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本发明涉及形成光伏器件的方法。一种形成光伏器件的方法，包括：在衬底上沉积p型层，以及通过将p型层的表面暴露到等离子体处理以与污染物发生反应，从而清洁p型层。在p型层上形成本征层，以及在本征层上形成n型层。...
该专利属于国际商业机器公司;北儒精密股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过国际商业机器公司;北儒精密股份有限公司授权不得商用。

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