真空泵制造技术

本发明专利技术提供一种可抑制泵消耗电力在泵使用过程中暂时变得过大的真空泵。涡轮分子泵包括：泵本体(1)，利用马达(M)对泵转子(10)进行旋转驱动来进行真空排气；加热器(5)，对泵本体(1)进行加热；以及控制装置(2)，对泵本体(1)及加热器(5)进行控制；且控制装置(2)在马达电流为规定电流值以上的情况下，限制加热器(5)的电力。

【技术实现步骤摘要】
真空泵
本专利技术涉及一种真空泵。
技术介绍
在用于进行化学气相沉积(ChemicalVaporDeposition，CVD)成膜或蚀刻的装置的真空排气的涡轮分子泵中，为了抑制反应产物堆积在泵本体内而利用加热器使泵本体升温者已为人所知(例如，参照专利文献1)。在涡轮分子泵中，在泵启动后的加速时大的马达电流流动，当变成额定旋转状态时，马达电流下降来维持额定旋转状态。另外，与从泵启动至变成额定旋转状态为止的加速时间相比，至使泵本体的温度上升至所期望的温度为止所需要的加热器加热时间非常长。因此，通常在接通泵电源的同时将加热器电源开启。[现有技术文献][专利文献][专利文献1]日本专利特开2013-79602号公报
技术实现思路
[专利技术所要解决的问题]但是，当一边使加热器变成开启状态来对泵本体进行加热，一边使涡轮分子泵启动时，除马达加速时的大的马达电流以外，加热器电流流动，而暂时要求过大的电力。尤其，当在装置安装多台涡轮分子泵时，马达加速时的电力增大变得显著。[解决问题的技术手段]本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空泵，其中，包括：/n泵本体，利用马达对转子进行旋转驱动来进行真空排气；/n加热器，对所述泵本体进行加热；以及/n控制装置，对所述泵本体及所述加热器进行控制；且/n所述控制装置判断马达电流是否为规定电流值以上，在判断马达电流为规定电流值以上的情况下，限制所述加热器的电力。/n

【技术特征摘要】
20190116 JP 2019-0052611.一种真空泵，其中，包括：
泵本体，利用马达对转子进行旋转驱动来进行真空排气；
加热器，对所述泵本体进行加热；以及
控制装置，对所述泵本体及所述加热器进行控制；且
所述控制装置判断马达电流是否为规定电流值以上，在判断马达电流为规定电流值以上的情况下，限制所述加热器的电力。


2.根据权利要求1所述的真空泵，其中，
当限制所述加热器的电力时，在判断马达电流未满规定电流值的情况下，所述控制装置停止所述加热器的电力限制。


3.根据权利要求1所述的真空泵，其中，
所述控制装置在所述马达的旋转驱动开始时，开始所述加热器的电力限制，在所述马达变成额定旋转状态且判断所述马达电流未满所述规定电流值的情况下，停止所述加热器的电力限制。


4.根据权利要求1所述的真空泵，其中，包括对从马达旋转开始至到达稳定旋转状态为止的加速时间进行计时的计时器，且
所述控制装置在所述马达的旋转驱动开始时，开始所述加热器的电...

【专利技术属性】
技术研发人员：酒井春彦，
申请(专利权)人：株式会社岛津制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP