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提供了不需要位移传感器且能够实现高精度的控制并且小型且低成本的磁性轴承控制装置和真空泵。在电磁石5中流动的电流值I...
该专利属于埃地沃兹日本有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过埃地沃兹日本有限公司授权不得商用。

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