口侧流通，并将在上述减压单元的内部流通的气体经由上述流量控制单元导入上述真空容器内；以及压力控制工序，通过对上述流量控制单元进行控制来进行真空容器内的压力控制。根据本专利技术的第十方式，在排气工序中利用上述排气单元对上述真空容器内进行真空排气而使其压力成为比上述减压单元的内部的压力低的压力，在气体导入工序中使气体通过减压单元的内部从排气口侧朝吸气口侧流通，并将在减压单元的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空装置，其特征在于，所述真空装置具备：真空容器，将处理材料配置在该真空容器的内部；排气单元，该排气单元对所述真空容器内进行真空排气；流量控制单元，该流量控制单元控制气体的流量；以及减压单元，该减压单元由真空泵构成，该真空泵的吸气口经由所述流量控制单元与所述真空容器连接，所述减压单元构成为：该减压单元内部的压力比利用所述排气单元进行真空排气后的所述真空容器内的压力高，气体能够在所述减压单元的内部从排气口侧朝吸气口侧流通，通过将在所述减压单元的内部流通的气体从所述吸气口经由所述流量控制单元导入所述真空容器来控制所述真空容器内的压力。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.11.16 JP 2011-2503341.一种真空装置，其特征在于，所述真空装置具备:真空容器，将处理材料配置在该真空容器的内部；排气单元，该排气单元对所述真空容器内进行真空排气；流量控制单元，该流量控制单元控制气体的流量；以及减压单元，该减压单元由真空泵构成，该真空泵的吸气口经由所述流量控制单元与所述真空容器连接，所述减压单元构成为:该减压单元内部的压力比利用所述排气单元进行真空排气后的所述真空容器内的压力高，气体能够在所述减压单元的内部从排气口侧朝吸气口侧流通，通过将在所述减压单元的内部流通的气体从所述吸气口经由所述流量控制单元导入所述真空容器来控制所述真空容器内的压力。2.根据权利要求1所述的真空装置，其特征在于，所述减压单元的真空泵是干式真空泵。3.根据权利要求1或2所述的真空装置， 其特征在于，所述真空装置具备气体供给单元，该气体供给单元连接于所述减压单元的排气口，对减压单元供给气体。4.根据权利要求1或2所述的真空装置，其特征在于，所述减压单元的排气口朝大气敞开。5.根据权利要求1或2所述的真空装置，其特征在于，所述真空装置具备:真空计，该真空计测定所述真空容器内的压力；以及控制装置，该控制装置基于所述真空计的输出控制所述流量控制单元，以使得所述真空容器内的压力成为预先设定的控制压力。6.根据权利要求1所述的真空装置，其特征在于，所述减压单元是隔膜泵。7.根据权利要求1所述的真空装置，其特征在于，所述减压单元是涡旋泵。8.根据权利要求1所述的真空装置，其特征在于，所述减压单元是包含机械增力泵的排气单元。9.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：长坂政彦，中岛章五，野泽孝行，杉野修，三岛育人，
申请(专利权)人：新东工业株式会社，
类型：
国别省市：