旋转装置及真空泵制造方法及图纸

提供是制冷剂等不会漏出到内部的构造、此外能够将旋转体充分地冷却而得到较高的可靠性、并且能够低成本化的旋转装置及真空泵。构成为，具备：壳体（11）；以及旋转体（18），具有相对于壳体（11）能够相对旋转地配置的旋转轴（20），且与旋转轴（20）一体地构成；具备：中空部（20b），在旋转体（18）的内部沿着旋转轴中心形成；以及冷却棒（43），被固定于壳体（11），不拥有将制冷剂喷出的机构而以与旋转体（18）非接触的状态设置在中空部（20b）内，将旋转体（18）的辐射热吸收而将旋转体（18）冷却。辐射热吸收而将旋转体（18）冷却。辐射热吸收而将旋转体（18）冷却。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】旋转装置及真空泵


[0001]本专利技术涉及旋转装置及真空泵，特别涉及作为半导体制造装置、平板显示器制造装置、太阳能面板（solar panel）制造装置的处理腔室、其他密闭腔室的气体排气机构等利用的旋转装置及真空泵。

技术介绍

[0002]一般，在壳的内部作为动力而装入有马达的内装（built
‑
in）型的旋转装置因由马达自身带来的发热而成为高温，有可能导致马达的输出下降。为了改善该情况，以往以来提出了以下的构造：在设置有与定子一起构成马达的转子的主轴（spindle）内形成中空部，向该中空部内供给制冷剂（冷却气体、液体）而将主轴冷却，经由主轴将马达整体冷却（例如，参照专利文献1）。
[0003]现有技术文献专利文献专利文献1：日本特许第3197195号公报。

技术实现思路

[0004]专利技术要解决的课题专利文献1所记载的构造在主轴设置沿着其轴线上在基端侧开放并且在前端侧被闭塞的中空部，在其中空部从开放部插设有冷却液导引部。而且，从冷却液导引部的前端将冷却液喷射到中空部内而将主轴冷却，经由主轴将马达本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种旋转装置，具备壳体和旋转体，所述旋转体具有相对于前述壳体能够相对旋转地配置的旋转轴，且与前述旋转轴一体地构成，前述旋转装置的特征在于，具备：中空部，在前述旋转体的内部沿着前述旋转轴中心形成；以及冷却棒，被固定在前述壳体，不拥有将制冷剂向前述中空部喷出的机构而以与前述旋转体非接触的状态设置在前述中空部内，将前述旋转体的辐射热吸收而将前述旋转体冷却。2.如权利要求1所述的旋转装置，其特征在于，前述冷却棒经由将来自前述壳体的热遮断的第1绝热件而与前述壳体一体地连结。3.如权利要求1或2所述的旋转装置，其特征在于，前述冷却棒在从前述中空部引出的一端侧安装有进行前述冷却棒的散热的散热机构。4.如权利要求3所述的旋转装置，其特征在于，前述散热机构具有散热板。5.如权利要求3或4所述的旋转装置，其特征在于，前述散热机构内置有流动着冷却水的配管。6.如权利要求3～5中任一项所述的旋转装置，其特征在于，前述散热机构具有设置有珀耳帖元件的珀耳帖式单元。7.如权利要求1～6中任一项所述的旋转装置，其特征在于，前述冷却棒具有热管，所述热管在前述中空部的外侧配置散热部，在前述中空部内沿着前述旋转轴中心配设。8.如权利要求7所述的旋转装置，其特征在于，前述热管设置有多根，至少一根的高温部在旋转轴方向上错开而配置。9.如权利要求7或8所述的旋转装置，其特征在于，前述冷却棒大致整体由前述热管构成。10.如权利要求1～8中任一项所述的旋转装置，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：小野贵晃，野中学，
申请(专利权)人：埃地沃兹日本有限公司，
类型：发明
国别省市：