真空泵及连结型螺纹槽间隔件制造技术

提供即使借助固定螺栓将连结型螺纹槽间隔件紧固连结也能够防止真空泵的排气性能的下降的真空泵。本发明专利技术的实施方式的连结型螺纹槽间隔件具备使西格巴恩泵部和螺纹槽泵部连结的构造。将该连结型螺纹槽间隔件紧固连结时，预先在排气流路部设置沉孔，借助固定螺栓与基部紧固连结。通过这样设置，固定螺栓的头部不突出至排气流路，固定螺栓的头部不成为相对于排出气体的阻力。这样，能够抑制真空泵的排气性能下降。排气性能下降。排气性能下降。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】真空泵及连结型螺纹槽间隔件


[0001]本专利技术涉及真空泵及连结型螺纹槽间隔件。更详细地说，涉及在具有螺纹槽泵部(圆筒螺纹部)和西格巴恩泵部的真空泵中将连结型螺纹槽间隔件紧固连结时抑制固定螺栓导致的排气性能的下降的真空泵及连结型螺纹槽间隔件。

技术介绍

[0002]以往使用的具有西格巴恩型的结构的西格巴恩型分子泵具备旋转圆板(旋转圆盘)、与该旋转圆板在轴向上具有间隙(空隙)地设置的固定圆板，在该旋转圆板或固定圆板的至少某一方的间隙相向表面刻设有螺旋状槽(也称作螺旋槽或漩涡状槽)流路。并且，是如下真空泵：借助旋转圆板对扩散进入至螺旋状槽流路内的气体分子施加旋转圆板切线方向(即，旋转圆板的旋转方向的切线方向)的运动量，由此借助螺旋状槽从吸气口向排气口赋予优势的方向性来进行排气。
[0003]为了将这样的西格巴恩型分子泵、或者具有西格巴恩型分子泵部的真空泵在工业上利用，旋转圆板和固定圆板的级是单级的话压缩比不足所以被多级化。若为了满足所需要的压缩性能而增加级数，则泵自身的大小相应地变大。
[0004]此外，多级化的情况下，产生使旋转圆板为半分形状的必要。这样，需要使泵的外筒(壳)变长至覆盖西格巴恩部(西格巴恩泵部)的长度，该情况下泵自身的大小也变大。
[0005]此外，具有螺纹槽式泵型的结构的螺纹槽型分子泵、特别是高温化规格的真空泵中，为使螺纹部(螺纹槽部)处的压缩性能变好，使螺纹槽部的长度(螺纹长度)变长或构成为设置有两个以上的多个流路的并行路径类型等来制造。
[0006]然而，由于使螺纹长度变长而排气构造的周围构造(壳等)的部分变大，或者由于设为并行路径而复杂的零件增加等，制造成本变大。
[0007]图8是用于说明以往的单路径螺纹类型的真空泵的图。
[0008]例如，具备流路为一个的单路径螺纹槽间隔件2001的以往的真空泵1001中，欲使压缩性能变好情况下，需要使螺纹槽部的轴向的长度变长。若这样地使螺纹槽部的轴向的长度变长，则需要相应地使基部3变大，所以制造成本变大。
[0009]专利文献1：日本特开2017
‑
106365号公报。
[0010]专利文献1中，公开了维持螺纹槽泵部的排气性能且实现小型化的连结型螺纹槽间隔件、及配设有该连结型螺纹槽间隔件的真空泵。即，被记载的连结型螺纹槽间隔件具备使西格巴恩泵部和螺纹槽泵部连结的构造，使作为排气要素部的螺纹槽泵部的构造为在圆筒状螺纹上安装有西格巴恩型的构造的构造，设为在该安装部分各零件连结的结构。即，使西格巴恩部和圆筒状螺纹(螺纹槽泵部)的流路的交界呈从真空泵的轴线方向观察以大致直角的方式相连，将西格巴恩部和螺纹槽泵部的流路相连。借助该结构，使螺纹槽泵部的压缩流路长度由于被连结的西格巴恩部而沿径向延伸。
[0011]然而，上述专利文献1中，关于将连结型螺纹槽间隔件例如如何固定于基部未有记载。即，关于连结型螺纹槽间隔件的紧固连结方法不明确。
[0012]但是，装配真空泵时，从下侧(排气口侧)逐渐堆积来装配的话装配作业容易。即，将连结型螺纹槽间隔件例如紧固连结于基部时，若能够在连结型螺纹槽间隔件的排气流路部借助固定螺栓紧固连结，则能够从真空泵的上侧进行作业，所以作业中无需使真空泵反转，作业效率提高。
[0013]另一方面，若在连结型螺纹槽间隔件的排气流路部设置固定螺栓，则该固定螺栓的头部成为相对于排出气体的阻力，有对真空泵的性能造成影响的可能。

