真空泵制造技术

提供适合用于准确判断泵维护的必要性的真空泵。通过旋转体（2）的旋转将气体抽吸来排出的真空泵（P1）具备用于旋转体（2）的温度调整的温度调整零件（30）、控制温度调整零件（30）的控制机构（31）、以时间数列取得控制机构（31）的温度调整零件（30）的控制状态的取得机构（32）、通过监视由取得机构（32）取得的控制状态的时间数列的变化来推定泵内产物的堆积量从而判定泵维护时期的判定机构（33）。

Vacuum pump

【技术实现步骤摘要】
真空泵
本专利技术涉及作为半导体制造处理装置、平板显示器制造装置、太阳能面板制造装置的处理腔、其他真空腔的气体排出机构被利用的真空泵，特别适合用于准确判断泵维护的必要性。
技术介绍
以往，作为这种真空泵，例如已知专利文献1所述的真空泵(1)。该真空泵(以下称作“以往的真空泵(1)”)具备泵转子(4a)作为旋转体，呈通过泵转子(4a)的旋转将气体抽吸及排出的构造。若参照专利文献1的第0035段的记载，则在以往的真空泵(1)中，若产物堆积于泵内，气体流路变窄，随之叶轮叶片部的压力上升，用于将转子转数维持成额定转数(额定旋转速度)所必需的马达(10)的电流增加，并且随着气体排出的发热增加，结果，转子温度(Tr)呈上升倾向。这样，在以往的真空泵(1)中，以转子温度(Tr)呈既定温度的方式进行调温，所以基部(3)的加热量减少。即，设想随着泵内的产物的堆积而基部温度(Tb)下降。从以上可知，在以往的真空泵(1)中，为了判断堆积于泵内的产物(以下称作“泵内产物”)的堆积状况，将温度传感器(6)设置于基部(3)，借助该温度传感器(6)监视基部(本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空泵，通过旋转体的旋转将气体抽吸来排出，其特征在于，/n具备温度调整零件、控制机构、取得机构、判定机构，/n前述温度调整零件用于前述旋转体的温度调整，/n前述控制机构控制前述温度调整零件，/n前述取得机构将基于前述控制机构的前述温度调整零件的控制状态按照时间数列取得，/n前述判定机构通过监视由前述取得机构取得的前述控制状态的时间数列的变化，推定泵内产物的堆积量，判定泵维护时期。/n

【技术特征摘要】
20180719 JP 2018-1357131.一种真空泵，通过旋转体的旋转将气体抽吸来排出，其特征在于，
具备温度调整零件、控制机构、取得机构、判定机构，
前述温度调整零件用于前述旋转体的温度调整，
前述控制机构控制前述温度调整零件，
前述取得机构将基于前述控制机构的前述温度调整零件的控制状态按照时间数列取得，
前述判定机构通过监视由前述取得机构取得的前述控制状态的时间数列的变化，推定泵内产物的堆积量，判定泵维护时期。


2.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，
前述温度调整零件是加热机构，
前述控制状态是前述加热机构的开启时间。


3.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，
前述温度调整零件是冷却机构，
前述控制状态是用于在前述冷却机构流动的冷却媒体的流量调节操作的阀的开启时间。


4.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，
前述温度调整零件是加热机构，
前述控制状态是前述加热机构的电压值、电流值、消耗电量的至少某一个。


5.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，
前述温度调整零件是冷却机构，
前述控制状态是在前述冷却机构流动的...

【专利技术属性】
技术研发人员：大立好伸，前岛靖，高阿田勉，
申请(专利权)人：埃地沃兹日本有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP