真空泵及用于真空泵的密封部件制造技术

本发明专利技术提供零件个数少而密封性优异的真空泵。前述真空泵具备朝向吸气侧壳（14a）的中心设置的多个定子翼（19）、被内包于吸气侧壳（14a）而被旋转自如地支承的转子轴（21）、放射状地设置于转子轴（21）的周围的多个转子翼（20）、使转子轴（21）旋转的马达（16）、环状的密封部件（41），前述密封部件（41）承受由吸气侧壳（14a）和排气侧壳（14b）沿厚度方向夹紧的力而弹性变形，保持吸气侧壳（14a）和排气侧壳（14b）之间的气密性。密封部件在其截面具有在外周部被凹陷状地形成的变形促进部和将力在接近变形促进部的偏心位置承受的密封部。形促进部的偏心位置承受的密封部。形促进部的偏心位置承受的密封部。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】真空泵及用于真空泵的密封部件


[0001]本专利技术例如涉及涡轮分子泵等真空泵、用于真空泵的密封部件。

技术介绍

[0002]一般地，作为真空泵的一种，已知涡轮分子泵。该涡轮分子泵中，通过向泵主体内的马达的通电使转子翼旋转，通过将吸入泵主体的气体的气体分子弹飞来排出气体。此外，这样的涡轮分子泵采用利用作为弹性体的密封部件(O型圈)的密封构造。并且，在涡轮分子泵中，通过将密封部件夹入零件间以某种程度压溃，保持零件间的气密性。
[0003]如上所述的密封构造中有将密封部件从侧面(外径方向)夹入的类型的构造、从上下表面(轴向)夹入的类型的构造。并且，涡轮分子泵的装配时，密封部件为了不由于扭转而变形(扭转变形)、不由于与接触的零件的卡挂而破损，一般对密封部件进行真空润滑脂的涂覆。
[0004]此外，涡轮分子泵的装配时，多个结构零件的尺寸公差累积，作为公差的合计的累积公差通常并非一样。因此，相邻的零件(相邻零件)将密封部件压溃的量(密封部件的压溃余量)上有针对每个涡轮分子泵发生不均(压溃余量幅度的变动)的情况，密封部件的被压溃的量(应变)不一定恒定。并且，即使使用相同材质、大小的密封部件，由于密封部件的压溃余量的不同，也有密封性能上发生不同的情况。
[0005]进而，也有如下涡轮分子泵：重复使用多个密封部件、间隔件，消除相对于每一个密封部件的累积公差引起的密封部件的压溃余量不均，整体上增加密封部件的能够对应的压溃余量幅度的变动量(专利文献1)。根据这样的涡轮分子泵，能够灵活地对应压溃余量的不同，在密封部件上难以发生扭转变形、卡挂等，所以无需使用真空润滑脂。此外，周边零件的尺寸公差比较大、密封部件的压溃余量的不均较大的情况下，也能够发挥适当的密封性能。
[0006]专利文献1：日本特许第6113071号公报。
[0007]但是，如上所述的各种的真空泵中、对密封部件涂覆真空润滑脂的真空泵中，有真空润滑脂由于蒸发等要因混入真空系统的排气路径而成为真空环境中的污染(真空污染)的原因的情况。此外，专利文献1所公开的类型的真空泵中，由于使用多个密封部件，在密封部件之间配置间隔件等，零件个数变多。因此，专利文献1中所公开的类型的真空泵中，有成本增加或装配性(装配的容易性)恶化的情况。