技术实现思路

[0014]因此，本专利技术的目的在于提供通过在连结型螺纹槽间隔件的排气流路部设置沉孔来借助固定螺栓紧固连结从而不使排气性能下降的真空泵及该连结型螺纹槽间隔件。
[0015]技术方案1记载的本专利技术提供一种真空泵，具有外装体、固定零件、西格巴恩泵部、螺纹槽泵部，前述外装体形成有吸气口或排气口，前述固定零件内置于前述外装体，前述真空泵的特征在于，具备连结型螺纹槽间隔件，前述连结型螺纹槽间隔件具有使前述西格巴恩泵部和前述螺纹槽泵部连结的构造，在前述连结型螺纹槽间隔件的排气流路面设置沉孔，借助配置于该沉孔的固定螺栓，将前述连结型螺纹槽间隔件和前述外装体或前述固定零件紧固连结。
[0016]技术方案2记载的本专利技术提供技术方案1记载的真空泵，其特征在于，在前述外装体或前述固定零件设置将前述螺纹槽泵部加热的加热机构，前述固定螺栓被配置成与被前述加热机构加热的前述外装体或前述固定零件的高温部分接触。
[0017]技术方案3记载的本专利技术提供技术方案2记载的真空泵，其特征在于，前述固定螺栓为与铁系的螺栓相比热传导性优异的材质。
[0018]技术方案4记载的本专利技术提供一种连结型螺纹槽间隔件，被用于具有外装体、固定零件、西格巴恩泵部、螺纹槽泵部的真空泵，前述外装体形成有吸气口或排气口，前述固定零件内置于前述外装体，前述连结型螺纹槽间隔件的特征在于，前述连结型螺纹槽间隔件具有使前述西格巴恩泵部和前述螺纹槽泵部连结的构造，在前述连结型螺纹槽间隔件处，在排气流路面设置有用于固定螺栓的沉孔，借助前述固定螺栓，与前述外装体或前述固定零件紧固连结。
[0019]专利技术效果根据本专利技术，即使借助固定螺栓将连结型螺纹槽间隔件紧固连结也能够防止真空泵的排气性能下降。
附图说明
[0020]图1是表示本专利技术的实施方式的真空泵的概略结构例的图。
[0021]图2是用于说明本专利技术的实施方式的连结型螺纹槽间隔件的图。
[0022]图3是用于说明本专利技术的实施方式的连结型螺纹槽间隔件的图。
[0023]图4是表示将本实施方式的固定螺栓配置于连结型螺纹槽间隔件的排气流路部的部位的图。
[0024]图5是表示将本实施方式的固定螺栓配置于连结型螺纹槽间隔件的排气流路部的部位的立体图。
[0025]图6是表示将本专利技术的实施方式的固定螺栓配置于连结型螺纹槽间隔件的排气流路部的部位的图。
[0026]图7是用于说明设置有本专利技术的实施方式的变形例1的帽的连结型螺纹槽间隔件的图。
[0027]图8是用于说明现有技术(单路径螺纹类型)的图。
具体实施方式
[0028](i)实施方式的概要本专利技术的实施方式的连结型螺纹槽间隔件具备使西格巴恩泵部与螺纹槽泵部连结的构造。在该连结型螺纹槽间隔件的排气流路部(排气流路面)预先设置沉孔，借助固定螺栓例如与基部紧固连结，由此，能够抑制固定螺栓的头部突出成为阻力而真空泵的排气性能下降。
[0029]此外，在连结型螺纹槽间隔件的排气流路部设置沉孔，借助固定螺栓进行紧固连结，所以真空泵的装配作业时，能够从真空泵的上方(吸气口侧)逐渐堆积来进行安装作业，所以能够使作业效率提高。
[0030](ii)实施方式的详细情况本专利技术的实施方式的真空泵具有西格巴恩泵部和螺纹槽泵部，前述西格巴恩泵部在被配设的固定圆板或被配设的旋转圆板的至少某一方刻设(配设)具有山部和谷部的螺旋状槽，进而，前述螺纹槽泵部具备螺纹槽间隔件，前述螺纹槽间隔件在与旋转圆筒相向的相向面本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种真空泵，具有外装体、固定零件、西格巴恩泵部、螺纹槽泵部，前述外装体形成有吸气口或排气口，前述固定零件内置于前述外装体，前述真空泵的特征在于，具备连结型螺纹槽间隔件，前述连结型螺纹槽间隔件具有使前述西格巴恩泵部和前述螺纹槽泵部连结的构造，在前述连结型螺纹槽间隔件的排气流路面设置沉孔，借助配置于该沉孔的固定螺栓，将前述连结型螺纹槽间隔件和前述外装体或前述固定零件紧固连结。2.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，在前述外装体或前述固定零件设置将前述螺纹槽泵部加热的加热机构，前述固定螺栓被配置成与被前述加热机构加热的...

【专利技术属性】
技术研发人员：三枝健吾，吉原菜穗子，大立好伸，
申请(专利权)人：埃地沃兹日本有限公司，
类型：发明
国别省市：