【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种制备多晶硅还原生产用混合气供料的方法，其特征在于，将氢气、三氯氢硅液体和二氯二氢硅液体的混合物进行汽化过程，以便获得多晶硅还原生产用混合气供料。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：石何武，严大洲，肖荣晖，汤传斌，毋克力，杨永亮，郑红梅，
申请(专利权)人：中国恩菲工程技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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