下载真空泵的技术资料

文档序号:33122110

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

能够实现抑制排出气体引起的堆积物的发生的真空泵。该真空泵具备:具备轴部(13)和配置与轴部(13)的外周侧的转子(11)和配置于转子(11)的外周侧的定子(21)的泵部(10b)、从该泵部(10b)到排气口(9)的排出气体的流路、抑制该流路...
该专利属于埃地沃兹日本有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过埃地沃兹日本有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。