技术实现思路

[0008]本专利技术的目的在于提供零件个数少而密封性优异的真空泵、及能够以较少的零件个数发挥高密封性的密封部件。
[0009](1)用于实现上述目的的本专利技术是一种真空泵，其特征在于，具备吸气侧零件、排气侧零件、旋转轴、马达、密封部件，前述吸气侧零件具有气体的吸气部，前述排气侧零件被与前述吸气侧零件组合，前述旋转轴被内包于前述吸气侧零件，被旋转自如地支承，前述马
达使前述旋转轴旋转，前述密封部件为环状，承受由前述吸气侧零件和前述排气侧零件沿厚度方向夹紧的力而弹性变形，保持前述吸气侧零件和前述排气侧零件之间的气密性，前述密封部件具有变形促进部和密封部，前述变形促进部在外周部被凹陷状地形成，前述密封部将前述力在接近前述变形促进部的偏心位置承受。
[0010](2)此外，为了实现上述目的，其他本专利技术是上述(1)所述的真空泵，其特征在于，具有装配部，前述装配部在内周部形成为平面状，与前述吸气侧零件及前述排气侧零件的某一方面接触。
[0011](3)此外，为了实现上述目的，其他本专利技术是一种密封部件，前述密封部件为环状，承受由真空泵的吸气侧零件和排气侧零件沿厚度方向夹紧的力而弹性变形，其特征在于，具有变形促进部和密封部，前述变形促进部在外周部被凹陷状地形成，前述密封部将前述力在接近前述变形促进部的偏心位置承受。
[0012](4)此外，为了实现上述目的，其他本专利技术是上述(3)所述的密封部件，其特征在于，在内周部形成为平面状，与前述吸气侧零件及前述排气侧零件的某一方面接触。
[0013]专利技术效果根据上述专利技术，能够提供零件个数少而密封性优异的真空泵。此外，能够提供能够以较少的零件个数发挥较高的密封性的密封部件。
附图说明
[0014]图1是本专利技术的第1实施方式的涡轮分子泵的纵剖视图。
[0015]图2的(a)是将第1实施方式的涡轮分子泵的一部分放大表示的剖视图，(b)是将第1实施方式的密封部件的一部分放大表示的剖视图。
[0016]图3的(a)是表示第1实施方式的涡轮分子泵的密封部件的功能的说明图，(b)是将本专利技术的第2实施方式的涡轮分子泵的密封部件的一部分放大表示的剖视图，(c)是将本专利技术的第3实施方式的涡轮分子泵的密封部件的一部分放大表示剖视图。
[0017]图4的(a)~(c)是表示关于第1实施方式的密封部件使槽深度变化的情况的特性仿真的结果的示意图，(d)是表示关于截面为大致圆形的一般的密封部件的特性仿真的结果的示意图。
[0018]图5的(a)~(c)是表示关于本专利技术的第2实施方式的密封部件使槽深度变化的情况的特性仿真的结果的示意图。
具体实施方式
[0019]以下，基于附图，说明本专利技术的各实施方式的真空泵。这里，首先关于真空泵的基本构成进行说明，之后关于外装体的密封构造进行说明。图1将作为本专利技术的第1实施方式的真空泵的涡轮分子泵10纵剖来概略地表示。该涡轮分子泵10例如与半导体制造装置、电子显微镜、质量分析装置等对象设备的真空腔(图示略)连接。
[0020]涡轮分子泵10一体地具备圆筒状的泵主体11、箱状的电装盒(图示略)。它们中的泵主体11为，图1中的上侧是与对象设备的侧相连的吸气部12，下侧是与辅助泵等相连的排气部13。并且，涡轮分子泵10除了图1中所示那样的铅垂方向的垂直姿势，在倒立姿势、水平姿势、倾斜姿势下也能够使用。
[0021]用于对泵主体11进行电力供给的电源回路部、用于控制泵主体11的控制回路部被容纳于电装盒(图示略)，但这里省略关于它们的详细的说明。
[0022]泵主体11具备大致圆筒状的主体壳14。主体壳14将位于图1中的上部的作为吸气侧零件的吸气侧壳14a、位于图1中的下侧的作为排气侧零件的排气侧壳14b沿轴向串联地相连来构成。这里，例如也能够将吸气侧壳14a称作壳等，例如也能够将排气侧壳14b称作基座等。
[0023]吸气侧壳14a和排气侧壳14b在轴向(图1中的上下方向)上重叠。进而，吸气侧壳14a使形成于轴向一端部(图1中的下端部)的凸缘部29a的内周面与排气侧壳14b的上端部29b的外周面相向。并且，吸气侧壳14a隔着密封部件41借助多个六角带孔螺栓42与排气侧壳14b气密地结合。另外，关于使用密封部件41的密封构造的详细情况在后说明。
[0024]此外，图1中，关于排气侧壳14b的上端部29b的周边部分，将图中左侧的部位用双点划线描绘。这是假想地表示，排气侧壳14b的该部分严格来说在纵剖来表示的位置上不存在，但存在于纵剖位置的后方。
[0025]在主体壳14内设置有排气机构部15和旋转驱动部(以下称作“马达”)16。它们之中，排气机构部15是由涡本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种真空泵，其特征在于，具备吸气侧零件、排气侧零件、旋转轴、马达、密封部件，前述吸气侧零件具有气体的吸气部，前述排气侧零件被与前述吸气侧零件组合，前述旋转轴被内包于前述吸气侧零件，被旋转自如地支承，前述马达使前述旋转轴旋转，前述密封部件为环状，承受由前述吸气侧零件和前述排气侧零件沿厚度方向夹紧的力而弹性变形，保持前述吸气侧零件和前述排气侧零件之间的气密性，前述密封部件具有变形促进部和密封部，前述变形促进部在外周部被凹陷状地形成，前述密封部在接近前述变形促进部的偏心位置承受前述力。2.如权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：高阿田勉，
申请(专利权)人：埃地沃兹日本有限公司，
类型：发明
国别省市：