真空泵及真空泵用风门制造技术

本发明专利技术提供构造简单且能够提高扭转方向的除振性并且能够限制相向的凸缘彼此的偏离来防止O型圈、弹性体的断裂、损伤的真空泵及真空泵用风门。具备被互相相向地配置而呈环状的第1凸缘（13）及第2凸缘（14）、配置于第1凸缘（13）与第2凸缘（14）之间的中间环（15）、分别配置于第1凸缘（13）与中间环（15）之间和中间环（15）与第2凸缘（14）之间的O型圈（16）、在第1凸缘（13）与第2凸缘（14）之间被在中央开口（13a、14a）的周向上散布地配置的多个弹性体（17）、具有将分别设置于第1凸缘（13）、中间环（15）、第2凸缘（14）的定位孔（13e、15e、14e）内按顺序穿过地配置的定位销（41）的气密保持机构（51）。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】真空泵及真空泵用风门
本专利技术涉及真空泵及真空泵用风门，特别地涉及与电子显微镜等设备、容器等连接而将该设备等内的气体抽吸的真空泵及真空泵用风门。
技术介绍
以往，为将电子显微镜等设备、容器等内的气体排出而使用的真空泵在容纳有排气功能部的罩的一端设置有具有吸气口的吸气口部而在另一端侧设置有排气口部，将前述吸气口部与外部设备等经由配管等连接，外部的气体被从吸气口部向罩的内部导入。作为容纳于罩的内部的上述排气功能部，例如列举如下排气功能部：配置转子部及定子部，使转子部与定子部中的一方的外周面与另一方的内周面相向，在转子部与定子部之间形成移送气体的气体移送部。并且，借助马达等驱动机构使转子部旋转，将气体移送部的气体向排气侧移送，由此将外部的气体抽吸。作为真空泵的一种的涡轮分子泵中例如配设有使定子部向转子部伸出的定子翼。另一方面，在转子部配设有向定子翼间伸出的转子翼。并且，通过使转子翼旋转来将敲打气体分子地移送。此外，螺纹槽式泵处，在转子部与定子部的互相相向的周面中的一方形成有螺纹槽，使转子旋转，由此利用气体的粘性将气体移送。此外，也有将它们组合的涡轮分子泵。但是，上述真空泵中，通过将转子部旋转驱动得到气体抽吸力，随着其旋转而产生不少振动。该振动被从罩穿过吸气口部、配管等向外部设备传播。外部设备中，有由于振动而功能、耐久性受到不利影响的情况，例如电子显微镜中即使由于微少的振动显微镜图像也会受到较大的影响。这样的振动为了防止从真空泵向外部设备等传播而寻求各种改善对策，例如已知有专利文献1、专利文献2。<br>专利文献1中已知的技术中，作为排气功能部，将收纳有定子部、定子翼、转子部、转子翼等的罩与设置有从外部吸入气体的吸气口的吸气口部之间连接成，借助由不锈钢(SUS)制波纹管形成的弹性部件固封的状态，并且在罩与吸气口部之间，设置限制由罩与吸气口部的相对移动引起的变化的离开量的移动限制部件。该技术中，弹性部件能够借助移动限制部件保持适当的弹力而总是得到良好的减振性，并且能够防止振动向外部设备等传播而损伤功能、耐久性。此外，防止弹性部件、密封部件的塑性变形、损伤，进而，能够阻止由于意外的事故引起的真空泵不受控制。专利文献2中已知的技术中，在与真空泵连接的第1凸缘、与接收器连接的第2凸缘之间配置O型圈和固定元件，在被抽真空的运转状态下两方的凸缘被机械地及/或电气地互相分离，在未被抽真空的组装状态下，O型圈欲呈真空气密而预先施加预负荷。专利文献1：日本特开2003-3988号公报。专利文献2：日本特许第6133919号公报。然而，专利文献1中已知的技术中，作为得到罩与吸气口部之间的减振性的机构，使用作为不锈钢(SUS)制波纹管的弹性部件。该不锈钢制波纹管有由于扭转方向的刚性高而扭转方向上的除振效果不足的问题。此外，不锈钢(SUS)制波纹管也有制造成本高而价格贵的问题。另一方面，专利文献2中已知的技术中，用O型圈将真空腔抽真空时的来自外部的大气压全部保持，所以有在标准的O型圈过分压溃的情况，有需要高价的特殊的O型圈而制造成本变高的问题。此外，为了限制隔着O型圈相向的凸缘面的偏离，需要将该凸缘之间固定的螺纹件与用于使凸缘间间接接触的分离元件，有构造复杂而制造成本进一步变高的问题。
技术实现思路
