真空泵制造技术

能够实现抑制排出气体引起的堆积物的发生的真空泵。该真空泵具备：具备轴部（13）和配置与轴部（13）的外周侧的转子（11）和配置于转子（11）的外周侧的定子（21）的泵部（10b）、从该泵部（10b）到排气口（9）的排出气体的流路、抑制该流路中向轴部（13）的排出气体的接触的遮蔽部（24）。而且，遮蔽部（24）的端部具有与转子（11）相对的面。（11）相对的面。（11）相对的面。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】真空泵


[0001]本专利技术涉及真空泵。

技术介绍

[0002]在某些涡轮分子泵中，在从泵部排出气体的排气管上可更换地设置有保护部件，由此，抑制容易附着堆积物的气体接触面（壁面）上的反应生成物的堆积（例如参照专利文献1）。该保护部件经由隔热件而固定于基座，由于来自转子圆筒部、定子的辐射，与直接固定于基座的情况相比温度更高。
[0003]【专利文献1】日本特开2017－2856号公报。
[0004]上述的涡轮分子泵中的保护部件具有沿着基座壁面形状的形状，其上端从对置的转子分离，所以从保护部件与转子之间的空隙，排出气体进入到转子与轴部定子之间、保护部件与轴部定子之间，排出气体有可能与温度较低的部位（从头部延伸的轴部定子的壁面等）接触，由此原因，有可能排出气体的成分析出而在该部位产生堆积物。

技术实现思路

[0005]本专利技术是鉴于上述问题而提出的，目的在于得到一种抑制排出气体引起的堆积物的发生的真空泵。
[0006]本专利技术所述的真空泵具备：具有轴部和配置在轴部的外周侧的转子和配置在转子的外周侧的定子的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种真空泵，具备：具有轴部、配置在前述轴部的外周侧的转子、配置在前述转子的外周侧的定子的泵部；自前述泵部到排气口的排出气体的流路；在前述流路中抑制前述排出气体向前述轴部的接触的遮蔽部，前述遮蔽部的端部具有与前述转子相对的面。2.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，前述遮蔽部具备沿前述轴部的壁面延伸到前述端部的中间部，前述中间部的壁厚小于前述端部的壁厚。3.根据权利要求1或2所述的真空泵，其特征在于，从前述轴部的壁面到前述遮蔽部的端部的外周...

【专利技术属性】
技术研发人员：三轮田透，高井庆行，
申请(专利权)人：埃地沃兹日本有限公司，
类型：发明
国别省市：