【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】拖曳泵和包括拖曳泵的真空泵组
本专利技术涉及拖曳泵领域，尤其涉及用于降低涡轮分子泵的排放口处的压力的拖曳泵的说明性示例。本专利技术还涉及用于在半导体处理腔室中提供真空的真空泵组的领域。
技术介绍
涡轮分子泵用于提供半导体制造所需的高真空。半导体工艺越来越需要泵和泵送线路保持在高温以防止工艺副产物冷凝。冷凝物形成的风险随着气体流过泵送系统以及压力的增加而增加。涡轮分子泵是昂贵的泵，其设计成用于洁净室以及用于在高尖端速度下操作。它们的转子可旋转地安装在磁轴承上，以避免需要润滑并减少振动，这使得它们适合于洁净室操作。然而，涡轮分子泵在较高压力下不能很好地操作，因此通常这些泵包括一些形式的辅助泵（backingpump）级以降低涡轮级的排放口处的压力。这些辅助级通常包括拖曳级，该拖曳级位于涡轮分子级的下游并集成在泵内且安装在同一轴上。泵也可以具有远离洁净室的另外的（一个或多个）辅助泵。在涡轮分子泵具有拖曳泵辅助级的情况下，该级的转子由铝形成，作为与涡轮分子转子成一体的转子，转子被机械加工成单件。选择铝是因为其具有高的...
【技术保护点】
1.一种用于泵送气体的拖曳泵，所述拖曳泵包括：/n转子，所述转子构造成在定子部件内旋转并且将待泵送气体从气体入口驱动至气体出口；/n磁轴承，所述磁轴承用于利用磁悬浮将所述转子可旋转地安装在所述泵内；/n其中，至少所述转子和定子部件的构造成接触所述待泵送气体的那部分构造成在高于130 ℃的温度下操作，并且所述转子至少部分地由钢制成。/n
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170920 GB 1715151.51.一种用于泵送气体的拖曳泵，所述拖曳泵包括：
转子，所述转子构造成在定子部件内旋转并且将待泵送气体从气体入口驱动至气体出口；
磁轴承，所述磁轴承用于利用磁悬浮将所述转子可旋转地安装在所述泵内；
其中，至少所述转子和定子部件的构造成接触所述待泵送气体的那部分构造成在高于130℃的温度下操作，并且所述转子至少部分地由钢制成。
2.根据权利要求1所述的拖曳泵，其中，所述转子和定子部件的构造成接触所述待泵送气体的所述部分构造成在高于150℃的温度下操作。
3.根据权利要求1或2所述的拖曳泵，其中，所述转子至少部分地由沉淀硬化不锈钢制成。
4.根据任一前述权利要求所述的拖曳泵，其中，所述拖曳泵包括加热器，所述加热器构造成加热所述拖曳泵，使得构造成接触所述待泵送气体的所述转子和定子部件在操作期间被维持在高于130℃的温度。
5.根据任一前述权利要求所述的拖曳泵，所述拖曳泵还包括至少一个热绝缘构件，所述至少一个热绝缘构件构造成将所述转子和定子部件与包括所述拖曳泵的所述马达的区域热隔离。
6.根据权利要求5所述的拖曳泵，其中，所述至少一个热绝缘构件包括在所述定子部件和所述泵的基部之间的热绝缘构件以及在驱动轴和所述转子之间的热绝缘构件，所述转子安装在所述驱动轴上。
7.根据任一前述权利要求所述的拖曳泵，其中，所述拖曳泵包括至少一个拖曳级和至少一个再生级。
8.根据权利要求7所述的拖曳泵，其中，所述再生级的转子至少部分地由钢形成。
9.根据权利要求7或8所述的拖曳泵，其中，所述至少一个拖曳级包括霍尔维克泵级和西格巴恩泵级中的至少一者。
10.根据权利要求7至9中任一项所述的拖曳泵，其中，所述至少一个再生级和所述至少一个拖曳级安装在同一驱动轴上。
11.根据权利要求7至10中任一项所述的拖曳泵，包括串联布置的至少两个拖曳级。
12.根据任一前述权利要求所述的拖曳泵，其中，所述拖曳泵包括并联布置的至少两个拖曳级，每个拖曳级可操作以从相应的气体输入部接收气体。
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