真空泵、真空泵的旋转体和静翼及其制造方法技术

本发明专利技术提供一种真空泵、真空泵的旋转体和静翼及其制造方法，其适合避免如控制旋转体的驱动的电装部件那样的无需高温化的部分的高温化，高效地使例如螺纹槽泵定子那样在真空泵中需要高温化的部分高温化，从而减少反应生成物的堆积。旋转体（4）具备构成螺纹槽泵机构部的第1圆筒体（4A）与构成涡轮分子泵机构部的第2圆筒体（4B），构成为在第2圆筒体（4B）的外周面上以多级配置有多个动翼（6），由第1圆筒体（4A）的内表面（S1）与第2圆筒体（4B）的内表面（S2）构成的圆筒内表面的至少一部分以及第1圆筒体（4A）的外表面（Q1）构成为放射率比动翼（6）的外表面小的低放射率部。

Rotating body and static wing of vacuum pump and vacuum pump and manufacturing method thereof

The invention provides a vacuum pump, a rotary body and a static wing of a vacuum pump, and a manufacturing method thereof, which is suitable for avoiding the high temperature of an unnecessary part, such as an electrically mounted part driven by a rotating body, and for efficiently heating a part that needs to be heated in a vacuum pump, such as a threaded grooved pump stator, thereby reducing the reverse. The accumulation of matter should be generated. The rotating body (4) consists of a first cylinder (4A) constituting a threaded grooved pump mechanism part and a second cylinder (4B) constituting a turbomolecular pump mechanism part. The rotating body (4) is composed of a plurality of rotor wings (6) on the outer surface of the second cylinder (4B), the inner surface (S1) of the first cylinder (4A) and the inner surface of the second cylinder (4B). At least a portion of the inner surface of the cylinder composed of a surface (S2) and the outer surface (Q1) of the first cylinder (4A) constitute a low emissivity portion with a lower emissivity than the outer surface of the moving wing (6).

【技术实现步骤摘要】
真空泵、真空泵的旋转体和静翼及其制造方法
本专利技术涉及被用作半导体制造装置、平板显示器制造装置、太阳能电池板制造装置中的处理腔室、其他密闭腔室的气体排气机构等的真空泵、真空泵的旋转体和静翼及其制造方法。
技术介绍
以往，作为这种真空泵，例如已知有专利文献1或者专利文献2所记载的真空泵。若参照专利文献1的图3（c），则在该专利文献1所记载的以往的真空泵中，将一片动翼（12）的上表面构成为高放射率部（高放射区域），该动翼（12）具体而言是最下级的动翼（12），另一方面，将相同的动翼（最下级的动翼）的下表面构成为低放射率部（低放射区域）。这是因为，通过减少从螺纹槽泵定子（圆筒状定子22）向最下级的动翼（12）的热放射，从而易于实现螺纹槽泵定子（圆筒状定子22）的高温化，减少螺纹槽泵定子（圆筒状定子22）中的反应生成物的堆积。然而，为了获得具备上述那样的高放射率部与低放射率部的动翼（12），例如在通过药液设置高放射率部时，为了保护低放射率部（最下级的动翼（12）的下表面）免受该药液，需要用遮蔽部件遮蔽最下级的动翼的下表面（低放射率部）。然而，若根据专利文献1所记载的真空泵，则在动翼（12）本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空泵，其利用旋转体的旋转对气体进行吸气及排气，上述真空泵的特征在于，上述旋转体具备构成螺纹槽泵机构部的第1圆筒体与构成涡轮分子泵机构部的第2圆筒体，在上述第2圆筒体的外周面以多级配置有多个动翼，由上述第1圆筒体的内表面与上述第2圆筒体的内表面构成的圆筒内表面的至少一部分、以及上述第1圆筒体的外表面构成为放射率比上述动翼的外表面小的低放射率部。

