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本发明提供无需使用昂贵的质量流量控制器、不会大量消耗导入气体就能够控制真空容器内的压力的真空装置以及真空装置的真空容器内的压力控制方法。真空装置(1)具备真空容器(2)、测定真空容器(2)的内部的压力的真空计(3)、对真空容器(2)进行真空...
该专利属于新东工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过新东工业株式会社授权不得商用。

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