真空泵制造技术

本发明专利技术提供一种可抑制泵消耗电力在泵使用过程中暂时变得过大的真空泵。涡轮分子泵包括：泵本体(1)，利用马达(M)对泵转子(10)进行旋转驱动来进行真空排气；加热器(5)，对泵本体(1)进行加热；以及控制装置(2)，对泵本体(1)及加热器(5)进行控制；且控制装置(2)在马达电流为规定电流值以上的情况下，限制加热器(5)的电力。

【技术实现步骤摘要】
真空泵
本专利技术涉及一种真空泵。
技术介绍
在用于进行化学气相沉积(ChemicalVaporDeposition，CVD)成膜或蚀刻的装置的真空排气的涡轮分子泵中，为了抑制反应产物堆积在泵本体内而利用加热器使泵本体升温者已为人所知(例如，参照专利文献1)。在涡轮分子泵中，在泵启动后的加速时大的马达电流流动，当变成额定旋转状态时，马达电流下降来维持额定旋转状态。另外，与从泵启动至变成额定旋转状态为止的加速时间相比，至使泵本体的温度上升至所期望的温度为止所需要的加热器加热时间非常长。因此，通常在接通泵电源的同时将加热器电源开启。[现有技术文献][专利文献][专利文献1]日本专利特开2013-79602号公报
技术实现思路
[专利技术所要解决的问题]但是，当一边使加热器变成开启状态来对泵本体进行加热，一边使涡轮分子泵启动时，除马达加速时的大的马达电流以外，加热器电流流动，而暂时要求过大的电力。尤其，当在装置安装多台涡轮分子泵时，马达加速时的电力增大变得显著。[解决问题的技术手段]根据本专利技术优选的形态的真空泵包括：泵本体，利用马达对转子进行旋转驱动来进行真空排气；加热器，对所述泵本体进行加热；以及控制装置，对所述泵本体及所述加热器进行控制；且所述控制装置判断马达电流是否为规定电流值以上，在判断马达电流为规定电流值以上的情况下，限制所述加热器的电力。在更优选的形态中，当限制所述加热器的电力时，在判断马达电流未满规定电流值的情况下，所述控制装置停止所述加热器的电力限制。在更优选的形态中，所述控制装置在所述马达的旋转驱动开始时，开始所述加热器的电力限制，在所述马达变成额定旋转状态且判断所述马达电流未满所述规定电流值的情况下，停止所述加热器的电力限制。在更优选的形态中，包括对从马达旋转开始至到达稳定旋转状态为止的加速时间进行计时的计时器，且所述控制装置在所述马达的旋转驱动开始时，开始所述加热器的电力限制，并且使由所述计时器所进行的计数开始，在所述计时器的计数完毕时，停止所述加热器的电力限制。在更优选的形态中，包括多个对所述泵本体进行加热的加热器，且所述控制装置在所述马达电流为所述规定电流值以上的情况下，停止多个所述加热器中的至少一个的通电。根据本专利技术优选的形态的真空泵包括：泵本体，利用马达对转子进行旋转驱动来进行真空排气；加热器，对所述泵本体进行加热；以及控制装置，对所述泵本体及所述加热器进行控制；且所述控制装置在所述马达的旋转驱动开始时，开始所述加热器的电力限制，并判断马达是否为额定旋转状态，在判断马达为额定旋转状态的情况下，停止所述加热器的电力限制。根据本专利技术优选的形态的真空泵包括：泵本体，利用马达对转子进行旋转驱动来进行真空排气；加热器，对所述泵本体进行加热；以及控制装置，对所述泵本体及所述加热器进行控制；且所述控制装置判断马达转速的下降量是否为阈值以上，在判断马达转速的下降量为阈值以上的情况下，限制所述加热器的电力。[专利技术的效果]根据本专利技术，可抑制包含马达消耗电力与加热器消耗电力的泵消耗电力在泵使用过程中暂时变得过大。附图说明图1是表示涡轮分子泵的概略构成的图。图2是表示泵本体的概略构成的剖面图。图3是表示控制装置2的概略构成的框图。图4是表示现有的加热器电流及马达电流的变化的图。图5是表示电源开启后的加速区间及额定旋转区间的加热器控制的一例的流程图。图6是表示第一实施方式的加热器电流限制控制的一例的图。图7是表示额定旋转区间的加热器电流限制控制的一例的图。图8是表示变形例1的加热器电流限制控制的一例的流程图。图9是表示变形例2的加热器电流限制控制的一例的流程图。图10是表示第二实施方式的加热器构成的图。图11是表示第二实施方式的加热器电流限制控制的一例的图。图12是表示第三实施方式的真空泵系统的构成的图。