【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种用于MEMS工艺的TaN刻蚀聚合物残留去除方法,其特征在于包括:第一步骤:利用光阻掩膜对TaN膜层进行刻蚀以形成接触孔,其中在光阻掩膜表面会形成TaN类聚合物;第二步骤:在85摄氏度下利用CF4和O2的混合气体进行灰化处理,以部分地去除光阻表面比较难去除的TaN类聚合物以及部分地去除光阻掩膜;第三步骤:在85摄氏度下利用O2气体进行灰化处理,以便完全去除光阻掩膜;第四步骤:在85摄氏度下利用CF4和O2的混合气体进行灰化处理,以便去除剩余的TaN类聚合物,其中引入了C类聚合物;第五步骤:在85摄氏度下利用O2气体进行灰化处理,以便去除C类聚合物400;第六步骤:进行湿法清洗,去除聚合物和残留的光阻掩膜。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:张振兴,奚裴,熊磊,
申请(专利权)人:上海宏力半导体制造有限公司,
类型:发明
国别省市:
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