因此，本专利技术的目的在于，解决为了提供真空泵及真空泵用风门所产生的需解决的技术问题，前述真空泵及真空泵用风门构造简单且能够提高扭转方向的除振性，并且能够限制相向的凸缘彼此的偏离来防止O型圈、弹性体的断裂、损伤。本专利技术是为了实现上述目的而被提出的，技术方案1所述的专利技术提供一种真空泵，其特征在于，具备第1凸缘及第2凸缘、中间环、O型圈、多个弹性体、气密保持机构，前述第1凸缘及第2凸缘分别具有中央开口的形状，被互相相向地配置，呈环状，前述中间环具有与前述第1凸缘的开口部及前述第2凸缘的开口部对应地中央开口的形状，配置于前述第1凸缘与前述第2凸缘之间，前述O型圈分别配置于前述第1凸缘与前述中间环之间及前述中间环与前述第2凸缘之间，前述多个弹性体分别在周向上散布地配置于前述第1凸缘与前述中间环之间及前述中间环与前述第2凸缘之间，前述气密保持机构具有定位部件，前述定位部件被将分别设置于前述第1凸缘、前述中间环、前述第2凸缘的定位孔内按顺序地穿过地配置。根据该方案，将真空腔内抽真空时，第1凸缘与第2凸缘之间被大气压推压，使O型圈与弹性体压缩而间隔缩小，第2凸缘或第1凸缘与定位部件呈非接触状态，第1凸缘与第2凸缘之间呈仅借助O型圈、弹性体、中间环连接的状态。呈该状态时，与使用波纹管的风门相比，扭转方向的弹簧常数小，所以除振效果变高。此外，第1凸缘与第2凸缘之间呈被电气地/机械地绝缘的状态，在真空泵即使产生不优选的电气的噪音，噪音也不会向经由两凸缘的真空腔侧传递。进而，弹性体在第1凸缘的中央开口的周向与第2凸缘的中央开口的周向被分别散布地配置，所以与使用将各凸缘的中央开口分别绕一周那样的环状的弹性体的情况相比能够使横向的弹簧常数变低，能够提高横向的除振性能。此外，O型圈与多个弹性体至少在第1凸缘与中间环之间配置一级、在第2凸缘与中间环之间配置一级地分别合计两级两级地配置。即，第1凸缘与第2凸缘之间通过设置中间环而借助2级的O型圈和2级的弹性体呈2自由度系，能够大幅改善高频的振动的减衰。另外，若将配置于第1凸缘与第2凸缘之间的中间环的级数增加，并且在各自之间附加O型圈，则能够将高频的振动进一步减衰。技术方案2所述的专利技术提供一种真空泵，在技术方案1所述的结构中，前述弹性体为大致圆柱体或棱柱体。根据该方案，若将设为大致圆柱体或棱柱体的弹性体设成柱状地配置于O型圈的周围，则能够以将真空腔抽真空时向O型圈施加适当的载荷的方式，使载荷的分配容易。此外，扭转方向的除振性能提高。技术方案3所述的专利技术提供一种真空泵，在技术方案1又2所述的结构中，前述O型圈由将由硅橡胶形成的芯材的外周面用氟橡胶覆盖而成的复合件形成。根据该方案，通过使用将除振性能高而由比较廉价的硅橡胶形成的芯材的外周面用真空密封性能高的氟橡胶覆盖的O型圈，得到真空密封性能高且除振性能高的O型圈。技术方案4所述的专利技术提供一种真空泵，在技术方案1、2或3所述的结构中，在分别配置有前述O型圈及前述弹性体的前述第1凸缘及前述第2凸缘的各部位，设置有将对应的前述O型圈及前述弹性体分别定位的凹处。根据该方案，在第1凸缘及第2凸缘的各部位设置有将对应的O型圈及弹性体分别定位的凹处，所以在该对应的凹处分别配置O型圈及弹性体来定位，由此能够防止凸缘彼此在横向上偏离。由此，无需另外设置防止凸缘彼此在横向上偏离的部件，能够抑制制造成本。技术方案5所述的专利技术提供一种真空泵，在技术方案1、2、3或4所述的结构中，将设置于前述第1凸缘与前述中间环之间的前述O型圈定位的定位凹处和将设置于前述第2凸缘与前述中间环之间的前述O型圈定位的定位凹处中的，一方的前述定位凹处将前述O型圈以与径向的弹簧定数相比轴向的弹簧定数变低的方式定位，另一方的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空泵，其特征在于，/n具备第1凸缘及第2凸缘、中间环、O型圈、多个弹性体、气密保持机构，/n前述第1凸缘及第2凸缘分别具有中央开口的形状，被互相相向地配置，呈环状，/n前述中间环与前述第1凸缘的开口部及前述第2凸缘的开口部对应地具有中央开口的形状，配置于前述第1凸缘与前述第2凸缘之间，/n前述O型圈分别配置于前述第1凸缘与前述中间环之间及前述中间环与前述第2凸缘之间，/n前述多个弹性体分别在周向上散布地配置于前述第1凸缘与前述中间环之间及前述中间环与前述第2凸缘之间，/n前述气密保持机构具有定位部件，前述定位部件被将分别设置于前述第1凸缘、前述中间环、前述第2凸缘的定位孔内按顺序地穿过地配置。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180320 JP 2018-0532691.一种真空泵，其特征在于，
具备第1凸缘及第2凸缘、中间环、O型圈、多个弹性体、气密保持机构，
前述第1凸缘及第2凸缘分别具有中央开口的形状，被互相相向地配置，呈环状，
前述中间环与前述第1凸缘的开口部及前述第2凸缘的开口部对应地具有中央开口的形状，配置于前述第1凸缘与前述第2凸缘之间，
前述O型圈分别配置于前述第1凸缘与前述中间环之间及前述中间环与前述第2凸缘之间，
前述多个弹性体分别在周向上散布地配置于前述第1凸缘与前述中间环之间及前述中间环与前述第2凸缘之间，
前述气密保持机构具有定位部件，前述定位部件被将分别设置于前述第1凸缘、前述中间环、前述第2凸缘的定位孔内按顺序地穿过地配置。


