下载真空泵、真空泵的旋转体和静翼及其制造方法的技术资料

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本发明提供一种真空泵、真空泵的旋转体和静翼及其制造方法,其适合避免如控制旋转体的驱动的电装部件那样的无需高温化的部分的高温化,高效地使例如螺纹槽泵定子那样在真空泵中需要高温化的部分高温化,从而减少反应生成物的堆积。旋转体(4)具备构成螺纹槽...
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