[符号的说明]1：泵本体2：控制装置5、5A～5C：加热器7、22：加热器控制器10：泵转子14：转速传感器21：泵控制器21a：马达控制部21b：MB控制部21c：转速算出部21d：电流判定部21e：计时器L1：加热器电流L2：马达电流M：马达具体实施方式以下，参照图对用于实施本专利技术的形态进行说明。-第一实施方式-图1是表示涡轮分子泵的概略构成的图。涡轮分子泵包括：泵本体1，安装在真空室，进行真空排气；以及控制装置2，对泵本体1进行驱动控制。泵本体1的连接器130与控制装置2的连接器233通过控制电缆4来连接。进而，在图1中所示的涡轮分子泵，设置有对泵本体1进行加热的加热器5。加热器5的连接器51与控制装置2的连接器234通过加热器电缆3来连接，从控制装置2朝加热器5供给电力。当对控制装置2的电源开关231进行开启操作时，控制装置2启动，开始朝加热器5的电力供给，当对泵启动开关232进行开启操作时，泵本体1的转子旋转开始。另外，控制装置2也可以通过来自上位控制器100的指令而进行电源开启动作、泵启动动作。图2是表示泵本体1的概略构成的剖面图。如图2所示，在本实施方式中，以磁轴承式的涡轮分子泵为例进行说明，但本专利技术也可以应用于并非磁轴承式的例如机械轴承式的涡轮分子泵，进而，也可以应用于如使螺纹槽转子高速旋转来进行真空排气的分子泵那样的真空泵。紧固有泵转子10的轴11由设置在底座12的磁轴承124、磁轴承125、磁轴承126进行磁悬浮支撑。另外，在磁轴承124～磁轴承126不动作的情况下，轴11由紧急用的机械轴承127、机械轴承128来支撑。轴11由马达M进行旋转驱动。轴11的转速由转速传感器14来检测。在泵转子10，在排气上游侧形成有多段旋转叶片101，在排气下游侧形成有构成螺纹槽泵的圆筒部102。对应于旋转叶片101与圆筒部102，在固定侧设置有多段固定叶片121、及圆筒状的定子122。在图2中所示的例子中，在定子122形成有螺纹槽，但也可以在旋转的圆筒部102形成螺纹槽。各固定叶片121经由间隔圈(spacerring)123而载置在底座12上。多段固定叶片121被收纳在已被固定在底座12的泵壳13内。在泵壳13形成有吸气口129。在底座12设置有排气孔120，所述排气孔120与前级泵(backpump)(未图示)连接。当泵转子10进行高速旋转时，吸气口129侧的气体分子被朝排气孔120侧排气。加热器5以卷绕在底座12的外周面的方式安装。在定子122设置有检测定子122的温度的温度传感器52。图3是表示控制装置2的概略构成的框图。控制装置2包括：泵控制器21、加热器控制器22、以及输入部23。泵控制器21是对应于泵本体1来设置者，包括：马达控制部21a、磁轴承(MagneticBearing，MB)控制部21b、转速算本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空泵，其中，包括：/n泵本体，利用马达对转子进行旋转驱动来进行真空排气；/n加热器，对所述泵本体进行加热；以及/n控制装置，对所述泵本体及所述加热器进行控制；且/n所述控制装置判断马达电流是否为规定电流值以上，在判断马达电流为规定电流值以上的情况下，限制所述加热器的电力。/n

【技术特征摘要】
20190116 JP 2019-0052611.一种真空泵，其中，包括：
泵本体，利用马达对转子进行旋转驱动来进行真空排气；
加热器，对所述泵本体进行加热；以及
控制装置，对所述泵本体及所述加热器进行控制；且
所述控制装置判断马达电流是否为规定电流值以上，在判断马达电流为规定电流值以上的情况下，限制所述加热器的电力。


2.根据权利要求1所述的真空泵，其中，
当限制所述加热器的电力时，在判断马达电流未满规定电流值的情况下，所述控制装置停止所述加热器的电力限制。


3.根据权利要求1所述的真空泵，其中，
所述控制装置在所述马达的旋转驱动开始时，开始所述加热器的电力限制，在所述马达变成额定旋转状态且判断所述马达电流未满所述规定电流值的情况下，停止所述加热器的电力限制。


4.根据权利要求1所述的真空泵，其中，包括对从马达旋转开始至到达稳定旋转状态为止的加速时间进行计时的计时器，且
所述控制装置在所述马达的旋转驱动开始时，开始所述加热器的电...

【专利技术属性】
技术研发人员：酒井春彦，
申请(专利权)人：株式会社岛津制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP