柔性基板剥离方法技术

本发明专利技术提供一种柔性基板剥离方法，包括以下步骤。对单晶硅片表面进行氧化，以获取第一氧化层。对单晶硅片进行第一次离子注入，以将离子注入单晶硅片中。利用第一氧化层，将注入离子的单晶硅片与玻璃基板进行低温键合，以获取键合片。对键合片进行退火处理，以使单晶硅片上的预设厚度的单晶硅层留在玻璃基板表面；对退火处理后的键合片进行第二次离子注入，以获取原始基板。在原始基板表面完成AMOLED工艺，以获得柔性基板。对柔性基板利用激光进行加温，使柔性基板与玻璃基板剥离开。上述方法利用激光产生的热量来剥离柔性基板，可有效提升产品良率。

Flexible substrate peeling method

The present invention provides a flexible substrate stripping method comprising the following steps. The surface of monocrystalline silicon is oxidized to obtain the first oxide layer. The first ion implantation is performed on monocrystalline silicon wafers to inject ions into monocrystalline silicon wafers. By using the first oxide layer, the implanted monocrystalline silicon wafer and the glass substrate are bonded at low temperature to obtain the bonding piece. The bonding sheet is annealed so that the monocrystalline silicon layer with a predetermined thickness on the monocrystalline silicon sheet remains on the surface of the glass substrate, and the annealed wafer is subjected to a second ion implantation to obtain the original substrate. The AMOLED process is completed on the surface of the original substrate to obtain a flexible substrate. The flexible substrate is heated by laser, so that the flexible substrate and the glass substrate are peeled off. The method uses laser generated heat to peel flexible substrates, thereby effectively improving the yield of the product.

【技术实现步骤摘要】
柔性基板剥离方法
本专利技术涉及显示器
，尤其涉及一种柔性基板剥离方法。
技术介绍
所谓柔性显示，它是一种在柔性材料构成的基板表面制备器件的方法。随着科技的不断更新与发展，采用柔性基板制成的可弯曲的柔性器件有望成为下一代光电子器件的主流设备，如显示器、芯片、电路、电源、传感器等柔性器件可以实现传统光电子器件所不能实现的功能，成本或用户体验的优势。如柔性有源矩阵有机发光二极体面板(Active-matrixorganiclightemittingdiode，简称AMOLED)，需要在硬质基板表面先制备或吸附柔性基板，继而进行器件制备后再将柔性基板从硬质基板上剥离。因此，如何将柔性基板与硬质基板的有效剥离是生产柔性器件的关键技术之一。目前主流的柔性AMOLED剥离方式是采用激光烧蚀的方式进行，即在聚合物柔性基板和硬质玻璃基板的界面施加高强度的激光，烧蚀界面层的聚合物，从而实现柔性和硬质基板的剥离。但是，激光的高能量，在剥离的过程中产生的大量的热量会对柔性显示膜造成较大的损坏，在应用过程对产品的良率造成较大的威胁。
技术实现思路
本专利技术提供一种柔性基板剥离方法，用以解决现有技术中使用激光剥离的过程中，产生的热量造成柔性基板损坏造成良率不高的技术问题。本专利技术提供一种柔性基板剥离方法，包括：对单晶硅片表面进行氧化，以获取第一氧化层；对单晶硅片进行第一次离子注入，以将离子注入单晶硅片中；利用第一氧化层，将注入离子的单晶硅片与玻璃基板进行低温键合，以获取键合片；对键合片进行退火处理，以使单晶硅片上的预设厚度的单晶硅层留在玻璃基板表面；对退火处理后的键合片进行第二次离子注入，以获取原始基板；在原始基板表面完成AMOLED工艺，以获得柔性基板；对柔性基板利用激光进行加温，使柔性基板与玻璃基板剥离开。进一步的，对退火处理后的键合片进行第二次离子注入，以获取原始基板，具体包括：在单晶硅层表面沉积第二氧化层；对单晶硅层进行第二次离子注入，以获取原始基板。进一步的，预设厚度为500nm-2μm。进一步的，退火处理的退火温度为300℃-600℃。进一步的，第一氧化层为二氧化硅层。进一步的，第一氧化层的厚度为100nm-300nm。进一步的，第一次离子注入的剂量范围为5×1016/cm2-5×1018/cm2。进一步的，第一次离子注入和第二次离子注入为氢离子注入或氦离子注入。进一步的，在原始基板表面完成AMOLED工艺，以获得柔性基板，具体包括：在原始基板上涂布磷脂酰肌醇PI，以获取PI基板；在PI基板表面蒸镀有机发光二极管OLED，以获得柔性基板。进一步的，PI基板的厚度为1μm-10μm。本专利技术提供的柔性基板剥离方法，先在单晶硅片表面生长一层薄的第一氧化层，在与玻璃基板键合前进行第一次离子注入，使第一次离子注入的离子注入硅晶格中。然后经适当温度退火使单晶硅片中注入的离子附近形成微空腔，以使该单晶硅片中的单晶硅层剥离开，仅有一部分单晶硅层留在玻璃基板表面。再次对留在玻璃基板表面的单晶硅层进行第二次离子注入，并将其作为后续柔性基板的离形层。在完成AMOLED的制作后，利用激光产生的热量使第二次离子注入的离子产生的微空腔发生离形，最终实现柔性基板和玻璃基板的分离。利用激光产生的热量来剥离柔性基板，可有效提升产品良率。附图说明在下文中将基于实施例并参考附图来对本专利技术进行更详细的描述。其中：图1为本专利技术实施例提供的柔性基板剥离方法的流程示意图。在附图中，相同的部件使用相同的附图标记。附图并未按照实际的比例绘制。具体实施方式下面将结合附图对本专利技术作进一步说明。请参考图1，本专利技术实施例提供一种柔性基板剥离方法，包括：步骤101，对单晶硅片表面进行氧化，以获取第一氧化层。将单晶硅片表面清理干净，通过热氧化的方法在其表面氧化一层第一氧化层，优选的，第一氧化层为SiO2，第一氧化层的厚度在100-300nm之间。步骤102，对单晶硅片进行第一次离子注入，以将离子注入单晶硅片中。通过离子注入的方式将离子注入硅晶格中，第一次离子注入为氢离子注入或氦离子注入。氢离子注入的剂量范围为5×1016/cm2-5×1018/cm2。步骤103，利用第一氧化层，将注入离子的单晶硅片与玻璃基板进行低温键合，以获取键合片。利用第一氧化层，实现单晶硅片与玻璃基板的低温键合。单晶硅片与玻璃基板键合的目的在于后续柔性AMOLED制作的整个工艺需要在玻璃基板这种硬质基底上完成。第一氧化层优选为二氧化硅层。键合的温度范围为200℃-600℃。步骤104，对键合片进行退火处理，以使单晶硅片上的预设厚度的单晶硅层留在玻璃基板表面。对键合片进行退火处理，使单晶硅层在H分布峰值处分离，单晶硅片上预设厚度的单晶硅层留在玻璃基板表面，剩余的单晶硅层部分可以继续重复使用。退火处理的退火温度在300℃-600℃，预设厚度为500nm～2μm。步骤105，对退火处理后的键合片进行第二次离子注入，以获取原始基板。第二次离子注入为氢离子注入或氦离子注入。在本专利技术一个具体实施例中，可直接在留在玻璃基板上的单晶硅层表面直接注入氢离子或氦离子。在本专利技术另一个具体实施例中，可先在玻璃基板上的单晶硅层表面沉积一层二氧化硅，增强粘附力。步骤106，在原始基板表面完成AMOLED工艺，以获得柔性基板。在本专利技术一个具体实施例中，本步骤具体包括：在原始基板上涂布磷脂酰肌醇(Phosphatidylinositols，简称PI)，以获取PI基板。优选的，PI基板的厚度为1μm-10μm。然后在PI基板表面蒸镀有机发光二极管(OrganicLight-EmittingDiode，简称OLED)，以完成AMOLED工艺，从而获得柔性基板。步骤107，对柔性基板利用激光进行加温，使柔性基板与玻璃基板剥离开。在本专利技术一个具体实施例中，对柔性基板利用激光进行加温，利用激光产生的热量使注入氢离子的微空腔发生离形，即使H离子形成的空洞或者点缺陷位置内压力升高，产生气泡，从而实现柔性基板和玻璃基板的剥离。上述方法在单晶硅片中注入氢离子(或氦离子)，以使当H离子进入单晶硅片中时，H离子打破Si-Si键，在单晶硅片中形成点缺陷，并有部分Si形成Si-H键。这些点缺陷在加温情况下重叠形成多重空洞，同时有氢原子放出，因此会在空洞处形成氢气。随着温度升高，空洞内氢气压力增大，空洞会不断向外膨胀，从而发生剥离。剥离出来的留在玻璃基板表面的单晶硅层通过再次注入氢离子(或氦离子)，该再次注入氢离子(或氦离子)的单晶硅层可作为柔性基板的离形层。在完成AMOLED的制作后，对柔性基板利用激光进行加温，利用激光产生的热量使H离子形成的空洞或者点缺陷位置内压力升高，发生气泡，实现柔性基板和玻璃基板的剥离。本专利技术提供的柔性基板剥离方法，先在单晶硅片表面生长一层薄的第一氧化层，在与玻璃基板键合前进行第一次离子注入，使第一次离子注入的离子注入硅晶格中。然后经适当温度退火使单晶硅片中注入的离子附近形成微空腔，以使该单晶硅片中的单晶硅层剥离开，仅有一部分单晶硅层留在玻璃基板表面。再次对留在玻璃基板表面的单晶硅层进行第二次离子注入，并将其作为后续柔性基板的离形层。在完成AMOLED的制作后，利用激光产生的热量使第二次离子注入的离子产生的微空腔发生离形，最终本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种柔性基板剥离方法，其特征在于，包括：对单晶硅片表面进行氧化，以获取第一氧化层；对所述单晶硅片进行第一次离子注入，以将离子注入所述单晶硅片中；利用所述第一氧化层，将注入所述离子的所述单晶硅片与玻璃基板进行低温键合，以获取键合片；对所述键合片进行退火处理，以使所述单晶硅片上的预设厚度的单晶硅层留在所述玻璃基板表面；对退火处理后的所述键合片进行第二次离子注入，以获取原始基板；在所述原始基板表面完成AMOLED工艺，以获得柔性基板；对所述柔性基板利用激光进行加温，使所述柔性基板与所述玻璃基板剥离开。

【技术特征摘要】
1.一种柔性基板剥离方法，其特征在于，包括：对单晶硅片表面进行氧化，以获取第一氧化层；对所述单晶硅片进行第一次离子注入，以将离子注入所述单晶硅片中；利用所述第一氧化层，将注入所述离子的所述单晶硅片与玻璃基板进行低温键合，以获取键合片；对所述键合片进行退火处理，以使所述单晶硅片上的预设厚度的单晶硅层留在所述玻璃基板表面；对退火处理后的所述键合片进行第二次离子注入，以获取原始基板；在所述原始基板表面完成AMOLED工艺，以获得柔性基板；对所述柔性基板利用激光进行加温，使所述柔性基板与所述玻璃基板剥离开。2.根据权利要求1所述的柔性基板剥离方法，其特征在于，对退火处理后的所述键合片进行第二次离子注入，以获取原始基板，具体包括：在所述单晶硅层表面沉积第二氧化层；对所述单晶硅层进行第二次离子注入，以获取原始基板。3.根据权利要求1所述的柔性基板剥离方法，其特征在于，所述预设厚度为500nm-2μm。4.根据权利要求1所述的柔性基板...

【专利技术属性】
技术研发人员：王选芸，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42