分子泵防护罩制造技术

本实用新型专利技术涉及抽真空技术领域，提供了一种分子泵防护罩。包括布置于真空室内的防护罩本体，所述真空室开设有与抽气管配合连接的管口，所述防护罩本体与所述管口间隔布置，所述防护罩本体在所述管口所在平面的投影覆盖住所述管口，所述防护罩本体的外周至所述管口的外周构成的环形面的面积大于或等于所述抽气管的最大横截面面积。与现有技术相比，本申请在不改变抽气管抽速的情况下，不影响分子泵的正常运转，通过布置防护罩本体最大程度的避免杂质进入分子泵，避免分子泵叶片被破坏。

【技术实现步骤摘要】
分子泵防护罩
本技术属于抽真空
，特别涉及一种分子泵防护罩。
技术介绍
分子泵是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子，使得气体产生定向流动而抽气的真空泵。分子泵是获得高真空的一个重要设备，被广泛应用于高真空场合。它主要由泵体、定子、转子、保护网、驱动系统等组成。虽然分子泵自身具有保护网，但保护网孔径为5mm左右，而定子和转子保持的间距为1mm。分子泵在使用过程中转速会很高，一般在10000～60000转/分，一旦有大于1mm的有颗粒进入分子泵，叶片就有可能会被打碎。但是又不能将分子泵自身保护网的孔径设置太小，否则会严重影响分子泵的抽速，降低真空室真空处理效率。所以在实际工作时，多台分子泵通过真空主抽气管道接入真空室中，真空室内部的杂质，尤其是较小的杂质颗粒还是会通过真空抽气管道进入分子泵中，对高速旋转的分子泵叶片造成破坏。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种分子泵防护罩，避免真空室内的杂质颗粒进入分子泵，防止分子泵叶片被破坏。为了实现上述目的，本技术采取以下技术方案：一种分子泵防护罩，包括布置于真空室本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种分子泵防护罩，其特征在于：包括布置于真空室(1)内的防护罩本体(3)，所述真空室(1)开设有与抽气管(2)配合连接的管口(11)，所述防护罩本体(3)与所述管口(11)间隔布置，所述防护罩本体(3)在所述管口(11)所在平面的投影覆盖住所述管口(11)，所述防护罩本体(3)的外周至所述管口(11)的外周构成的环形面的面积大于或等于所述抽气管(2)的最大横截面面积。/n

【技术特征摘要】
1.一种分子泵防护罩，其特征在于：包括布置于真空室(1)内的防护罩本体(3)，所述真空室(1)开设有与抽气管(2)配合连接的管口(11)，所述防护罩本体(3)与所述管口(11)间隔布置，所述防护罩本体(3)在所述管口(11)所在平面的投影覆盖住所述管口(11)，所述防护罩本体(3)的外周至所述管口(11)的外周构成的环形面的面积大于或等于所述抽气管(2)的最大横截面面积。


2.根据权利要求1所述的分子泵防护罩，其特征在于：所述防护罩本体(3)为封闭板或网孔直径小于1mm的网孔板。


3.根据权利要求1所述的分子泵防护罩，其特征在于：所述防护罩本体(3)与所述管口(11)平行对应布置。


4.根据权利要求3所述的分子泵防护罩，其特征在于：所述防护罩本体(3)的外周向远离所述管口(11)的方向延伸有侧围板(31)。


5.根据权利要求1所述的分子泵防护...

【专利技术属性】
技术研发人员：王汉清，马放，
申请(专利权)人：新奥科技发展有限公司，
类型：新型
国别省市：河北;13