【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】 一种用于硅片制绒的制绒组合物,其包含一种或多种酸、一种或多种阴离子含硫表面活性剂和水。
【技术特征摘要】 ...
【专利技术属性】 技术研发人员:吴爱萍,M·B·拉奥,D·C·坦博利, 申请(专利权)人:气体产品与化学公司, 类型:发明 国别省市:
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