真空泵制造技术

提供能够使泵正常运转的同时抑制气体的固化的真空泵。在具有从外部吸入气体的吸气口（11b）和将被吸入的气体向外部排出的排气口（11a）的壳（11）内，设置有涡轮分子泵机构（PA）、螺纹槽泵机构（PB）、第1温度调整机构（39）、第2温度调整机构（40），前述涡轮分子泵机构（PA）具有被沿轴向交替地多级排列的旋转翼（23）及固定翼（31），前述螺纹槽泵机构（PB）被与涡轮分子泵机构（PA）的排气口（18a）侧连续设置，前述第1温度调整机构（39）将涡轮分子泵机构（PA）的温度冷却调整，前述第2温度调整机构（40）将涡轮分子泵机构（PA）加热调整。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】真空泵
本专利技术涉及真空泵，特别地，涉及用于半导体制造装置、分析装置等的真空泵。
技术介绍
制造存储器、集成电路等半导体装置时的绝缘膜、金属膜及半导体膜等的进行成膜的处理、进行蚀刻的处理为了避免由于空气中的灰尘等的影响，在高真空状态的处理腔内进行。此外，处理中为了将被向处理腔内导入的气体(gas)排出而使处理腔内呈既定的高真空度，例如使用将涡轮分子泵与螺纹槽泵组合的复合泵等真空泵。将涡轮分子泵与螺纹槽泵组合的真空泵在具有将处理腔内产生的反应产物(气体)吸入的吸气口、将被吸入的反应产物向外部排出的排气口的壳内，具备具有被沿轴向交替地多级排列的旋转翼及固定翼的排气功能部、与前述排气功能部的排气侧连续设置的螺纹槽机构、将前述固定翼彼此的位置间隔固定的间隔件。容纳于壳的内部的排气功能部列举如下排气功能部：将固定翼安装于定子，且使各级的旋转翼在固定翼间分别与旋转翼面对地安装于转子，使转子与旋转翼一同旋转，由此在旋转翼与固定翼之间形成气体被移送的气体移送部。并且，借助电动马达等驱动机构使转子定速旋转，将气体移送部内的反应产物向排气侧移送，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空泵，前述真空泵在具有从外部吸入气体的吸气口和将被吸入的前述气体向外部排出排气口的壳内具备涡轮分子泵机构、螺纹槽泵机构、轴承及马达部，前述涡轮分子泵机构具有被沿轴向交替地多级排列的旋转翼及固定翼，前述螺纹槽泵机构被与前述涡轮分子泵机构的排气侧连续设置，前述轴承将前述涡轮分子泵机构的旋转部及前述螺纹槽泵机构的旋转部能够旋转地保持，前述马达部使它们旋转驱动，其特征在于，/n具备第1温度调整机构和第2温度调整机构，/n前述第1温度调整机构将前述涡轮分子泵机构冷却调整，/n前述第2温度调整机构将前述螺纹槽泵机构加热调整。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180330 JP 2018-0693531.一种真空泵，前述真空泵在具有从外部吸入气体的吸气口和将被吸入的前述气体向外部排出排气口的壳内具备涡轮分子泵机构、螺纹槽泵机构、轴承及马达部，前述涡轮分子泵机构具有被沿轴向交替地多级排列的旋转翼及固定翼，前述螺纹槽泵机构被与前述涡轮分子泵机构的排气侧连续设置，前述轴承将前述涡轮分子泵机构的旋转部及前述螺纹槽泵机构的旋转部能够旋转地保持，前述马达部使它们旋转驱动，其特征在于，
具备第1温度调整机构和第2温度调整机构，
前述第1温度调整机构将前述涡轮分子泵机构冷却调整，
前述第2温度调整机构将前述螺纹槽泵机构加热调整。


2.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，
在前述涡轮分子泵机构的定子与前述螺纹槽泵机构的定子之间、前述螺纹槽泵机构的定子与前述马达部的定子之间设置有隔热机构。


3.如权利要求1或2所述的真空泵，其特征在于，
前述轴承及马达部的定子始终被冷却。


4.如权利要求1至3中任一项所述的真空泵，其特征在于，
前述涡轮分子泵机构的定子具备温度传感器与冷却构造，并且前述螺纹槽泵机构的定子具备温度传感器与加热构造，前述第1温度调整机构基于由前述涡轮分子泵机构的前述温度传感器感测的温度进行前述涡轮分子泵机构的前述冷却构造的温度调整，第2温度调整机构基于由前述螺纹槽泵机构的前述温度传感器感测的温度进行前述螺纹槽泵机构的前述加热构造的温度调整。


5.如权利要求1至4中任一项所述的真空泵，其特征在于，
前述涡轮分子泵机被分为上级组气体移送部和下级组气体移送部，

【专利技术属性】
技术研发人员：三轮田透，高井庆行，坂口祐幸，
申请(专利权)人：埃地沃兹日本有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP