真空泵、主传感器及螺纹槽定子制造技术

本发明专利技术提供具备即使在不能确定流路内的析出物的化学组成的情况下也能够检测析出物在流路内堆积至既定的厚度的传感器的真空泵。真空泵（1）具有在其间形成有内部流路的旋转部及固定部、将气体从吸入口穿过内部流路送向排气口的排气机构、用于检测堆积物在内部流路的检测对象位置达到既定的厚度的主传感器（42），主传感器（42）具有以与既定的厚度对应的间隔配置于内部流路的至少一对电极（54、56）、与一对电极（54、56）连接来检测一对电极（54、56）间的静电容量的静电容量检测回路（46），静电容量检测回路（46）基于静电容量的增加率下降判定成内部流路内的堆积物达到既定的厚度。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】真空泵、主传感器及螺纹槽定子
本专利技术涉及用于检测堆积物达到既定的厚度的主传感器、具有该主传感器的真空泵及真空泵的螺纹槽定子。
技术介绍
在半导体制造装置中，在半导体的制造时，借助真空泵从反应装置排出粉状的反应性物质、气体状的反应原料。被从反应装置排出的反应性物质等通过真空泵内的流路，但此时向流路的壁面析出。若这样的析出物大量堆积，则真空泵内的气体的流动变乱，或堆积物与旋转部碰撞而破损。因此，例如，在专利文献1、2中，公开了一种真空泵，前述真空泵为了在对于运转发生妨碍前防范于未然地进行真空泵内的维护，在真空泵的流路设置静电容量型膜厚传感器，能够借助该传感器测定向流路的壁面析出的析出物的膜厚。静电容量型膜厚传感器具有一对或多对电极、检测该电极间的静电容量的检测装置。若析出物堆积于电极表面，则与该析出物的相对介电常数对应地，电极间的静电容量变化。因此，借助检测装置检测成对的电极间的静电容量，基于该静电容量推定析出物的厚度。专利文献1：日本特开平6-101655号公报。专利文献2：日本特开平6-109409号公报。这里，相对介电常数根据化学物质而不同。在上述静电容量型膜厚传感器中，使用析出物的相对介电常数推定析出物的厚度，所以为了准确地推定析出物的厚度，需要确定析出物的化学组成。然而，用于半导体的制造的原料等根据半导体而不同。因此，向泵内的流路析出的析出物的化学组成并非恒定，难以准确地确定析出物的化学组成。因此，在引用文献1、2所记载的静电容量型膜厚传感器中，不能准确地推定析出物的厚度，难以检测出析出物在流路内堆积至既定的厚度。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述问题所作出的，其目的为提供一种真空泵，前述真空泵具备在不能确定流路内的析出物的化学组成的情况下也能够检测出析出物在流路内堆积至既定的厚度。本专利技术的真空泵具有旋转部及固定部、排气机构、主传感器，前述旋转部及固定部在其间形成有内部流路，前述排气机构将气体从吸入口穿过内部流路地送向排气口，前述主传感器用于检测堆积物在内部流路的检测对象位置达到既定的厚度，其特征在于，主传感器具有静电容量检测回路和至少一对电极，前述至少一对电极以与既定的厚度对应的间隔配置于内部流路，前述静电容量检测回路与一对电极连接，检测一对电极间的静电容量，静电容量检测回路基于静电容量的增加率下降，判定成内部流路内的堆积物达到既定的厚度。在堆积于构成主传感器的一对电极的析出物之间存在间隙的情况(即一对电极之间未由于析出物而被掩埋的情况)下，真空泵被驱动，与各电极的堆积物堆积对应地应，静电容量增加。与此相对，构成主传感器的一对电极之间被堆积物掩埋而没有间隙的情况下，即使将真空泵驱动，电极间的静电容量也几乎不增加。因此，根据上述结构的本专利技术，能够通过检测到静电容量的增加率下降，检测到成一对电极之间由于堆积物而被掩埋的状态，由此，能够与堆积物的化学组成无关地检测到内部流路内的堆积物达到既定的厚度。在本专利技术中，优选地，电极的间隔被设定成检测对象位置的旋转部及固定部的间隔的1~2倍。堆积物堆积于各电极的表面，所以在静电容量的增加率下降的时刻，能够推定堆积物在各电极堆积至电极间的距离的一半的厚度。因此，仅简单地检测电极的旋转部及固定部之间是否被闭塞的情况下，考虑电极的间隔被设定成检测对象位置的旋转部及固定部的间隔的2倍。然而，若析出物这样地堆积至旋转部及固定部之间被闭塞的程度，则有由于析出物而旋转部破损的可能。与此相对，根据上述结构的本专利技术，电极的间隔被设定成检测对象位置的旋转部及固定部的间隔的1~2倍，所以能够在旋转部及固定部之间被闭塞前检测出堆积物堆积至既定的厚度。在本专利技术中，优选地，一对电极为平板状，被平行地配置。根据这样的结构的本专利技术，能够判定堆积于平板状的电极之间的堆积物的厚度达到既定的厚度。在本专利技术中，优选地，一对电极为圆筒状，被同心同轴地配置。根据这样的结构的本专利技术，能够判定堆积于圆筒状的电极之间的堆积物的厚度达到既定的厚度。在本专利技术中，优选地，主传感器被配置于将排气机构的出口和真空泵的排气口连结的排气口侧流路内。析出物在排气机构的出口和真空泵的排气口之间堆积最多。因此，根据上述结构的本专利技术，在析出物堆积最多的场所设置主传感器，由此能够切实地防止由于析出物堆积导致的不良情况。在本专利技术中，优选地，主传感器被配置于排气口侧流路的距真空泵的排气口最远的部分。析出物在排气口侧流路中被配置于距真空泵的排气口最远的部分。因此，根据上述结构的本专利技术，通过在析出物堆积最多的场所设置主传感器，能够切实地防止由于析出物堆积而产生的不良情况。在本专利技术中，优选地，一对电极被配置成沿着在内部流路内流动的气体的流动方向延伸。根据上述结构的本专利技术，气体在电极间顺畅地流动，能够抑制由于传感器而妨碍气体的流动。在本专利技术中，优选地，排气机构在最后段包括螺纹槽泵，在螺纹槽泵的出口附近设置有气体排出孔。在螺纹槽泵的出口附近压力变高。这里，析出物容易在压力较高的部位析出，所以若在检测对象位置和设置有主传感器的位置压力差较大，则无法准确地检测析出物的厚度。与此相对，根据上述结构的本专利技术，在螺纹槽泵的出口附近设置有气体排出孔，所以在螺纹槽泵的出口附近和设置有主传感器的位置减少压力差，能够进行更准确的析出物的厚度的检测。在本专利技术中，优选地，还具有配置于内部流路内而包括与静电容量检测回路连接的一对电极副传感器，副传感器的一对电极的间隔被设定成比主传感器的一对电极的间隔短。根据上述结构的本专利技术，基于副传感器之间被析出物掩埋的时刻的静电容量，能够求出析出物的相对介电常数(介电常数)，基于该析出物的相对介电常数、主传感器的电极间的静电容量，能够推定堆积于主传感器的电极的析出物的厚度。在本专利技术中，优选地，构成为，主传感器的一对电极间的施加电压为100V以下。根据帕邢法则，若电极间的施加电压超过100V，则在真空泵的内部流路内的压力下有发生放电的可能。与此相对，根据上述结构的本专利技术，电极间的施加电压为100V以下，所以能够防止在电极间发生放电。在本专利技术中，优选地，在主传感器的一对电极的表面形成有绝缘层。根据上述结构的本专利技术，即使导电性物质堆积于电极表面，也能够防止在电极间发生短路。在本专利技术中，优选地，主传感器的静电容量检测回路和一对电极仅在检测时被通电。粉状的反应性物质、气体状的反应原料有时带电，析出物容易堆积于带相反的电荷的电极。与此相对，根据上述结构的本专利技术，电极仅在检测时带电，所以能够防止颗粒容易堆积于电极。本专利技术的主传感器是用于上述真空泵的主传感器。本专利技术的螺纹槽定子是用于上述真空泵而构成螺纹槽泵的螺纹槽定子。专利技术效果根据本专利技术，提供具备即使在流路内的析出物的化学组成并非一定的情况下也能够检测到析出物向流路内堆积至既定的厚度的传感器。附图说明图1是表示本专利技术的一实施方式的真空泵的铅垂剖视图。图2是表示本实施方式的真空泵的检测系统的结构的框图。图3是表示本实施方式的真空泵的主传感器的结构的铅垂剖视图。图4是将本实施方式的真空泵的螺纹槽定子的螺旋槽的排气口侧的端部展开来表示的图。图5是表示在螺纹槽定子的出口未设置有气体排出孔的情况的螺旋槽内的气体的压力分布的图。图6是表示堆积物堆积于主传感器的一对电极的情况的图。图7是表示经过时间与主传本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空泵，前述真空泵具有旋转部及固定部、排气机构、主传感器，前述旋转部及固定部在其间形成有内部流路，前述排气机构将气体从吸入口穿过前述内部流路地送向排气口，前述主传感器用于检测堆积物在前述内部流路的检测对象位置达到既定的厚度，其特征在于，前述主传感器具有静电容量检测回路和至少一对电极，前述至少一对电极以与前述既定的厚度对应的间隔配置于前述内部流路，前述静电容量检测回路与前述一对电极连接，检测前述一对电极间的静电容量，前述静电容量检测回路基于前述静电容量的增加率下降，判定成前述内部流路内的堆积物达到前述既定的厚度。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2017.03.23 JP 2017-0571921.一种真空泵，前述真空泵具有旋转部及固定部、排气机构、主传感器，前述旋转部及固定部在其间形成有内部流路，前述排气机构将气体从吸入口穿过前述内部流路地送向排气口，前述主传感器用于检测堆积物在前述内部流路的检测对象位置达到既定的厚度，其特征在于，前述主传感器具有静电容量检测回路和至少一对电极，前述至少一对电极以与前述既定的厚度对应的间隔配置于前述内部流路，前述静电容量检测回路与前述一对电极连接，检测前述一对电极间的静电容量，前述静电容量检测回路基于前述静电容量的增加率下降，判定成前述内部流路内的堆积物达到前述既定的厚度。2.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，前述一对电极的间隔被设定为前述检测对象位置的前述旋转部及前述固定部的间隔的1~2倍。3.如权利要求1或2所述的真空泵，其特征在于，前述一对电极是平板状的，被平行地配置。4.如权利要求1或2所述的真空泵，其特征在于，前述一对电极是圆筒状的，被同心同轴地配置。5.如权利要求1至4中任一项所述的真空泵，其特征在于，前述主传感器被配置于将前述排气机构的出口和前述真空泵的排气口连结的排气口侧流路内。6.如权...

【专利技术属性】
技术研发人员：桦泽刚志，
申请(专利权)人：埃地沃兹日本有限公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP