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本发明提供具备即使在不能确定流路内的析出物的化学组成的情况下也能够检测析出物在流路内堆积至既定的厚度的传感器的真空泵。真空泵（1）具有在其间形成有内部流路的旋转部及固定部、将气体从吸入口穿过内部流路送向排气口的排气机构、用于检测堆积物在内部...
该专利属于埃地沃兹日本有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过埃地沃兹日本有限公司授权不得商用。

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