【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】磁性轴承控制装置和真空泵
本专利技术涉及磁性轴承控制装置和真空泵，特别地涉及不需要位移传感器且能够实现高精度的控制并且小型且低成本的磁性轴承控制装置和真空泵。
技术介绍
伴随着近年的电子器件的发展，存储器、集成电路这样的半导体的需要急剧地增加。对纯度极高的半导体基板掺杂杂质而赋予电气性质或通过蚀刻在半导体基板上形成微细的电路等来制造这些半导体。然后，为了避免空气中的尘土等所造成的影响，这些作业需要在高真空状态的腔内进行。在该腔的排气中一般使用真空泵，但是，特别地，由于残留气体较少、保养容易等方面，多使用作为真空泵中的一种的涡轮分子泵。此外，在半导体的制造工序中，存在使各种工艺气体作用于半导体的基板的许多工序，涡轮分子泵不仅使腔内变为真空，还用于使这些工艺气体从腔内排气。进而，在电子显微镜等设备中，为了防止由于粉尘等的存在所造成的电子波束的折射等，涡轮分子泵还用于使电子显微镜等的腔内的环境变为高度的真空状态。为了对旋转体进行磁性悬浮控制，该涡轮分子泵具备磁性轴承装置。然后，在该磁性轴承装...
【技术保护点】
1.一种磁性轴承控制装置，其特征在于，具备：/n电磁石，将控制对象物悬浮支承于空中；/n感应性元件，相对于该电磁石的线圈串联连接；/n开关放大器，对所述电磁石供给电流；/n电压提取单元，在规定的定时提取施加到所述感应性元件的电压；/n采样保持单元，生成所述定时并且保持在所述定时提取的电压；/n电流变化率计算单元，基于由该采样保持单元保持的电压来计算与在所述电磁石的所述线圈中流动的电流的时间微分成比例的信号；以及/n位移估计单元，基于由该电流变化率计算单元计算的信号来估计所述控制对象物与所述电磁石之间的位移，/n在所述电磁石中流动的电流基于由所述位移估计单元估计的位移来控制。/n
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171122 JP 2017-2250921.一种磁性轴承控制装置，其特征在于，具备：
电磁石，将控制对象物悬浮支承于空中；
感应性元件，相对于该电磁石的线圈串联连接；
开关放大器，对所述电磁石供给电流；
电压提取单元，在规定的定时提取施加到所述感应性元件的电压；
采样保持单元，生成所述定时并且保持在所述定时提取的电压；
电流变化率计算单元，基于由该采样保持单元保持的电压来计算与在所述电磁石的所述线圈中流动的电流的时间微分成比例的信号；以及
位移估计单元，基于由该电流变化率计算单元计算的信号来估计所述控制对象物与所述电磁石之间的位移，
在所述电磁石中流动的电流基于由所述位移估计单元估计的位移来控制。
2.根据权利要求1所述的磁性轴承控制装置，其特征在于，在所述感应性元件中应用电感器，通过所述电压提取单元提取在所述电感器中产生的电压。
3.根据权利要求1所述的磁性轴承控制装置，其特征在于，在所述感应性元件中应用变压器，通过所述电压提取单元提取所述变压器的二次侧的电压。
4.根据权利要求1所述的磁性轴承控制装置，其特征在于，
所述电磁石被构成为夹持所述控制对象物而相向，
在所述感应性元件中应用具备与每一个电磁石串联连接的一次绕组、和具有与该一次绕组相同的铁心的二次绕组的变压器，
每一个所述一次绕组以使得在每一个所述一次绕组中产生的磁束为相抵的方向的方式卷绕，
通过所述电压提取单元提取在所述变压器的所述二次绕组中产生的电压。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的磁性轴承控制装置，其特征在于，
在所述开关放大器的控制循环中设定用于提取施加到所述感应性元件的电压的位移检测期间，
通过所述电压提取单元在所述位移检测期间内在规定的定时提取施加到所述感应性元件的电压至少一次。
6.根据权利要求5所述的磁性轴承控制装置，其特征在于，在所述位移检测期间中形成电流增加的电流增加期间和电流减少的电流减少期间。
7.根据权利要求6所述的磁性轴承控制装置，其特征在于，
通过所述电压提取单元在所述电流增加期间和所述电流减少期间内分别在规定的定时提取施加到所述感应性...
【专利技术属性】
技术研发人员：山本雅之，
申请(专利权)人：埃地沃兹日本有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。