卷动式测试设备及卷动式测试柔性基板的方法技术

描述了一种用以测试柔性基板上的数个电子装置的设备。此设备包括至少两个滚轴（110）、至少一探测器（122）、至少一探测支座（124）及测试装置，此至少两个滚轴用以导引柔性基板沿着传输方向进入测试区及离开测试区，此至少一探测器用以电性接触电子装置中的一或多个，于电性接触探测器时，此至少一探测支座用以支撑柔性基板的一部分，此测试装置用于电子装置中的一或多个的功能测试。

Scrolling test device and scrolling test method for flexible substrate

A device for testing a number of electronic devices on a flexible substrate is described. This device includes at least two roller (110) and at least one detector (122) and at least one bearing (124) detection and test device, the at least two rollers are used for guiding the flexible substrate along the propagation direction into the test area and leave the test area, the at least one detector is used to electrically contact the electronic device in a or more, in electrical contact with the probe, the probe is used to support at least a part of the support of the flexible substrate, the test device for one or more functional testing of electronic devices.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】卷动式测试设备及卷动式测试柔性基板的方法
本专利技术的实施例有关于柔性基板上的电子装置(例如是制造于柔性基板上的显示装置的晶体管)的测试。本专利技术的实施例特别有关于卷动式(roll-to-roll)装置中的测试以及测试设备，尤其是用以测试柔性基板上的多个电子装置的设备及测试柔性基板上的多个电子装置的方法。
技术介绍
一种现行潮流是于柔性基板上制造数量增加的电子及光电装置，例如印刷电路板、显示器及/或太阳能电池。因此，使用便宜的基板使得装置更便宜。据此，对于卷动式薄膜沉积设备的日益发展有了增加的需求。因此，存在有容许低价沉积及/或处理不同基板材料及不同薄膜堆迭的平台概念的需求。再者，目前对于不具映像管的显示元件的需求增加。使用控制元件(如薄膜晶体管(ThinFilmTransistor,TFT))的液晶显示器(LiquidCrystalDisplay,LCD)及其他显示元件的标准提高了。这些显示元件具有排列成矩阵的像素，其中些像素各自提供具有功能的电子装置。而于其他领域中需要被测试的元件的数量也增加。举例来说，这可以是微电子及/或微机械元件。这些元件例如是薄膜晶体管、芯片的连接网路、晶体管、发射器阵列的电子发射器、用于显示器像素的电极、阵列的微机械反射镜及其他元件，这些元件可以特别是于以多个元件(十万到数百万)呈现时识别出自身，藉此使得各个元件为可电性控制的。对于制造电子装置(例如消费性电子装置)的领域中的薄膜沉积系统而言，基板上电子装置的测试是一项典型地被执行的工作。举例来说，为了获得显示元件的良好影像品质，仅能允许数百万像素中的一小部分有缺陷。为了确保符合成本效益的生产，特别是就尺寸不断变大的显示元件而言，提供高容量原处测试方法是重要的。一般来说，平面显示器由玻璃制成。这可以是LCD、有机发光二极管(OLED)及其他平面显示器。然而，有少量的柔性显示器被制造出来，但其工艺主要使用平面玻璃基板作为柔性基板的载体。当工艺可以使用卷动式(rolltoroll)的方式完成时，可预料出更具成本效益的柔性基板的制造方式。举例来说，在基板自一滚轮移动至另一滚轮的同时，可以沉积及图案化涂层，以于柔性基板上产生晶体管阵列。目前也存在有将晶体管阵列印刷于基板上的概念。为了实益上地减少电子及/或光电装置，如显示器、电容器、太阳能、印刷电路板或类似的卷动式工艺的成本，用于柔性基板上的电子装置的测试系统是有需要的。
技术实现思路
有鉴于此，提供一种用以测试柔性基板上的多个电子装置的设备，及一种测试柔性基板上的多个电子装置的方法。本专利技术的其他方面、优点及特征是以从属权利要求、说明书和附图表明。根据一实施例，提供一种用以测试柔性基板上的多个电子装置的设备。设备包括至少一滚轴、至少一探测器、至少一探测支座、及测试装置。此至少一滚轴用以导引柔性基板沿着一传输方向进入测试区。此至少一探测器用以电性接触电子装置中的一或多个。于电性接触此至少一探测器时，此至少一探测支座用以支撑柔性基板的一部分。测试装置用于该一或多个电子装置的功能测试。根据另一实施例，提供用以处理和测试柔性基板的基板处理系统。此系统包括用以制造柔性基板上的多个电子装置的至少一个基板处理腔室，及一种用以测试柔性基板上的多个电子装置的设备。用以测试的设备包括至少两个滚轴，用以导引柔性基板沿着传输方向进入测试区及自测试区离开；至少一探测器，用以电性接触一或多个电子装置；至少一探测支座，于电性接触至少一探测器的期间，用以支撑柔性基板的一部分；测试装置，用以功能测试一或多个电子装置。根据一实施例，提供一种用以测试柔性基板上的多个电子装置的设备。设备包括至少一滚轴、至少一探测器、至少一探测支座、及测试装置。此至少一滚轴用以导引柔性基板沿着一传输方向进入测试区。此至少一探测器用以电性接触电子装置中的一或多个。于电性接触此至少一探测器时，此至少一探测支座用以支撑柔性基板的一部分。测试装置用于该一或多个电子装置的功能测试。至少一探测器用以在柔性基板移动时保持与柔性基板上的接触垫接触。根据另一实施例，提供一种用以测试柔性基板上的多个电子装置的方法。该方法包括导引柔性基板沿着传输方向自滚轮进入测试区，且离开测试区至另一个滚轮上；支撑柔性基板的第一侧面；自柔性基板的第二侧面探测一或多个电子装置，其中第二侧面相对于第一侧面；及测试一或多个电子装置的电性功能。实施例也指实现所揭露方法的设备及包括用以执行每一个所述步骤的设备部分。可经由硬件组件、由合适的软件编程的计算机、两种的组合或任何其他方法来执行这些方法步骤。再者，根据本专利技术的实施例也针对所述设备操作的方法，包括用以实现设备的每个功能的方法步骤。附图说明为了更详细地理解本专利技术的上述特征，可以参照实施例对以上简述的本专利技术有更为具体的描述。附图涉及本专利技术的实施例并且描述于下：图1绘示根据所述的实施例的用以测试柔性基板上的电子装置的测试设备；图2绘示根据所述的实施例的测试设备的另一视图，此测试设备例如是图1绘示的测试设备，测试设备是用以测试柔性基板上的电子装置；图3绘示根据所述的实施例的用以测试柔性基板上的电子装置的另一测试设备，此测试设备具有电子束测试装置；图4绘示根据所述的实施例的测试设备的另一视图，此测试设备例如是图3绘示的另一测试设备，此测试设备用以测试柔性基板上的电子装置，此设备具有电子束测试装置；图5A-5C绘示根据所述的实施例的柔性基板上的电子装置的测试，及根据所述的实施例的用以测试柔性基板上的多个电子装置的设备；图6A-6B绘示根据所述的进一步实施例的柔性基板上的电子装置的测试，及根据所述的实施例的用以测试柔性基板上的多个电子装置的设备；图7绘示根据所述的实施例的用以测试柔性基板上的电子装置的另一测试设备，且更进一步绘示通过此测试设备的用以处理待测试的柔性基板的处理系统；图8绘示根据所述的实施例的测试柔性基板上的多个电子装置的流程图；以及图9绘示根据所述的一些实施例的被接触的柔性基板，及根据所述的实施例，柔性基板具有探测器及探测支座。具体实施方式现将对于本专利技术的各种实施例进行详述，其一或多个示例绘示在各图中。在以下的图式的叙述中，相同的元件符号指示相同的元件。一般来说，只针对各个实施例间的差异进行描述。各个例子为了说明本专利技术而提供，并且不希望造成本专利技术的限制。并且，作为一实施例的一部分所绘示或描述的特征可用在其他实施例上或与其他实施例结合使用，以产生更进一步的实施例。实施方式的描述倾向包括如此的调整及变化。再者，如下所述，微粒子束(corpuscularbeam)可被理解为带电粒子束(粒子束(particlebeam))，例如电子束或离子束，或激光束。这表示，微粒子束一词被理解为激光束(光粒子(corpuscle)或光子(photon))与粒子束，其中微粒(corpuscle)为离子、原子、电子或其他粒子。对于个别图像元素的测试方法，尤其必需通过微粒子束去扫描或定址图像元素。也就是，微粒子束将被导引于个别的图像元素上。如果微粒子是带电粒子时，可以通过磁力、静电或磁静电(magneto-electrostatic)转向器(deflector)来完成偏折(deflection)。如果微粒子是光子时，可以通过反射镜或其他适合的装置来完成偏本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用以测试柔性基板上的数个电子装置的设备，包括：至少一滚轴，用以于测试区中沿着传输方向导引所述柔性基板；至少一探测器，用以电性接触所述电子装置中的一或多个；至少一探测支座，用以于电性接触所述至少一探测器时支撑所述柔性基板的一部分；测试装置，用于所述电子装置中的一或多个的功能测试，其中所述至少一个探测器用以在所述柔性基板移动时保持与所述柔性基板上的接触垫接触，其中所述接触垫连接至待测试的所述电子装置。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用以测试柔性基板上的数个电子装置的设备，包括：至少一滚轴，用以于测试区中沿着传输方向导引所述柔性基板；至少一探测器，用以电性接触所述电子装置中的一或多个；至少一探测支座，用以于电性接触所述至少一探测器时支撑所述柔性基板的一部分；测试装置，用于所述电子装置中的一或多个的功能测试，其中所述至少一个探测器用以在所述柔性基板移动时保持与所述柔性基板上的接触垫接触，其中所述接触垫连接至待测试的所述电子装置。2.如权利要求1所述的设备，其特征在于，所述测试装置包括具有光调节器的照明光学系统。3.如权利要求2所述的设备，其特征在于，所述照明光学系统包括用以根据所述一或多个电子装置的电位调节光线的双折射装置。4.如权利要求1所述的设备，其特征在于，所述测试装置包括带电粒子束测试系统，其中所述带电粒子束测试系统包括检测器，所述检测器用以检测二次及/或背向散射带电粒子，以检测所述一或多个电子装置的电位。5.如权利要求4所述的设备，其特征在于，所述测试装置包括电子束测试系统。6.如权利要求1到5中任一项所述的设备，其特征在于，所述测试装置包括一电路，所述电路用以检测所述一或多个电子装置的电场。7.如权利要求1到5中任一项所述的设备，其特征在于，所述测试装置包括一电路，所述电路通过电性耦合至所述电路的元件来检测所述一或多个电子装置的电场。8.如权利要求1到5中任一项所述的设备，其特征在于，所述至少一探测器提供于所述柔性基板的一侧，所述至少一探测支座提供于所述柔性基板的对侧且相对于所述至少一探测器。9.如权利要求1到5中任一项所述的设备，其特征在于，所述至少一探测器及所述至少一探测支座相对于彼此在与所述柔性基板的基板平面垂直的方向上移动，其中所述至少一探测器及所述至少一探测支座被配置成具有第一相对位置，使得所述柔性基板能够于所述至少一探测器及所述至少一探测支座之间移动，所述至少一探测器及所述至少一探测支座被配置成具有第二相对位置，使得所述柔性基板在由支撑装置所支撑时被电性接触。10.如权利要求1到5中任一项所述的设备，其特征在于，所述至少一探测器及/或所述至少一探测支座自所述柔性基...

【专利技术属性】
技术研发人员：M·布鲁纳，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：美国,US