【技术特征摘要】
2016.11.24 JP 2016-2274561.一种真空泵，其利用旋转体的旋转对气体进行吸气及排气，上述真空泵的特征在于，上述旋转体具备构成螺纹槽泵机构部的第1圆筒体与构成涡轮分子泵机构部的第2圆筒体，在上述第2圆筒体的外周面以多级配置有多个动翼，由上述第1圆筒体的内表面与上述第2圆筒体的内表面构成的圆筒内表面的至少一部分、以及上述第1圆筒体的外表面构成为放射率比上述动翼的外表面小的低放射率部。2.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，在上述低放射率部和与该低放射率部邻接设置的高放射率部之间存在中间部，该中间部具备比上述低放射率部的放射率大并且比上述高放射率部的放射率小的放射率。3.如权利要求2所述的真空泵，其特征在于，上述中间部位于上述高放射率部与上述低放射率部各自的设计范围中的某一方的设计范围内，从而另一方的设计范围内仅由不包括上述中间部的上述高放射率部或者上述低放射率部构成。4.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，上述第2圆筒体的上述内表面构成为具有比上述低放射率部高的放射率的高放射率部。5.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，上述第1圆筒体的端部面构成为具有比上述低放射率部高的放射率的高放射率部。6.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，上述第1圆筒体的端部面构成为具有比上述高放射率部低的放射率的低放射率部。7.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，上述动翼中的最下级的上述动翼的表面构成为上述低放射率部。8.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，在上述动翼中的最下级的上述动翼中，在与上述螺纹槽泵机构部的固定部件对置的面上构成有上述低放射率部。9.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，在上述动翼中的最下级的上述动翼与上述螺纹槽泵机构部的固定部件之间配置有遮挡部件，在上述遮挡部件上构成有上述低放射率部。10.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，在上述动翼中的泵轴心方向的上述动翼之间设有静翼，上述静翼具备外轮辋，上述外轮辋用于在该外轮辋的外周部以及／或者该外周部的附近处被支承，上述外轮辋的上下表面、外周面中的至少某一个面构成为上述低放射率部。11.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，在上述动翼中的泵轴心方向的上述动翼间设有静翼，上述静翼具备外轮辋，上述外轮辋用于在该外轮辋的外周部以及／或者该外周部的附近处被支承，上述外轮辋通过将多个轮辋部件对接并接合，从而整体形成为环状，上述轮辋部件的对接面构成为上述低放射率部。12.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，上述低放射率部利用在第1低放射率部上层叠第2低放射率部而成的多层构造而构成。13.一种真空泵的旋转体的制造方法，制造下述真空泵的旋转体，该真空泵的旋转体具备构成螺纹槽泵机构部的第1圆筒体与构成涡轮分子泵机构部的第2圆筒体，在上述第2圆筒体的外周面以多级配置有多个动翼，上述真空泵的旋转体的制造方法的特征在于，该真空泵的旋转体的制造方法具备下述工序：保护工序，对由上述第1圆筒体的内表面与上述第2圆筒体的内表面构成的圆筒内表面的至少一部分以及／或者上述第1圆筒体的外表面进行保护，以不被进行高放射率表面处理；以及表面处理工序，在上述保护工序之后对上述旋转体实施上述高放射率表面处理。14.如权利要求13所述的真空泵的旋转体的制造方法，其特征在于，上述旋转体具备用于将上述第1圆筒体或者上述第2圆筒体紧固连结于旋转轴的贯通孔，上述保护工序包括将上述贯通孔封堵的处理。15.如权利要求13所述的真空泵的旋转体的制造方法，其特征在于，在上述保护工序之前具有紧固连结工序，上述旋转体具备用于将上述第1圆筒体或者上述第2圆筒体紧固连结于旋转轴的多个贯...

【专利技术属性】
技术研发人员：大立好伸，前岛靖，高阿田勉，
申请(专利权)人：埃地沃兹日本有限公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP