用于硅片制绒的组合物和方法技术

技术编号:9407331 阅读:85 留言:0更新日期:2013-12-05 06:28
本发明专利技术涉及含有一种或多种表面活性剂的用于硅片制绒的制绒组合物。本发明专利技术还涉及硅片制绒方法,该方法包括用含有一种或多种表面活性剂的制绒组合物湿润所述硅片的步骤。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种用于硅片制绒的制绒组合物,其包含一种或多种酸、一种或多种阴离子含硫表面活性剂和水。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:吴爱萍M·B·拉奥D·C·坦博利
申请(专利权)人:气体产品与化学公司
类型:发明
国别省市:

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