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本发明提供一种可抑制泵消耗电力在泵使用过程中暂时变得过大的真空泵。涡轮分子泵包括：泵本体(1)，利用马达(M)对泵转子(10)进行旋转驱动来进行真空排气；加热器(5)，对泵本体(1)进行加热；以及控制装置(2)，对泵本体(1)及加热器(5)...
该专利属于株式会社岛津制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社岛津制作所授权不得商用。

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