【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种具有绒面结构的AZO薄膜的制备方法，其特征在于包括以下步骤：a、首先在玻璃基底上制备一层厚度为50~100nm的SiO2薄膜，并使其具有岛状的表面形貌，b、接着以岛状结构的SiO2薄膜为基底，采用磁控溅射工艺制备AZO薄膜，使其模仿基底SiO2薄膜的表面形貌生长，并控制膜厚为600~700nm，最终直接形成表面具有一定绒度的AZO薄膜。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：彭寿，王芸，马立云，崔介东，
申请(专利权)人：蚌埠玻璃工业设计研究院，中国建材国际工程集团有限公司，
类型：发明
国别省市：
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