下载真空泵及用于真空泵的密封部件的技术资料

文档序号:30404669

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本发明提供零件个数少而密封性优异的真空泵。前述真空泵具备朝向吸气侧壳(14a)的中心设置的多个定子翼(19)、被内包于吸气侧壳(14a)而被旋转自如地支承的转子轴(21)、放射状地设置于转子轴(21)的周围的多个转子翼(20)、使转子轴(2...
该专利属于埃地沃兹日本有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过埃地沃兹日本有限公司授权不得商用。

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