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本发明涉及含有一种或多种表面活性剂的用于硅片制绒的制绒组合物。本发明还涉及硅片制绒方法，该方法包括用含有一种或多种表面活性剂的制绒组合物湿润所述硅片的步骤。...
该专利属于气体产品与化学公司所有，仅供学习研究参考，未经过气体产品与化学公司授权不得商用。

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