2.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，
前述弹性体为大致圆柱体或棱柱体。


3.如权利要求1或2所述的真空泵，其特征在于，
前述O型圈由将由硅橡胶形成的芯材的外周面用氟橡胶覆盖而成的复合件形成。


4.如权利要求1至3中任一项所述的真空泵，其特征在于，
在分别配置有前述O型圈及前述弹性体的前述第1凸缘及前述第2凸缘的各部位，设置有将对应的前述O型圈及前述弹性体分别定位的凹处。


5.如权利要求1至4中任一项所述的真空泵，其特征在于，
将设置于前述第1凸缘与前述中间环之间的前述O型圈定位的定位凹处和将设置于前述第2凸缘与前述中间环之间的前述O型圈定位的定位凹处中的，一方的前述定位凹处将前述O型圈以与径向的弹簧常数相比轴向的弹簧常数变低的方式定位，另一方的前述定位凹处将前述O型圈以与前述轴向的弹簧常数相比前述径向的弹簧常数变低的方式定位。


6.如权利要求1至5中任一项所述的真空泵，其特征在于，
前述第1凸缘或前述第2凸缘具有装配固定于真空腔的固定用螺纹件的安装孔，
与前述安装孔相向的前述中间环在与前述安装孔对应的部位具有在前述固定用螺纹件的安装时放出前述固定用螺纹件的头部的切口部。


7.如权利要求1至6中任一项所述的真空泵，其特征在于，
...

【专利技术属性】
技术研发人员：川岛敏明，
申请(专利权)人：埃地沃兹日本有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP