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拖曳泵和包括拖曳泵的真空泵组制造技术
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文档序号:24018810
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公开了一种用于泵送气体的拖曳泵和一种包括该拖曳泵的真空泵组。该拖曳泵包括:转子,所述转子构造成在定子部件内旋转并且将待泵送气体从气体入口驱动至气体出口;磁轴承,所述磁轴承用于将转子可旋转地安装在泵内;其中,转子和定子部件的构造成接触待泵送气...
该专利属于爱德华兹有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过爱德华兹有限公司授权不得商用。
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