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文档序号:33122110
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能够实现抑制排出气体引起的堆积物的发生的真空泵。该真空泵具备:具备轴部(13)和配置与轴部(13)的外周侧的转子(11)和配置于转子(11)的外周侧的定子(21)的泵部(10b)、从该泵部(10b)到排气口(9)的排出气体的流路、抑制该流路...
该专利属于埃地沃兹日本有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过埃地沃兹日本有限公司授权不得商用。
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