形成光伏器件的方法技术

本发明专利技术涉及形成光伏器件的方法。一种形成光伏器件的方法，包括：在衬底上沉积p型层，以及通过将p型层的表面暴露到等离子体处理以与污染物发生反应，从而清洁p型层。在p型层上形成本征层，以及在本征层上形成n型层。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种形成光伏器件的方法，包括：在衬底上沉积p型层；通过将所述p型层的表面暴露到等离子体处理以与污染物反应，从而清洁所述p型层；在所述p型层上形成本征层；以及在所述本征层上形成n型层。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：A·J·宏，M·J·霍普斯塔肯，CC·黄，Y·W·黄，金志焕，D·K·萨达那，CF·曾，
申请(专利权)人：国际商业机器公司，北儒精密股份有限公司，
类型：发明
国别省市：