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文档序号:26074643
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提供能够使泵正常运转的同时抑制气体的固化的真空泵。在具有从外部吸入气体的吸气口(11b)和将被吸入的气体向外部排出的排气口(11a)的壳(11)内,设置有涡轮分子泵机构(PA)、螺纹槽泵机构(PB)、第1温度调整机构(39)、第2温度调整机...
该专利属于埃地沃兹日本有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过埃地沃兹日本有限公司授权不得商用。
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