一种显示基板和含有该显示基板的柔性显示装置制造方法及图纸

技术编号:9876957 阅读:89 留言:0更新日期:2014-04-04 14:14
本实用新型专利技术提供一种显示基板、柔性显示装置,属于显示技术领域,其可解决现有技术中显示基板上的易损构件可靠性差的问题。本实用新型专利技术的显示基板,包括:基板和设置在该基板上的易损构件,还包括设于所述的基板和所述的易损构件之间的应力吸收层;所述的易损构件在基板上的投影不超出所述的应力吸收层在基板上的投影区域;所述基板的部分位置没有所述应力吸收层。本实用新型专利技术的显示基板、柔性显示装置具有应力吸收层,在弯曲时产生的应力可通过应力吸收层之间的空隙进行分散,保护易损构件不受损坏,从而提高显示基板和柔性显示装置的可靠性。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术提供一种显示基板、柔性显示装置,属于显示
,其可解决现有技术中显示基板上的易损构件可靠性差的问题。本技术的显示基板,包括:基板和设置在该基板上的易损构件,还包括设于所述的基板和所述的易损构件之间的应力吸收层;所述的易损构件在基板上的投影不超出所述的应力吸收层在基板上的投影区域;所述基板的部分位置没有所述应力吸收层。本技术的显示基板、柔性显示装置具有应力吸收层,在弯曲时产生的应力可通过应力吸收层之间的空隙进行分散,保护易损构件不受损坏,从而提高显示基板和柔性显示装置的可靠性。【专利说明】一种显示基板和含有该显示基板的柔性显示装置
本技术属于显示
,具体涉及一种显示基板,含有该显示基板的柔性显示装置。
技术介绍
柔性显示技术是近几年比较热门的前瞻技术,柔性显示装置具有轻薄、可弯曲甚至卷曲、机械性能好的特点,越来越受到人们的重视。柔性显示装置包括显示基板,显示基板包括基板和位于基板上的结构,基板为柔性基板,如聚酰亚胺(PI)基板,聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)基板,不锈钢基板等,相比于普通玻璃基板,柔性基板具有可弯折的特性,而这就对器件的可靠性,尤其是易损构件提出更高的要求。随着弯折次数的增加,弯折时产生应力的聚集,使柔性显示装置的柔性基板上的各种易损构件容易发生损坏。例如,作为易损构件的薄膜晶体管(TFT)结构由于弯折时应力的聚集,可能导致膜层断裂,势必会对TFT性能产生影响,从而影响柔性显示装置的可靠性。因此,避免易损构件被应力破坏对柔性显示装置的可靠性至关重要。
技术实现思路
本技术的目的是解决现有技术中显示基板上的易损构件可靠性差的问题,提供一种增强易损构件可靠性的显示基板。解决本技术技术问题所采用的技术方案是一种显示基板,包括:基板和设置在该基板上的易损构件,还包括设于所述的基板和所述的易损构件之间的应力吸收层;所述的易损构件在基板上的投影不超出所述的应力吸收层在基板上的投影区域。优选的是,所述的易损构件在基板上的投影与所述的应力吸收层在基板上的投影重合。优选的是,所述的应力吸收层的厚度为200nm-400nm。优选的是,所述的应力吸收层的材料为氮化硅或氧化硅。优选的是,在所述的基板和所述的易损构件之间还设有缓冲层。进一步优选的是,所述的应力吸收层设于所述的缓冲层与基板之间,所述的易损构件设于所述的缓冲层上。优选的是,所述的缓冲层设于所述的应力吸收层与所述的基板之间,所述的易损构件设于所述的应力吸收层上。优选的是,所述的缓冲层的材料为氮化硅或氧化硅。优选的是,所述的易损构件包括薄膜晶体管、栅极线、数据线中的一种或几种。本技术的另一个目的是解决现有技术中柔性显示装置的易损构件可靠性差的问题,提供一种柔性显示装置,所述的柔性显示装置包括上述的显示基板。优选的是,所述柔性显示装置为柔性有机发光二极管显示装置。本技术的显示基板和柔性显示装置由于只在易损构件的下方设有应力吸收层,而在其他位置没有应力吸收层,因此在弯曲时产生的应力可通过应力吸收层之间的空隙进行分散,避免易损构件处(即应力吸收层处)产生应力集中,由此保护易损构件(例如TFT)不受损坏,从而提高显示基板和柔性显示装置的可靠性。【专利附图】【附图说明】图1为本技术实施例1中显示基板制备应力吸收层后的结构示意图。图2为本技术实施例1中显示基板制备缓冲层后的结构示意图。图3为本技术实施例1中显示基板制备TFT后的结构示意图。