具有超高真空度的样品调整控制器制造技术

一种具有超高真空度的样品调整控制器，包括控制部、关节部、样品部及传动部，其中控制部的一端连接关节部的一端，关节部的另一端连接样品部，而传动部分别连接控制部、关节部和样品部，关节部是由至少一个波纹管构成，操作者能透过操控控制部的控制把手带动传动部的传动杆，使关节部被传动杆带动，进一步改变样品部的位置；本发明专利技术的样品调整装器是适合用于任何程度真空的环境。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是关于一种样品调整控制器，特别是运用在真空环境的样品调整控制器。
技术介绍
表面科学是一种研究物体表面微结构的学问，包括了解不同相位的接口的研究，我们可以藉由对接口特性的了解来解释一些宏观的现象，在半导体制程、磁性材料、超导体、燃料电池等方面，表面科学都是相当重要的。光电子能谱学(photoelectronspectroscopy,PES)是一种表面科学的分析技术，可用来观察物体的表面元素构成、纯物质的实验式、混合物内的杂质元素等，进而分析特定条件下的材料表面，因为光电效应原理当待测物受到真空紫外线(vacuumultraviolet)，或X射线等激发光源照射，待测物中的电子被激发而射出光电子，藉由分析光电子的动能、电离能、强度等物理量，便能了解待测物的性质，这样的测量必须在高真空的环境下进行。在进行表面测量时，实验人员有时候需要调整待测物的位置，而一般在大气中观测仪器使用之驱动系统，因为含有润滑剂挥发等问题的限制，并不适合运用于高真空的环境，因此应用在光电子能谱仪之驱动组件必需使用超高真空兼容之调整装置，目前所知的光电子能谱仪所用的待测物调整装置有一些问题，例如真空中异质金属材料难以焊接，或在旋转待测物时旋转中心若非待测物的中心，造成旋转角度后，必需调整X轴及Y轴才能回到样品中心；另外，在面对需要加热或冷却的待测物时，待测物调整装置各组件间的密合程度不佳，可能会造成量测不准确、密封破坏甚至伤害整个机构；因此，专利技术人认为有必要提供一种新的样品调整控制器。
技术实现思路
如前所述，专利技术人为了解决目前光电子能谱仪中的待测物调整器的问题，提供了一种包括波纹管的样品调整控制器。本专利技术提供了一种具有超高真空度的样品调整控制器，其特征在于样品调整控制器、X-Y-Z线性移动载台及真空腔，所述样品调整控制器是装置在所述X-Y-Z线性移动载台中，并使所述样品调整控制器配置于所述真空腔之中，其中所述样品调整控制器其特征在于：控制部，其上配置有多个控制把手；中心杆，其一端和所述控制部连接；水平关节部，其具有垂直转动轴，所述垂直转动轴的一端配置转轴，藉由所述转轴和所述中心杆的另一端连接，且所述垂直转动轴套设有中轴齿轮；垂直关节部，其一端和所述垂直转动轴的另一端固定连接，所述垂直关节部是由第一波纹管及第二波纹管串接而成，所述第一波纹管及所述第二波纹管连接处和传动齿轮相接；样品部，位于所述样品调整控制器的底端，具有样品座及样品载台，所述样品座和所述垂直关节部的另一端连接，所述样品载台位于所述样品座的外侧表面，并有前伞齿轮杆贯穿于所述样品座外侧表面，并和所述载台相接；及传动部，具有第一传动杆及第二传动杆，所述第一传动杆及所述第二传动杆皆有一端和所述控制把手的其中之一相接，所述第一传动杆套设有一齿轮，且所述第一传动杆的另一端配置有伞齿轮，而所述第二传动杆的另一端套设有蜗杆，所述蜗杆和所述传动齿轮相接，所述蜗杆和所述传动齿轮的多个齿轮牙相接合；其中，所述第二传动杆的转动能带动所述第一波纹管及所述第二波纹管的形变，进一步带动所述样品部转动。根据本专利技术的样品调整控制器，可以藉由传动部的设计，使得操作者在旋转待测物时，是可以使待测物且提供了依X、Y轴及Z轴为中心轴，等进行不同维度的旋转自由度，增加了表面测量实验的方便性。