【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种提高整合被动器件电感器Q值的方法，其特征在于包括：首先，在高阻硅衬底上直接淀积一个无定形硅层，以使得无定形硅层直接形成在高阻硅衬底上；随后，在无定形硅层上直接生长一个层间绝缘层，以使得层间绝缘层直接形成在无定形硅层上；然后，在层间绝缘层层上淀积金属层，并形成金属层的图案从而制作电感器。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：黎坡，
申请(专利权)人：上海宏力半导体制造有限公司，
类型：发明
国别省市：
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