图4为本技术实施例2中显示基板制备应力吸收层后的结构示意图。图5为本技术实施例2中显示基板制备缓冲层后的结构示意图。图6为本技术实施例2中显示基板制备TFT后的结构示意图。其中:1.基板;2.缓冲层;3.应力吸收层;4.栅极绝缘层;5.刻蚀阻挡层;6.平坦化层;7.氧化钢锡层;8.棚极;9.有源层;10.源漏极。【具体实施方式】为使本领域技术人员更好地理解本技术的技术方案,下面结合附图和【具体实施方式】对本技术作进一步详细描述。本技术提供一种显示基板,包括:基板和设置在该基板上的易损构件,还包括设于所述的基板和所述的易损构件之间的应力吸收层;所述的易损构件在基板上的投影不超出所述的应力吸收层在基板上的投影区域;所述基板的部分位置没有所述应力吸收层。其中,所述的基板可以为聚酰亚胺(PI)基板,聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)基板,不锈钢基板中一种;所述的易损构件为薄膜晶体管、栅极线、数据线中的一种或几种。优选的是,所述的易损构件在基板上的投影与所述的应力吸收层在基板上的投影重合。优选的是,所述的应力吸收层的厚度为200nm_400nm。优选的是,所述的应力吸收层的材料为氮化硅或氧化硅。优选的是,在所述的基板和所述的易损构件之间还设有缓冲层。进一步优选的是,所述的应力吸收层设于所述的缓冲层与基板之间,所述的易损构件设于所述的缓冲层上。优选的是,所述的缓冲层设于所述的应力吸收层与所述的基板之间,所述的易损构件设于所述的应力吸收层上。优选的是,所述的缓冲层的材料为氮化硅或氧化硅。本技术还提供一种柔性显示装置,所述的柔性显示装置包括上述的显示基板。优选的是,所述柔性显示装置为柔性有机发光二极管显示装置。实施例1如图1-3所示,本实施例提供一种显示基板,包括:聚酰亚胺(PI)基板I和设置在该PI基板上的TFT (易损构件),在所述的PI基板I和所述的TFT之间设有应力吸收层3 ;所述的应力吸收层3是经过图形化处理的,即对应力吸收层3采用与TFT形状相对应的掩膜板进行图形化处理。如图3所示,所述的TFT在PI基板I上的投影不超出所述的应力吸收层3在PI基板I上的投影区域,优选的,所述的TFT在基板上的投影与所述的应力吸收层3在基板上的投影重合,即所述的应力吸收层3只在TFT的下方设置,其它部分没有设置。因此在弯曲时产生的应力可通过应力吸收层3之间的空隙进行分散,避免TFT处(即应力吸收层3处)产生应力集中,由此保护TFT不受损坏,从而提高显示基板和柔性显示装置的可靠性。优选的,所述的应力吸收层3的厚度为200nm-400nm,实验发现在该厚度范围的应力吸收层3更合适,太薄无法起到吸收应力的作用,太厚了影响其它功能层的制作并且浪费材料。优选的,所述的应力吸收层3的材料为氮化硅或氧化硅,实验发现氮化硅或氧化硅制作的应力吸收层3其应力吸收效果更为明显。优选的,如图2所示,在所述的应力吸收层3上方设有缓冲层2,所述的缓冲层2也能部分吸收弯折产生的应力;如图3所示,所述的TFT设置于该缓冲层2上。优选的,所述的缓冲层2的采用氮化硅或氧化硅制备,例如,可以采用等离子体增强化学气相沉积法制备。可以理解的是,本实施例中的TFT也可以是栅极线、数据线中的一种或几种,当然,只要是在柔性显示装置弯折时易于损坏的器件都可以适用。上述的显示基板按以下步骤制作:步骤1,制备应力吸收层。在PI基板I上沉积应力吸收层3,该应力吸收层3为采用等离子体增强化学气相沉积法沉积氮化硅获得,沉积条件为:温度350°C,NH3/SiH4=8: 1,总气体流量为4320sCCm,压力为170Pa,沉积时间为2100s,得到厚度为200nm的应力吸收层3。当然也可以本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种显示基板,包括:基板和设置在该基板上的易损构件,其特征在于,还包括设于所述的基板和所述的易损构件之间的应力吸收层;所述的易损构件在基板上的投影不超出所述的应力吸收层在基板上的投影区域。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:石领李云飞永山和由
申请(专利权)人:京东方科技集团股份有限公司
类型:新型
国别省市:北京;11

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