由于本专利技术的样品调整控制器是需要对待测物进行加热或是冷却，故本专利技术的样品调整控制器可以藉由样品座材料的选择，使得样品座具有良好的导热性能，而不会因为加热或冷却而造成损坏，可以保持整个机具的密封度与洁净度。附图说明图1为本专利技术的样品调整控制器示意图；图2A为本专利技术样品调整控器的传动部示意图；图2B为本专利技术控制部和传动部连接示意图；图3A为本专利技术的关节部剖视示意图；图3B为本专利技术的关节部形变示意图；图4为本专利技术的关节部与样品座相接处的剖面示意图；图5A为本专利技术样品调整控器的载台转动结构示意图；图5B为本专利技术样品部的截面爆炸示意图；图6为本专利技术样品调整控制器运用于光电子能谱仪示意图；及图7为本专利技术样品调整控制器运用于扫描式电子显微镜示意图。附图说明：样品调整控制器1控制部12控制把手121、123、125填充口122样品部13样品座131样品载台132前伞齿轮杆135陶瓷套1350轮轴1351弹簧1352伞齿轮件1353转轴136垂直关节部14侧面拨杆140第一波纹管141第二波纹管142接合部1420刀刃头1421螺纹结构1422传动部15第一传动杆150齿轮152第三传动杆153后伞齿轮杆154第二传动杆155可分离耦合件1550蜗杆156传动齿轮157中心杆16水平关节部17中轴齿轮171第三波纹管172转轴173固定框18光电子能谱设备2系统载台20X-Y-Z线性载台22真空腔24端口26电子能量分析装置28光电子信道280激发光源29扫描式电子显微镜3电子源30显微镜主体31物镜光栏32物镜34真空腔36样品38。具体实施例本专利技术以下的说明和附图，仅是为了方便展示本专利技术样品调整控制器的特征，并使具有本专利技术相关领域知识者能实施本专利技术，因此并未亦不需要依真实尺寸绘制，合先叙明。首先，如图1所示，其中图1是本专利技术的样品调整控制器示意图，并请同时参阅图2A，为本专利技术控制部和传动部连接示意图。本专利技术的样品调整控制器1是由控制部12、样品部13、垂直关节部14、传动部15及水平关节部17所组合而成。其中，垂直关节部14的一端和样品部13连接，另一端和水平关节部17连接，而水平关节部17的另一端是透过中心杆16和控制部12连接，垂直关节部14是由第一波纹管141和第二波纹管142串接而成，而传动部15同时连接垂直关节部14和控制部12。在使用样品调整控制器1时，操作者能透过调整控制部12的控制把手121、123、125来带动传动部15，进一步带动垂直关节部14及水平关节部17，使垂直关节部14及水平关节部17的作动能调整样品部13位置及方向，至于各部件的详细构造及连接关系，稍后详述。另外，控制把手121、123、125可是以手动调整，或是以马达来驱动。在本专利技术的实施例中，垂直关节部14和样品部13是固定在固定框18上，固定框18是设置于水平关节部17的下方，垂直关节部14是在第一波纹管141和第二波纹管142的相接处以一侧面拨杆140和固定框18连接，并且侧面拨杆140也和传动部15连接，而样品部13是以一转轴136和固定框18连接。接着，请同时参考图1、图2A及图2B，其中图2A是本专利技术样品调整控器的传动部示意本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有超高真空度的样品调整控制器，其特征在于一样品调整控制器(1)、一X‑Y‑Z线性移动载台(22)及一真空腔(24)，所述样品调整控制器(1)是装置在所述X‑Y‑Z线性移动载台(22)中，并使所述样品调整控制器(1)配置于所述真空腔(24)之中，其中所述样品调整控制器(1)其特征在于：    一控制部(12)，其上配置有多个控制把手(121/122/123)；一中心杆(16)，其一端和所述控制部(12)连接；一水平关节部(17)，其具有一垂直转动轴(172)，所述垂直转动轴(172)的一端配置一转轴(173)，藉由所述转轴(173)和所述中心杆(16)的另一端连接，且所述垂直转动轴(172)套设有一中轴齿轮(171)；一垂直关节部(14)，其一端和所述垂直转动轴(172)的另一端固定连接，所述垂直关节部(14)是由一第一波纹管(141)及一第二波纹管(142)串接而成，所述第一波纹管(141)及所述第二波纹管(142)连接处和一传动齿轮(157)相接；一样品部(13)，位于所述样品调整控制器(1)的底端，具有一样品座(131)及一样品载台(132)，所述样品座(131)和所述垂直关节部(14)的另一端连接，所述样品载台(132)位于所述样品座(131)的外侧表面，并有一前伞齿轮杆(135)贯穿于所述样品座(131)外侧表面，并和所述载台(132)相接；及一传动部(15)，具有一第一传动杆(150)及一第二传动杆(155)，所述第一传动杆(150)及所述第二传动杆(155)皆有一端和所述控制把手(121/122/123)的其中之一相接，所述第一传动杆(150)套设有一齿轮(152)，且所述第一传动杆(150)的另一端配置有一伞齿轮(151)，而所述第二传动杆(155)的另一端套设有一蜗杆(156)，所述蜗杆(156)和所述传动齿轮(157)相接，所述蜗杆(156)和所述传动齿轮(157)的多个齿轮牙(1571)相接合；其中，所述第二传动杆(155)的转动能带动所述第一波纹管(141)及所述第二波纹管(142)的形变，进一步带动所述样品部(13)转动。...

【技术特征摘要】
1.一种具有超高真空度的样品调整控制器，其特征在于一样品调整控制器(1)、一X-Y-Z线性移动载台(22)及一真空腔(24)，所述样品调整控制器(1)是装置在所述X-Y-Z线性移动载台(22)中，并使所述样品调整控制器(1)配置于所述真空腔(24)之中，其中所述样品调整控制器(1)其特征在于：
一控制部(12)，其上配置有多个控制把手(121/122/123)；
一中心杆(16)，其一端和所述控制部(12)连接；
一水平关节部(17)，其具有一垂直转动轴(172)，所述垂直转动轴(172)的一端配置一转轴(173)，藉由所述转轴(173)和所述中心杆(16)的另一端连接，且所述垂直转动轴(172)套设有一中轴齿轮(171)；
一垂直关节部(14)，其一端和所述垂直转动轴(172)的另一端固定连接，所述垂直关节部(14)是由一第一波纹管(141)及一第二波纹管(142)串接而成，所述第一波纹管(141)及所述第二波纹管(142)连接处和一传动齿轮(157)相接；
一样品部(13)，位于所述样品调整控制器(1)的底端，具有一样品座(131)及一样品载台(132)，所述样品座(131)和所述垂直关节部(14)的另一端连接，所述样品载台(132)位于所述样品座(131)的外侧表面，并有一前伞齿轮杆(135)贯穿于所述样品座(131)外侧表面，并和所述载台(132)相接；及
一传动部(15)，具有一第一传动杆(150)及一第二传动杆(155)，所述第一传动杆(150)及所述第二传动杆(155)皆有一端和所述控制把手(121/122/123)的其中之一相接，所述第一传动杆(150)套设有一齿轮(152)，且所述第一传动杆(150)的另一端配置...

【专利技术属性】
技术研发人员：喻霁阳，
申请(专利权)人：冠研上海企业管理咨询有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31